公开(公告)号：KR102217821B1

公开(公告)日：2021-02-18

申请号：KR1020167007887

申请日：2014-09-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 요시다유이치 ,  나이토오료오이치로오 ,  다우엔도루파아루노알라인쟝 ,  다카야나기고지 ,  미야자키시노부

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 일실시형태에있어서, 처리액공급장치에신품인필터유닛(3)을설치한후에, 용제를포함하는처리액을흐르게하기전에, 필터유닛을전처리용의용제에의해침지하고, 그후 당해용제를액체배출하는공정을행한다. 이용제에대한필터유닛중의필터부(31)의구성재료의용해도는, 당해구성재료의처리액에대한용해도보다도높다. 이공정에의해, 필터부로부터처리액중에용출되어이물(파티클)로될 수있는성분을, 처리액을필터유닛에흐르게하기전에, 필터유닛으로부터제거할수 있다.

公开(公告)号：KR102236133B1

公开(公告)日：2021-04-05

申请号：KR1020140101738

申请日：2014-08-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도앙도페르아르노알랭쟝 ,  미야자키시노부

IPC: H01L21/02

Abstract: 보틀교환시에보틀내로먼지등이들어가는것을억제할수 있는보틀교환장치를제공한다. 또한, 처리액용배관에대하여확실히접속할수 있는보틀캡을제공한다. 보틀(B)은캡(C)을구비한다. 캡(C)은처리액용스트로부(C40)와처리액용접속부(C45)를구비한다. 처리액용스트로부(C40)는처리액용유로(R1)를형성하고, 또한보틀(B) 내로연장된다. 처리액용접속부(C45)는처리액용스트로부(C40)의단부에설치된다. 케미컬카트(31)는보틀(B)의처리액용접속부(C45)와접속되고, 보틀(B)로부터공급된처리액이유통하는처리액용배관(D45)을구비하는접속기구부(D20)와, 처리액용접속부(C45)와처리액용배관(D45)을접속하는접속위치에보틀(B)을반송하는슬라이드·회전기구부(D60)를구비한다.

公开(公告)号：KR1020160064107A

公开(公告)日：2016-06-07

申请号：KR1020167007887

申请日：2014-09-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 요시다유이치 ,  나이토오료오이치로오 ,  다우엔도루파아루노알라인쟝 ,  다카야나기고지 ,  미야자키시노부

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: B01D37/02 ,  B01D35/18 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/02307 ,  H01L21/6704 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6715

Abstract: 일실시형태에있어서, 처리액공급장치에신품인필터유닛(3)을설치한후에, 용제를포함하는처리액을흐르게하기전에, 필터유닛을전처리용의용제에의해침지하고, 그후 당해용제를액체배출하는공정을행한다. 이용제에대한필터유닛중의필터부(31)의구성재료의용해도는, 당해구성재료의처리액에대한용해도보다도높다. 이공정에의해, 필터부로부터처리액중에용출되어이물(파티클)로될 수있는성분을, 처리액을필터유닛에흐르게하기전에, 필터유닛으로부터제거할수 있다.

公开(公告)号：KR1020150018453A

公开(公告)日：2015-02-23

申请号：KR1020140101738

申请日：2014-08-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도앙도페르아르노알랭쟝 ,  미야자키시노부

IPC: H01L21/02

CPC classification number: B65D83/40 ,  B05C11/101 ,  B05C11/11 ,  B65D47/04 ,  B65D83/32 ,  B67D7/0272

Abstract: 보틀 교환 시에 보틀 내로 먼지 등이 들어가는 것을 억제할 수 있는 보틀 교환 장치를 제공한다. 또한, 처리액용 배관에 대하여 확실히 접속할 수 있는 보틀 캡을 제공한다. 보틀(B)은 캡(C)을 구비한다. 캡(C)은 처리액용 스트로부(C40)와 처리액용 접속부(C45)를 구비한다. 처리액용 스트로부(C40)는 처리액용 유로(R1)를 형성하고, 또한 보틀(B) 내로 연장된다. 처리액용 접속부(C45)는 처리액용 스트로부(C40)의 단부에 설치된다. 케미컬 카트(31)는 보틀(B)의 처리액용 접속부(C45)와 접속되고, 보틀(B)로부터 공급된 처리액이 유통하는 처리액용 배관(D45)을 구비하는 접속 기구부(D20)와, 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)을 접속하는 접속 위치에 보틀(B)을 반송하는 슬라이드·회전 기구부(D60)를 구비한다.

Abstract translation: 提供一种能够防止灰尘更换瓶子而渗透到瓶中的瓶交换装置。 此外，提供了能够与用于工艺溶液的管道稳定连接的瓶盖。 瓶（B）有盖（C）。 盖（C）包括用于处理溶液的吸管部分（C40）和用于处理溶液的连接部分（C45）。 用于工艺溶液的吸管部分（C40）形成用于工艺溶液的流动路径（R1）并延伸到瓶子（B）。 用于工艺溶液的连接部分（C45）安装在吸管部分（C40）的端部。 化学车（31）包括连接工具部分（D20），该连接工具部分（D20）连接到用于瓶（B）的处理溶液的连接部分（45），并且具有用于处理溶液的管道（D45），其中从 瓶（B）流动，将瓶（B）传送到连接处理液用连接部（45）和处理液用管（D45）的连接位置的滑动旋转工具部（D60）。