公开(公告)号：KR1020150044813A

公开(公告)日：2015-04-27

申请号：KR1020140138921

申请日：2014-10-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카키야스히로 ,  다나카고지 ,  도미나가슌

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67051 ,  H01L21/67017

Abstract: [과제] 기판의양면에동시에동일한조성의처리액을공급할수 있고, 또한공급된처리액이혼합된후에회수되어재이용되는기판액처리장치에있어서, 장치전체로서의효율적인운용을도모한다. [해결수단] 기판액처리장치는, 제1 탱크(102)에저류된처리액을토출하는제1 노즐(304)을갖고, 제1 노즐에의해기판의제1 면에처리액을공급하는제1 처리액공급기구(100)와, 제1 탱크에저류된처리액과동일한조성의처리액을저류하는제2 탱크(202)를토출하는제2 노즐(306)을갖고, 제2 노즐에의해기판의제2 면에처리액을공급하는제2 처리액공급기구(200)와, 제1, 제2 노즐에의해공급된처리액에의해기판에처리가행해지는처리부(300)를갖는다. 제1, 제2 노즐로부터기판에공급된후에혼합된처리액은, 회수라인(312)에의해제2 탱크로되돌려진다.

Abstract translation: 在能够将相同成分的处理液同时供给到基板的两面的基板液体处理装置中，也可以在供给的处理液混合后收集并再利用该处理液，能够确保装置的有效的运转。 基板液体处理装置包括：排出存储在第一罐（102）中的处理溶液的第一喷嘴（304），第一处理液供给单元（100），其通过所述第一喷嘴 第一喷嘴，排出存储与存储在第一罐中的处理溶液相同组成的处理溶液的第二罐（202）的第二喷嘴（306），提供处理溶液的第二处理溶液供应单元（200） 通过所述第二喷嘴到所述基板的第二侧;以及处理部（300），其利用由所述第一喷嘴和所述第二喷嘴供给的处理液处理所述基板。 从第一和第二喷嘴供给然后混合的处理液通过收集管线（312）返回到第二罐。