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公开(公告)号：KR102242431B1
公开(公告)日：2021-04-19
申请号：KR1020190080349
申请日：2019-07-03
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677
Abstract: 본발명은, 각각미리정해진처리를행하는복수의처리모듈에대하여, 기판을순차반송하여기판에일련의처리를행할때에, 스루풋의저하를억제하면서, 기판에의한처리결과의불균일을억제할수 있는기술을제공한다. 기판처리시스템은, 각각미리정해진처리를행하는복수의처리모듈을갖는처리부와, 복수의기판을유지하며, 처리부에대하여기판을반출입하는반출입부와, 기판을반송하는반송부와, 처리부, 반출입부및 반송부를제어하는제어부를구비하고, 제어부는, 복수의기판이반출입부로부터처리부에순차반송되며, 반송된기판이, 복수의처리모듈에대하여, 순차시리얼로반송되도록제어하고, 또한, 반출입부의미리정해진모듈로부터기판을반출한후, 다음기판을반출하기까지의인터벌을설정하고, 그인터벌의설정값으로복수의기판을미리정해진모듈로부터순차반출하도록제어한다.
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