公开(公告)号：KR101998894B1

公开(公告)日：2019-07-10

申请号：KR1020140017654

申请日：2014-02-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오오쿠보다카히로 ,  도츠카세이야

IPC: H01L21/027

公开(公告)号：KR1020140109258A

公开(公告)日：2014-09-15

申请号：KR1020140017654

申请日：2014-02-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오오쿠보다카히로 ,  도츠카세이야

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0274

Abstract: An objective of the present invention to prevent a liquid from falling down from a nozzle when discharging a processing solution of a liquid supply source from the nozzle stops in order to supply the processing solution to a processed object from the nozzle. A first liquid supply passage (3A) and a second liquid supply passage (3B) are connected perpendicular to each other between a liquid supply source (2) and the nozzle (24) in a liquid pressure adjustment chamber (8) provided therein with a liquid pressure adjustment valve (31B). The first liquid supply passage (3A) is disposed opposite to an upstream end of the second liquid supply passage (3B) based on a diaphragm of the liquid pressure adjustment valve (31B). Furthermore, after the discharge of the processing solution is terminated, liquid pressure in the liquid supply passage (3) is reduced once. Next, when the liquid pressure starts to be increased, a diaphragm (6) of a liquid pressure adjustment valve (31B) is retreated.

Abstract translation: 从喷嘴排出液体供给源的处理液时，本发明的目的是防止液体从喷嘴掉下来，以便从喷嘴向加工对象供给处理液。 第一液体供应通道（3A）和第二液体供应通道（3B）在设置有液体供应通道（3A）和液体供应通道（3B）的液体压力调节室（8）中在液体供应源（2）和喷嘴（24） 液压调节阀（31B）。 第一液体供给通道（3A）基于液压调节阀（31B）的隔膜与第二液体供应通道（3B）的上游端相对设置。 此外，在处理液的排出终止后，液体供给通道（3）中的液体压力减少一次。 接下来，当液压开始增加时，液压调节阀（31B）的隔膜（6）退回。

公开(公告)号：KR102004556B1

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：KR1020140131335

申请日：2014-09-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이세키도모히로 ,  후나코시히데오 ,  도츠카세이야

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/302

公开(公告)号：KR1020150040220A

公开(公告)日：2015-04-14

申请号：KR1020140131335

申请日：2014-09-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이세키도모히로 ,  후나코시히데오 ,  도츠카세이야

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/302

CPC classification number: B01D19/0063 ,  B01D19/0036

Abstract: [과제] 미소기포를필터로부터제거함으로써필터의성능을개선하는것이가능한기포제거방법을제공한다. [해결수단] 기포제거방법은, 공급원으로부터의처리액의탈기를행하고고탈기액을작성하는스텝(고탈기액작성)과, 작성된고탈기액을, 제1 처리액유량으로펌프장치(P1)로부터필터장치(F1)에공급하는스텝(임시통액)과, 고탈기액을, 제1 처리액유량보다큰 제2 처리액유량으로펌프장치(P1)로부터필터장치(F1)에공급하는스텝(초기통액)과, 펌프장치(P1)로부터필터장치(F1)로고탈기액을정해진시간흘린채로하는스텝(통액)을포함한다.

Abstract translation: 本发明提供从过滤器除去细小气泡的方法，从而提高过滤器的性能。 [解决方案]去除气泡的方法包括以下步骤：通过对待处理的液体进行脱气来产生高度脱气的液体的步骤; 将来自泵（P1）的高度脱气的液体作为第1处理液体供给到过滤器（F1）的步骤以及将来自泵（P1）的脱气液体供给到过滤器（F1）的步骤为No 2处理液量超过1号处理液; 以及使脱气液体在给定时间内从泵（P1）流到过滤器（F1）的步骤。