公开(公告)号：KR1020150146394A

公开(公告)日：2015-12-31

申请号：KR1020150078977

申请日：2015-06-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카하시아키라 ,  나카야마게이 ,  이가라시요시키 ,  히로츠신

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/311

CPC classification number: H01J37/32165 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32137 ,  H01J37/32146 ,  H01J37/32449 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/30655 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/32137 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/76802

Abstract: 본발명은절연막을에칭하는방법을제공하는것을목적으로한다. 일실시형태의방법은, (a) 제1 기간내에서, 플라즈마처리장치의처리용기내에공급된플루오로카본을포함하는처리가스를여기시키기위해서, 고주파전력의 ON과 OFF를주기적으로전환하는공정과, (b) 제1 기간에계속되는제2 기간으로서, 제1 기간내에있어서고주파전력이 ON으로되어있는기간보다도긴 상기제2 기간내에서, 처리용기내에공급된처리가스를여기시키기위해서, 고주파전력을연속적으로 ON으로설정하는공정을포함한다.

Abstract translation: 本发明提供一种蚀刻绝缘膜的方法。 根据本发明的一个实施例，该方法包括以下过程：（a）周期性地切换高频功率的ON和OFF，以便激发包括提供给等离子体处理的处理容器内部的碳氟化合物的工艺气体 设备在第一时期内; 和（b）连续地设定高频电源接通，以便在比第一时段内的高频电力接通期间长的第二期间内激励供给到处理容器内部的处理气体，其中， 第二期是连续第一期。

公开(公告)号：KR1020040028678A

公开(公告)日：2004-04-03

申请号：KR1020037006101

申请日：2002-09-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카하시아키라 ,  가와무라가즈히로

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C16/52

Abstract: 열처리장치는 처리용기(28)와, 처리용기(28)내에 배치되어 피처리체(W)를 다단으로 지지하는 피처리체 보트(30)를 가지고 있다. 조작자가 예를 들어 입력조작부(18)로부터 원하는 작업식별기호 J1∼Jh를 입력하면, 이 작업식별기호로 특정되는 작업 레시피를 통해 레이아웃 프로그램과 프로세스 프로그램이 각각 레이아웃 기억부(16)와 프로세스 기억부(14)로부터 읽어 내어, 이들이 작업 레시피로 나타낸 시계열의 순서대로 차례로 실행된다. 이에 따라, 작업식별기호를 선택하는 것만으로 각종 레이아웃 프로그램과 프로세스 프로그램의 조합을 선택할 수 있다.

公开(公告)号：KR101799149B1

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：KR1020150078977

申请日：2015-06-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카하시아키라 ,  나카야마게이 ,  이가라시요시키 ,  히로츠신

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/311

CPC classification number: H01J37/32165 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32137 ,  H01J37/32146 ,  H01J37/32449 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/30655 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/32137 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/76802

Abstract: 본발명은절연막을에칭하는방법을제공하는것을목적으로한다. 일실시형태의방법은, (a) 제1 기간내에서, 플라즈마처리장치의처리용기내에공급된플루오로카본을포함하는처리가스를여기시키기위해서, 고주파전력의 ON과 OFF를주기적으로전환하는공정과, (b) 제1 기간에계속되는제2 기간으로서, 제1 기간내에있어서고주파전력이 ON으로되어있는기간보다도긴 상기제2 기간내에서, 처리용기내에공급된처리가스를여기시키기위해서, 고주파전력을연속적으로 ON으로설정하는공정을포함한다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种蚀刻绝缘膜的方法。

公开(公告)号：KR100781417B1

公开(公告)日：2007-12-03

申请号：KR1020037006101

申请日：2002-09-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카하시아키라 ,  가와무라가즈히로

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C16/52

Abstract: 열처리장치는 처리용기(28)와, 처리용기(28)내에 배치되어 피처리체(W)를 다단으로 지지하는 피처리체 보트(30)를 가지고 있다. 조작자가 예를 들어 입력조작부(18)로부터 원하는 작업식별기호 J1∼Jh를 입력하면, 이 작업식별기호로 특정되는 작업 레시피를 통해 레이아웃 프로그램과 프로세스 프로그램이 각각 레이아웃 기억부(16)와 프로세스 기억부(14)로부터 읽어 내어, 이들이 작업 레시피로 나타낸 시계열의 순서대로 차례로 실행된다. 이에 따라, 작업식별기호를 선택하는 것만으로 각종 레이아웃 프로그램과 프로세스 프로그램의 조합을 선택할 수 있다.