公开(公告)号：KR102100018B1

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：KR1020170179357

申请日：2017-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도미타다카히로 ,  이토다케시 ,  아사카와마사토 ,  스에키히데히토

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR1020120137301A

公开(公告)日：2012-12-20

申请号：KR1020120061665

申请日：2012-06-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하나와겐이치 ,  도미타다카히로

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/205 ,  C23C16/505

CPC classification number: H01J37/32091 ,  H01J37/32174

Abstract: PURPOSE: A high frequency power distribution device and a substrate processing apparatus using the same are provided to reduce power loss by reducing a processing deviation of a plurality of discharge spaces in which a substrate is processed. CONSTITUTION: High frequency power distribution devices(4a,4b) comprise a distribution member(30) which divides high frequency power supplied from a high frequency power supply unit into two or more. The high frequency power distribution device comprises a coaxial cable(35) which transmits the high frequency power divided by the distribution member and an impedance adjustment mechanism(36). The distribution member comprises a main body(31) made of a disc shaped conductor and a high frequency power input unit(32) inputting the high frequency power, and a plurality of high frequency power output units(33). The plurality of high frequency output unit is located in a position where is an r distance far from a point(31b) corresponding to an input point(31a).

Abstract translation: 目的：提供一种高频配电装置及使用其的基板处理装置，通过减少处理基板的多个放电空间的处理偏差来降低功率损耗。 构成：高频配电装置（4a，4b）包括分配构件（30），其将从高频电源单元提供的高频功率分为两个或更多个。 高频配电装置包括：发送由分配部件分压的高频电力的同轴电缆（35）和阻抗调整机构（36）。 分配构件包括由盘形导体制成的主体（31）和输入高频电力的高频电力输入单元（32）和多个高频电力输出单元（33）。 多个高频输出单元位于远离与输入点（31a）对应的点（31b）的r距离的位置。

公开(公告)号：KR101333465B1

公开(公告)日：2013-11-26

申请号：KR1020120061665

申请日：2012-06-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하나와겐이치 ,  도미타다카히로

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/205 ,  C23C16/505

CPC classification number: H01J37/32091 ,  H01J37/32174

Abstract: 고주파 전력 분배 장치로서, 입력된 고주파 전력을 복수로 균등하게 분기하는 분전부재와, 상기 분전부재에서 분기된 고주파 전력을 상기 복수의 평행 평판 전극에 전송하는, 중심의 급전선 및 그 주위의 접지선으로 이루어지는 동축 전송선과, 입력측의 임피던스를 조정해서 전류값을 저하시키기 위한 임피던스 조정 기구를 구비한다. 또한, 상기 분전부재는 판형상의 도체로 이루어지는 본체와, 상기 본체의 한쪽의 주면의 입력점에 고주파 전력을 입력하는 고주파 전력 입력부와, 상기 본체의 다른 쪽의 주면의 상기 입력점에 대응하는 점을 중심으로 한 원주상에 등간격으로 복수 배치된 고주파 전력 출력부를 갖는다. 상기 동축 전송선은 상기 복수 배치된 고주파 전력 출력부에 각각 접속되고, 상기 임피던스 조정 기구는 상기 고주파 전력 입력부에 마련되어 있다.