公开(公告)号：KR1020150114429A

公开(公告)日：2015-10-12

申请号：KR1020150045239

申请日：2015-03-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사이키다이스케 ,  미조타쇼고 ,  야부타다카시 ,  노나카준 ,  나가마츠다츠야 ,  다나카고지 ,  마에조노도미야스

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/324

CPC classification number: B08B3/14 ,  B01D36/04 ,  B01D37/04 ,  B24B57/02 ,  C11D11/0047 ,  H01L21/67017

Abstract: 기판의액처리에이용되는처리액을열화시키는일없이청정(파티클제거)하는것. 본발명에서는, 기판(3)을처리액으로액처리하는기판액처리장치(1) 및기판액처리방법및 기판액처리프로그램을기록한컴퓨터판독가능한기록매체(12)에있어서, 제1 약액공급부(17)로부터처리액저류부(14)에제1 약액을공급하는제1 약액공급공정(S1, S6, S12)을행하고, 그후, 제1 약액을약액청정부(51)에서청정하는제1 약액청정공정(S2, S7, S13)을행하며, 그후, 제2 약액공급부(18)로부터처리액저류부(14)에제2 약액을공급하는제2 약액공급공정(S3, S8, S14)을행하고, 그후, 제1 약액과제2 약액을혼합시킨처리액을처리액공급부(38)로부터기판액처리부(10)에공급하는처리액공급공정(S5, S11, S17)을행하는것으로하였다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于净化（除去颗粒）而不劣化用于液体处理基材的处理液的方法。 在用处理液进行基板（3）的液体处理的基板液体处理装置（1），基板液体处理方法以及记录有基板液体处理程序的计算机可读记录介质的方法中， 本发明包括：将第一液体从第一液体供应单元（17）供应到处理液体存储单元（14）的第一液体供应过程（S1，S6，S12）; 在液体净化单元（51）中净化第一液体的第一液体净化处理（S2，S7，S13）; 从第二液体供应单元（18）向处理液体储存单元（14）供应第二液体的第二液体供应过程（S3，S8，S14）; 以及处理液供给处理（S5，S11，S17），其将处理液供给单元（38）从处理液供给单元（38）供给到基板液处理单元（10）中的第一液体和第二液体的混合物的处理液 ）。

公开(公告)号：KR1020170038678A

公开(公告)日：2017-04-07

申请号：KR1020160122214

申请日：2016-09-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다나카고지 ,  시오카와도시유키 ,  마스토미히로유키 ,  사토다카미 ,  다나카히로시 ,  이나다다카오 ,  히로야마즈카사

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 본발명은기판을처리액으로균일하게처리할수 있는기판액 처리장치를제공한다. 본발명에서는, 복수의기판(8)을배열시킨상태로처리액에침지하여처리하는처리조(34)와, 상기처리조(34)의내부에서상기기판(8)의하방에배치되어, 상기기판(8)의배열방향을따라연장시킨관체(74)에상기처리액을토출하기위한토출구(76)를형성한처리액공급노즐(49)을갖는기판액 처리장치(1)에있어서, 상기토출구(76)는, 상기기판(8)의배열방향과직교하는수평방향으로간격을두고제1 측면(78) 및제2 측면(79)을형성하며, 상기제1 측면(78) 또는/및상기제2 측면(79)의외측단가장자리가, 내측단가장자리를상기관체(74)의중심으로부터반경방향으로연장한위치(B1, D1)보다수평방향을향하여외측으로개방한위치(A1, C1)에마련되어있다.

Abstract translation: 本发明提供能够用处理液均匀地处理基板的基板液处理装置。 本发明的特征在于包括：处理槽34，用于将处理液浸渍在配置有多个基板8的状态下并对处理槽34进行处理; 一种具有处理液供给喷嘴（49）的基板液处理装置（1），在沿着基板（8）的排列方向延伸的管体（74）内形成有用于排出处理液的排出口（76） 排出口76在与基板8的排列方向垂直的水平方向上隔开间隔地形成第一侧面78和第二侧面79，第一侧面78和/ 第二侧面79的外缘位于从管主体74的中心向半径方向延伸的位置B1，D1的位置朝向水平方向外侧开口的位置A1，C1 它提供。

公开(公告)号：KR101031295B1

公开(公告)日：2011-04-29

申请号：KR1020060119156

申请日：2006-11-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다나카고지 ,  미나미데루오미

IPC: G01F23/00

CPC classification number: G01F23/02 ,  G01F23/2927

Abstract: 본 발명은 액체중에 발생하는 기포의 영향을 받지 않고 탱크 내에 저장된 액체의 양을 정확히 검출하고, 감시하는 액면 검출 장치 및 액면 검출 장치를 구비한 액 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
탱크(5) 내의 액면 위치와 동일한 액면 위치가 되도록, 탱크 내의 액체를 유도하는 도액관(14)과, 이 도액관으로부터 분기되고, 탱크 내의 액면 위치와 동일한 액면 위치를 갖는 액면 검출용 분기 도액관(15)을 설치하며, 분기 도액관에는, 이 분기 도액관 내의 액체의 액면을 검출하는 위치 센서(16)(16a, 16b, 16c, 16d)를 설치한다. 또한, 도액관과 분기 도액관의 접속부에 액체중에 발생하는 기포의 분기 도액관 내로의 침입을 저지하는 다공판형의 기포 방지 부재(17)를 배치한다.

公开(公告)号：KR1020150060538A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：KR1020140160072

申请日：2014-11-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기요하라야스오 ,  수나카이쿠오 ,  다나카고지 ,  사토다카미 ,  미즈모토가즈요시 ,  우노다카시 ,  마루야마히로다카 ,  우에무카이히데토모 ,  마에조노토미야스

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/66

CPC classification number: G05D11/132 ,  B01F3/088 ,  B01F15/0479

Abstract: 본발명은액의혼합비율의정밀도를향상시키는것을목적으로한다. 실시형태에따른기판처리장치는, 혼합조와, 제1 개폐밸브와, 제2 개폐밸브와, 제1 유량계측부와, 제2 유량계측부와, 제어부와, 기판처리유닛을구비한다. 혼합조에서는, 제1 액과제1 액보다다량의제2 액이혼합된다. 제1 개폐밸브는, 제1 액이흐르는제1 유로를개폐한다. 제2 개폐밸브는, 제2 액이흐르는제2 유로를개폐한다. 제1 유량계측부는, 제1 유로를통해흐르는제1 액의유량을계측한다. 제2 유량계측부는, 제2 유로를통해흐르는제2 액의유량을계측한다. 제어부는, 제1 개폐밸브및 제2 개폐밸브의개폐를제어한다. 기판처리유닛은, 제1 액과제2 액의혼합액을기판에대하여공급함으로써기판을처리한다. 또한, 제어부는, 제1 개폐밸브를개방한후, 제1 유량계측부에의해계측된제1 액의유량의적산치가미리정해진목표치에도달한경우에, 제1 개폐밸브를폐쇄하는제1 폐쇄처리를실행하고, 제1 개폐밸브를개방한후부터제1 개폐밸브가완전히폐쇄된후에있어서의제1 액의유량의적산치에기초하여, 혼합조에대한제2 액의공급량의목표치를산출하며, 산출된목표치와제2 유량계측부에의해계측된제2 액의유량의적산치에기초하여, 제2 개폐밸브를폐쇄하는제2 폐쇄처리를실행한다.

Abstract translation: 本发明的目的是提高液体混合速度的精度。 根据本发明的实施例的基板处理装置包括混合罐，第一开闭阀，第二开闭阀，第一流量测量部，第二流量测量部，控制部和基板 处理单元。 第一液体和第二液体，其量大于第一液体的量，在混合罐中彼此混合。 第一打开和关闭阀打开/关闭第一液体流动的第一流动通道。 第二打开和关闭阀打开/关闭第二液体流动的第二流动通道。 第一流量测量部件测量流过第一流动通道的第一液体的量。 第二流量测量部分测量流过第二流动通道的第二液体的量。 控制部控制第一开闭阀和第二开闭阀。 基板处理单元通过将第一液体和第二液体的混合液体供给到基板对基板进行处理。 此外，在第一开闭阀打开之后，当由第一流量测量部测量的第一液体的量的积分值达到预定目标值时，控制单元进行关闭的第一关闭处理 首先打开和关闭阀门。 基于通过打开第一开闭阀直到完全关闭第一开闭阀而获得的第一液体的量的积分值，控制单元计算第二液体的供给量的目标值 到混合罐。 基于由第二流量测量部测量的计算出的目标值和第二液体量的积分值，控制部进行关闭第二开闭阀的第二关闭处理。

公开(公告)号：KR1020170095757A

公开(公告)日：2017-08-23

申请号：KR1020170020584

申请日：2017-02-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가와부치요스케 ,  다치바나고우조우 ,  나카모리미츠노리 ,  오오이시고타로 ,  에가시라게이스케 ,  다나카고지 ,  이나도미히로아키 ,  야마시타마사미 ,  후쿠다요시테루 ,  야마시타고지 ,  츠리후네유 ,  마스즈미다쿠로

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/324

Abstract: 기판의표면의발수화처리를행하면서, 기판의패턴내에존재하는순수나발수화제의제거를제거하여건조한기판을신속하게얻는것이가능한액 처리방법등을제공한다. 수평으로유지된기판(W)에대하여순수를공급한후, 기판(W)의건조를행하는데 있어서, 제1 용제공급공정에서는순수공급후의기판(W)의표면에제1 용제를공급하고, 그후의발수화제공급공정에서는기판(W)의표면에발수화제를공급한다. 제2 용제공급공정에서는발수화된후의기판(W)의표면에제2 용제를공급하고, 그후의건조공정에서기판(W)의표면의제2 용제를제거한다. 그리고제1 용제의비중은, 상기발수화제의비중보다작고, 상기제2 용제의비중은, 상기발수화제의비중보다크다.

Abstract translation: 液体处理方法等能够通过除去存在于基板图案中的纯水蒸发剂，同时对基板表面进行防水处理，从而迅速除去干燥的基板。 在第一溶剂供应步骤中供应纯水之后，将第一溶剂供应至基板W的表面，以便在将纯水供应至水平保持的基板W之后干燥基板W， 在随后的供应防水剂的步骤中，防水剂被供应到基板W的表面。 在第二溶剂供应步骤中，第二溶剂在防水之后供应到基板W的表面，并且在随后的干燥步骤中从基板W的表面去除第二溶剂。 第一溶剂的比重小于防水剂的比重，第二溶剂的比重大于防水剂的比重。

公开(公告)号：KR1020150044813A

公开(公告)日：2015-04-27

申请号：KR1020140138921

申请日：2014-10-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카키야스히로 ,  다나카고지 ,  도미나가슌

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67051 ,  H01L21/67017

Abstract: [과제] 기판의양면에동시에동일한조성의처리액을공급할수 있고, 또한공급된처리액이혼합된후에회수되어재이용되는기판액처리장치에있어서, 장치전체로서의효율적인운용을도모한다. [해결수단] 기판액처리장치는, 제1 탱크(102)에저류된처리액을토출하는제1 노즐(304)을갖고, 제1 노즐에의해기판의제1 면에처리액을공급하는제1 처리액공급기구(100)와, 제1 탱크에저류된처리액과동일한조성의처리액을저류하는제2 탱크(202)를토출하는제2 노즐(306)을갖고, 제2 노즐에의해기판의제2 면에처리액을공급하는제2 처리액공급기구(200)와, 제1, 제2 노즐에의해공급된처리액에의해기판에처리가행해지는처리부(300)를갖는다. 제1, 제2 노즐로부터기판에공급된후에혼합된처리액은, 회수라인(312)에의해제2 탱크로되돌려진다.

Abstract translation: 在能够将相同成分的处理液同时供给到基板的两面的基板液体处理装置中，也可以在供给的处理液混合后收集并再利用该处理液，能够确保装置的有效的运转。 基板液体处理装置包括：排出存储在第一罐（102）中的处理溶液的第一喷嘴（304），第一处理液供给单元（100），其通过所述第一喷嘴 第一喷嘴，排出存储与存储在第一罐中的处理溶液相同组成的处理溶液的第二罐（202）的第二喷嘴（306），提供处理溶液的第二处理溶液供应单元（200） 通过所述第二喷嘴到所述基板的第二侧;以及处理部（300），其利用由所述第一喷嘴和所述第二喷嘴供给的处理液处理所述基板。 从第一和第二喷嘴供给然后混合的处理液通过收集管线（312）返回到第二罐。

公开(公告)号：KR1020070057029A

公开(公告)日：2007-06-04

申请号：KR1020060119156

申请日：2006-11-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다나카고지 ,  미나미데루오미

IPC: G01F23/00

CPC classification number: G01F23/02 ,  G01F23/2927

Abstract: An apparatus for detecting a liquid level and a liquid processing apparatus including the same are provided to prevent bubble from entering a branched pipe even when liquid flows from a tank to a pipe and the branched pipe. In an apparatus for detecting a liquid level, a tank(5) is formed of fluorine resin such as PFA and is cylindrical so that the center of the bottom of the tank is concave. An opening in the upper end of the tank is closed by a case(11) formed of the fluorine resin such as the PFA. A processing liquid(L) is stored in the tank. In the tank, the supplying holes of processing liquid supply pipes(13) between which an opening and closing valve(V3) connected to a processing liquid supply source(12) is provided and the supplying holes of return pipes(9) are positioned to face the internal surface of the tank through holes provided in the case. Here, the reason why the supplying holes of the processing liquid supplying pipes and the return pipes face the internal surface of the tank is that the processing liquid supplied from the processing liquid supplying pipe or the return pipe collides with the internal surface of the tank to prevent the vapor from being generated.

Abstract translation: 提供了一种用于检测液面的装置和包括该液位的液体处理装置，以防止气体即使在液体从罐流到管道和分支管道时也进入分支管道。 在用于检测液位的装置中，罐（5）由氟树脂（如PFA）形成，并且是圆柱形的，使得罐的底部的中心是凹的。 通过由诸如PFA的氟树脂形成的壳体（11）封闭罐的上端的开口。 处理液（L）被储存在罐中。 在储罐中，设置处理液供给管（13）的供给孔，在该供给管（13）之间设有与处理液供给源（12）连接的开闭阀（V3），返回管（9）的供给孔位于 通过设在壳体中的孔面对油箱的内表面。 这里，处理液供给管和返回管的供给孔朝向箱体的内表面的原因是从处理液供给管或返回管供给的处理液与罐的内表面碰撞， 防止产生蒸气。