公开(公告)号：KR1020090021082A

公开(公告)日：2009-02-27

申请号：KR1020080081769

申请日：2008-08-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도키유이치 ,  마하라고지 ,  하야시도쿠타로

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68 ,  Y10T29/49771 ,  H01L21/67703

Abstract: A method of controlling moving position of a transfer arm and jig for detecting position are provided to facilitate the control of moving position of a transfer arm by using a jig for detecting position having high precision which can carry in a thin apparatus. A substrate(S) for detecting position is supported by a transfer arm. The substrate for detecting position comprises a capacitive sensor(150). The substrate for detecting position is returned by the transfer arm and is loaded in a load part. The location of the target object of the loading part is detected by the capacitive sensor of the substrate for detecting position. Therefore, the loading position of the substrate for detecting position at the loading part is detected. The moving position of the transfer arm in transferring a substrate is adjusted based on the loading position of the substrate for detecting position.

Abstract translation: 提供了一种控制用于检测位置的传送臂和夹具的移动位置的方法，以便于通过使用用于检测能够承载薄型设备的高精度位置的夹具来控制传送臂的移动位置。 用于检测位置的基板（S）由传送臂支撑。 用于检测位置的基板包括电容传感器（150）。 用于检测位置的基板由传送臂返回并装载在负载部分中。 加载部件的目标物体的位置由用于检测位置的基板的电容传感器检测。 因此，检测用于检测装载部位置的基板的装载位置。 基于用于检测位置的基板的装载位置来调整传送臂在传送基板中的移动位置。

公开(公告)号：KR101197426B1

公开(公告)日：2012-11-06

申请号：KR1020080081769

申请日：2008-08-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도키유이치 ,  마하라고지 ,  하야시도쿠타로

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68 ,  Y10T29/49771

Abstract: 본 발명에서는, 정전 용량 센서를 갖는 위치 검출용 기판을 반송 아암에 지지시키며, 상기 반송 아암에 의해 이것을 반송하여 적재부에 적재한다. 그 후, 위치 검출용 기판의 정전 용량 센서에 의해 적재부의 목표물의 위치를 검출하여, 적재부에서의 위치 검출용 기판의 적재 위치를 검출한다. 그 후, 위치 검출용 기판의 적재 위치에 기초하여, 기판 반송 시의 반송 아암의 이동 위치를 조정한다.