公开(公告)号：KR1020170038730A

公开(公告)日：2017-04-07

申请号：KR1020160125825

申请日：2016-09-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야기히로노리 ,  나루시마겐사쿠 ,  마츠야마아츠나리

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  C23C16/448 ,  C23C16/52

Abstract: 본발명의과제는고체원료를기화한가스를포함하는원료가스를성막처리부에공급할때, 기화된원료공급량을안정시키는기술을제공하는것이다. 해결수단으로서, 원료용기(14)에캐리어가스를공급하기위한캐리어가스공급로(12)에 MFC(1)를마련하고, 원료가스공급로(32)에 MFM(3)을마련하고있다. 또한, 원료가스공급로(32)에희석가스를공급하기위한희석가스공급로(22)에 MFC(2)를마련하고있다. 그리고, MFM(3)의측정값으로부터의 MFC(1) 측정값과 MFC(2)의측정값의합계값을뺀 오프셋값을구하고, MFM(3)의측정값으로부터 MFC(1)의측정값및 MFC(2)의측정값의합계값을뺀 값에서, 오프셋값을빼서원료유량의실측값을구하고있다. 그리고, 원료유량의실측값과원료의목표값의차분에따라, MFC(1)의설정값을조정하고캐리어가스의유량을조정하여, 원료가스에포함되는원료의양을조정한다.

Abstract translation: 本发明要解决的问题是提供一种技术，用于在将包含固体原料的气化气体的原料气体供应至成膜部件时稳定气化的原料的供给量。 在用于向原料容器14供给运载气体的运载气体供给路径12中设置有MFC 1，在原料气体供给路径32中设置有MFM 3。 此外，MFC2设置在用于向原料气体供给路径32供给稀释气体的稀释气体供给路径22中。 获得通过从MFM 3的测量值和MFC（2）的测量值中减去MFC（1）测量值而获得的偏移值，并且MFC（1）的测量值 并且从原料流量的测量值中减去MFC（2）的测量值。 并且，根据原料流量的实际测量值与原料的目标值，通过调整MFC（1）的设定值并调节运载气体的流速，以调节包含在原料气体中的材料的量之间的差。

公开(公告)号：KR101926228B1

公开(公告)日：2018-12-06

申请号：KR1020160125825

申请日：2016-09-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야기히로노리 ,  나루시마겐사쿠 ,  마츠야마아츠나리

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  C23C16/448 ,  C23C16/52

Abstract: 본 발명의 과제는 고체 원료를 기화한 가스를 포함하는 원료 가스를 성막 처리부에 공급할 때, 기화된 원료 공급량을 안정시키는 기술을 제공하는 것이다. 해결 수단으로서, 원료 용기(14)에 캐리어 가스를 공급하기 위한 캐리어 가스 공급로(12)에 MFC(1)를 마련하고, 원료 가스 공급로(32)에 MFM(3)을 마련하고 있다. 또한, 원료 가스 공급로(32)에 희석 가스를 공급하기 위한 희석 가스 공급로(22)에 MFC(2)를 마련하고 있다. 그리고, MFM(3)의 측정값으로부터의 MFC(1) 측정값과 MFC(2)의 측정값의 합계값을 뺀 오프셋 값을 구하고, MFM(3)의 측정값으로부터 MFC(1)의 측정값 및 MFC(2)의 측정값의 합계값을 뺀 값에서, 오프셋 값을 빼서 원료 유량의 실측값을 구하고 있다. 그리고, 원료 유량의 실측값과 원료의 목표값의 차분에 따라, MFC(1)의 설정값을 조정하고 캐리어 가스의 유량을 조정하여, 원료 가스에 포함되는 원료의 양을 조정한다.