公开(公告)号：KR1020150060538A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：KR1020140160072

申请日：2014-11-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기요하라야스오 ,  수나카이쿠오 ,  다나카고지 ,  사토다카미 ,  미즈모토가즈요시 ,  우노다카시 ,  마루야마히로다카 ,  우에무카이히데토모 ,  마에조노토미야스

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/66

CPC classification number: G05D11/132 ,  B01F3/088 ,  B01F15/0479

Abstract: 본발명은액의혼합비율의정밀도를향상시키는것을목적으로한다. 실시형태에따른기판처리장치는, 혼합조와, 제1 개폐밸브와, 제2 개폐밸브와, 제1 유량계측부와, 제2 유량계측부와, 제어부와, 기판처리유닛을구비한다. 혼합조에서는, 제1 액과제1 액보다다량의제2 액이혼합된다. 제1 개폐밸브는, 제1 액이흐르는제1 유로를개폐한다. 제2 개폐밸브는, 제2 액이흐르는제2 유로를개폐한다. 제1 유량계측부는, 제1 유로를통해흐르는제1 액의유량을계측한다. 제2 유량계측부는, 제2 유로를통해흐르는제2 액의유량을계측한다. 제어부는, 제1 개폐밸브및 제2 개폐밸브의개폐를제어한다. 기판처리유닛은, 제1 액과제2 액의혼합액을기판에대하여공급함으로써기판을처리한다. 또한, 제어부는, 제1 개폐밸브를개방한후, 제1 유량계측부에의해계측된제1 액의유량의적산치가미리정해진목표치에도달한경우에, 제1 개폐밸브를폐쇄하는제1 폐쇄처리를실행하고, 제1 개폐밸브를개방한후부터제1 개폐밸브가완전히폐쇄된후에있어서의제1 액의유량의적산치에기초하여, 혼합조에대한제2 액의공급량의목표치를산출하며, 산출된목표치와제2 유량계측부에의해계측된제2 액의유량의적산치에기초하여, 제2 개폐밸브를폐쇄하는제2 폐쇄처리를실행한다.

Abstract translation: 本发明的目的是提高液体混合速度的精度。 根据本发明的实施例的基板处理装置包括混合罐，第一开闭阀，第二开闭阀，第一流量测量部，第二流量测量部，控制部和基板 处理单元。 第一液体和第二液体，其量大于第一液体的量，在混合罐中彼此混合。 第一打开和关闭阀打开/关闭第一液体流动的第一流动通道。 第二打开和关闭阀打开/关闭第二液体流动的第二流动通道。 第一流量测量部件测量流过第一流动通道的第一液体的量。 第二流量测量部分测量流过第二流动通道的第二液体的量。 控制部控制第一开闭阀和第二开闭阀。 基板处理单元通过将第一液体和第二液体的混合液体供给到基板对基板进行处理。 此外，在第一开闭阀打开之后，当由第一流量测量部测量的第一液体的量的积分值达到预定目标值时，控制单元进行关闭的第一关闭处理 首先打开和关闭阀门。 基于通过打开第一开闭阀直到完全关闭第一开闭阀而获得的第一液体的量的积分值，控制单元计算第二液体的供给量的目标值 到混合罐。 基于由第二流量测量部测量的计算出的目标值和第二液体量的积分值，控制部进行关闭第二开闭阀的第二关闭处理。