公开(公告)号：KR1020090021082A

公开(公告)日：2009-02-27

申请号：KR1020080081769

申请日：2008-08-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도키유이치 ,  마하라고지 ,  하야시도쿠타로

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68 ,  Y10T29/49771 ,  H01L21/67703

Abstract: A method of controlling moving position of a transfer arm and jig for detecting position are provided to facilitate the control of moving position of a transfer arm by using a jig for detecting position having high precision which can carry in a thin apparatus. A substrate(S) for detecting position is supported by a transfer arm. The substrate for detecting position comprises a capacitive sensor(150). The substrate for detecting position is returned by the transfer arm and is loaded in a load part. The location of the target object of the loading part is detected by the capacitive sensor of the substrate for detecting position. Therefore, the loading position of the substrate for detecting position at the loading part is detected. The moving position of the transfer arm in transferring a substrate is adjusted based on the loading position of the substrate for detecting position.

Abstract translation: 提供了一种控制用于检测位置的传送臂和夹具的移动位置的方法，以便于通过使用用于检测能够承载薄型设备的高精度位置的夹具来控制传送臂的移动位置。 用于检测位置的基板（S）由传送臂支撑。 用于检测位置的基板包括电容传感器（150）。 用于检测位置的基板由传送臂返回并装载在负载部分中。 加载部件的目标物体的位置由用于检测位置的基板的电容传感器检测。 因此，检测用于检测装载部位置的基板的装载位置。 基于用于检测位置的基板的装载位置来调整传送臂在传送基板中的移动位置。

公开(公告)号：KR102046705B1

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：KR1020180019502

申请日：2018-02-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 데라모토아키히로 ,  하야시도쿠타로

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  B25J9/16

公开(公告)号：KR1020130092371A

公开(公告)日：2013-08-20

申请号：KR1020120150941

申请日：2012-12-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 데라모토아키히로 ,  하야시도쿠타로

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J13/08

CPC classification number: G05B19/4189 ,  B25J9/1612 ,  G05B2219/39479 ,  G05B2219/39508 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/68707

Abstract: PURPOSE: A substrate processing device and a substrate processing method thereof are provided to convey a substrate to another module in with the shift amount of the substrate within an allowable range. CONSTITUTION: A substrate conveying device conveys a substrate (W) to from one module (9) to the other module (93). The substrate conveying device comprises a holding member (3A) capable of moving in a horizontal direction. A detecting part detects the position of the substrate on the holding member. A calculating part calculates a shift amount for the standard location of the substrate on the holding member based on the detection result of a detecting part. A temporary batch module (71) temporarily accommodates the substrate conveyed from one module by the substrate conveying device. [Reference numerals] (71) Temporary batch module; (9) Heating module; (93) Temperature control module; (AA) Displacement > acceptable range; (BB) Displacement

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置及其基板处理方法，用于在基板的移动量在允许范围内将基板输送到另一模块。 构成：衬底输送装置将衬底（W）从一个模块（9）传送到另一个模块（93）。 基板输送装置包括能够沿水平方向移动的保持构件（3A）。 检测部检测保持部件上的基板的位置。 计算部根据检测部的检测结果，计算保持部件上的基板的标准位置的偏移量。 临时批量模块（71）临时容纳由基板输送装置从一个模块输送的基板。 （附图标记）（71）临时批量模块; （9）加热模块; （93）温度控制模块; （AA）位移>可接受范围; （BB）位移<=可接受的范围

公开(公告)号：KR101197426B1

公开(公告)日：2012-11-06

申请号：KR1020080081769

申请日：2008-08-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도키유이치 ,  마하라고지 ,  하야시도쿠타로

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68 ,  Y10T29/49771

Abstract: 본 발명에서는, 정전 용량 센서를 갖는 위치 검출용 기판을 반송 아암에 지지시키며, 상기 반송 아암에 의해 이것을 반송하여 적재부에 적재한다. 그 후, 위치 검출용 기판의 정전 용량 센서에 의해 적재부의 목표물의 위치를 검출하여, 적재부에서의 위치 검출용 기판의 적재 위치를 검출한다. 그 후, 위치 검출용 기판의 적재 위치에 기초하여, 기판 반송 시의 반송 아암의 이동 위치를 조정한다.