公开(公告)号：KR101843615B1

公开(公告)日：2018-03-29

申请号：KR1020150017867

申请日：2015-02-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마구치,다츠야 ,  모리사다,요시노리

IPC: H01L21/312 ,  C23C14/12 ,  H01L21/31

CPC classification number: C09D183/14 ,  B05D1/34 ,  B05D1/60 ,  C08G77/54

Abstract: 비방향족폴리이미드이어도, 양호한내열성을유지한채 성막하는것이가능한중합막의성막방법을제공한다. 제1 모노머를포함하는제1 원료가스와, 제1 모노머와는다른제2 모노머를포함하는제2 원료가스를이용하여, 피처리체의피처리면상에중합막을성막하는중합막의성막방법으로서, 제1 모노머로서, 가수분해기를가진이관능성의비방향족아민을이용하고, 제2 모노머로서, 이관능성의산무수물을이용한다.

Abstract translation: 还提供了能够形成具有良好耐热性的膜的可聚合膜的非芳族聚酰亚胺膜形成方法。 一种使用含有第一单体和含有不同于第一单体的第二单体的第二原料气体的第一原料气体在受试者的待处理表面上形成聚合膜的方法， 作为单体，使用具有水解性基团的官能性非芳香族胺，作为第二单体使用双官能酸酐。

公开(公告)号：KR1020150097398A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：KR1020150017867

申请日：2015-02-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마구치,다츠야 ,  모리사다,요시노리

IPC: H01L21/312 ,  C23C14/12 ,  H01L21/31

CPC classification number: C09D183/14 ,  B05D1/34 ,  B05D1/60 ,  C08G77/54 ,  C23C14/12 ,  H01L21/31

Abstract: 비방향족 폴리이미드이어도, 양호한 내열성을 유지한 채 성막하는 것이 가능한 중합막의 성막 방법을 제공한다. 제1 모노머를 포함하는 제1 원료 가스와, 제1 모노머와는 다른 제2 모노머를 포함하는 제2 원료 가스를 이용하여, 피처리체의 피처리면 상에 중합막을 성막하는 중합막의 성막 방법으로서, 제1 모노머로서, 가수분해기를 가진 이관능성의 비방향족 아민을 이용하고, 제2 모노머로서, 이관능성의 산무수물을 이용한다.

Abstract translation: 本发明提供即使对于非芳族聚酰胺也能保持令人满意的耐热性能而能够形成膜的聚合成膜方法。 聚合成膜方法使用含有第一单体的第一基础气体和含有与第一单体不同的第二单体的第二基础气体，以在目标体的目标表面上形成聚合薄膜。 使用具有水解剂的二官能非芳香族胺作为第一单体，二官能酸酐用于第二单体。

公开(公告)号：KR101843616B1

公开(公告)日：2018-03-29

申请号：KR1020150025820

申请日：2015-02-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타,깃페이 ,  야마구치,다츠야 ,  모리사다,요시노리 ,  후지카와,마코토

IPC: B29C71/02 ,  C08J5/18 ,  C08L79/08

CPC classification number: C09D179/08 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0254 ,  C08G73/105 ,  C08G73/1071 ,  C23C16/30 ,  C23C16/56 ,  H01L21/02063 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/67109

Abstract: 본발명은중합막의내약품성을향상시키는것이가능하고, 또한, 중합막의내약품성을향상시키기위해새로운처리장치를별도로필요로하지않는중합막의내약품성개선방법을제공한다. 본발명의일 실시예에따른중합막의내약품성개선방법은피처리체의표면위에성막되어, 약품에의해처리되는중합막의내약품성을개선하는중합막의내약품성개선방법으로서, 상기중합막의내약품성을개선하는처리를, 상기중합막을성막한성막장치의처리실로부터상기피처리체를반출하지않고, 상기처리실내에서상기중합막의성막처리에연속해서행한다.

Abstract translation: 本发明提供一种改进聚合膜的耐化学性的方法，该方法可以提高聚合膜的耐化学性，并且不需要新的处理装置来提高聚合膜的耐化学性。 根据本发明的一个实施方案中聚合膜的改进方法和耐化学性被沉积在对象片，的改进方法和耐化学性的聚合物膜的表面上，以改善耐化学性，聚合膜是通过将药物处理，改善耐化学性，聚合膜 从处理室中的聚合物膜的膜形成过程开始连续进行，而不从其中形成聚合物膜的成膜装置的处理室输出处理对象。

公开(公告)号：KR1020150101940A

公开(公告)日：2015-09-04

申请号：KR1020150025820

申请日：2015-02-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타,깃페이 ,  야마구치,다츠야 ,  모리사다,요시노리 ,  후지카와,마코토

IPC: B29C71/02 ,  C08J5/18 ,  C08L79/08

CPC classification number: C09D179/08 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0254 ,  C08G73/105 ,  C08G73/1071 ,  C23C16/30 ,  C23C16/56 ,  H01L21/02063 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/67109 ,  C08J7/08 ,  C08J5/18 ,  C08L79/08 ,  C08L2203/206

Abstract: 본 발명은 중합막의 내약품성을 향상시키는 것이 가능하고, 또한, 중합막의 내약품성을 향상시키기 위해 새로운 처리 장치를 별도로 필요로 하지 않는 중합막의 내약품성 개선 방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 중합막의 내약품성 개선 방법은 피처리체의 표면 위에 성막되어, 약품에 의해 처리되는 중합막의 내약품성을 개선하는 중합막의 내약품성 개선 방법으로서, 상기 중합막의 내약품성을 개선하는 처리를, 상기 중합막을 성막한 성막 장치의 처리실로부터 상기 피처리체를 반출하지 않고, 상기 처리실 내에서 상기 중합막의 성막 처리에 연속해서 행한다.

Abstract translation: 本发明提供了提高聚合膜的耐化学性的方法，其不需要单独的加工装置来提高聚合膜的耐化学性。 根据本发明的实施方案，提高聚合膜的耐化学性的方法提高了在待处理物体的表面上形成的并通过化学处理加工的聚合膜的耐化学性，其中改进 通过在处理室中形成聚合膜而不从形成聚合膜的成膜设备的处理室中取出待处理物体的工艺来连续进行聚合膜的耐化学性。