公开(公告)号：KR1020150098570A

公开(公告)日：2015-08-28

申请号：KR1020150020278

申请日：2015-02-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이이다나루아키 ,  모리카와가츠히로

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66

CPC classification number: G05B19/4189 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  Y02P90/28 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67739 ,  H01L22/30

Abstract: 본 발명은 기판 유지구에 기판이 유지되었을 때의 기판 유지구에 대한 기판의 위치 편차의 보정을 가능하게 하는 것을 과제로 한다.
기판 처리 장치는, 기판(W)을 배치할 수 있는 제1 저장소 및 제2 저장소(14B, 1420)와, 기판을 유지하는 기판 유지구(137)를 가지며, 적어도 제1 저장소와 제2 저장소의 사이에서 기판을 반송할 수 있는 기판 반송 장치(13)와, 기판 유지구에 유지된 기판의 위치를 검출하는 기판 위치 측정부(1413)를 포함하고, 기판 위치 측정부는, 기판 반송 장치(13)로부터 독립된 위치이며, 또한, 기판 반송 장치의 기판 유지구에 의해 유지된 기판을 반입하는 것이 가능한 위치에 설치되어 있다.

Abstract translation: 本发明的目的是当衬底被衬底保持器保持时，能够使衬底相对于衬底保持器进行位置偏移校正。 一种基板处理装置，包括：第一存储部和第二存储部（14B，1420），能够配置基板（W） 保持基板的基板保持器（137） 在至少所述第一存储器和所述第二存储器之间传送所述衬底的衬底传送装置（13）; 以及基板位置检测单元（1413），其检测由所述基板保持器保持的所述基板的位置。 基板位置检测单元设置在与基板输送装置（13）无关的位置。 此外，基板位置检测单元安装在能够转印由基板输送装置的基板保持器保持的基板的位置。

公开(公告)号：KR1020100137372A

公开(公告)日：2010-12-30

申请号：KR1020100057144

申请日：2010-06-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카하라다마사히로 ,  이이다나루아키 ,  모리카와가츠히로 ,  에노키다스구루

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67742 ,  G03B27/52 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/67754

Abstract: PURPOSE: A substrate transferring unit, a substrate transferring method, a coating and developing unit, and a storage media are provided to improve the transferring speed of a substrate between a second module and a supporting unit. CONSTITUTION: A moving unit moves along a transferring path. A supporting unit supports a substrate. A plurality of substrates is stored in a carrier. The carrier is entered in a carrier block(C1). An interface block is arranged between a processing block(C2) and an exposing unit. The substrate is transferred from the processing block to the exposing unit in order to implement an exposing process with respect to the substrate.

Abstract translation: 目的：提供基板转印单元，基板转印方法，涂层和显影单元以及存储介质，以提高第二模块和支撑单元之间的基板的转印速度。 构成：移动单元沿着传送路径移动。 支撑单元支撑基板。 多个基板被存储在载体中。 载体进入载体块（C1）。 接口块布置在处理块（C2）和曝光单元之间。 衬底从处理块转移到曝光单元，以实现相对于衬底的曝光工艺。

公开(公告)号：KR101534357B1

公开(公告)日：2015-07-06

申请号：KR1020100027568

申请日：2010-03-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카노세이지 ,  마츠시타미치아키 ,  이이다나루아키 ,  에노키다스구루 ,  모리카와가츠히로

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/68707

Abstract: 본발명은기판과의접촉에의한마모및 기판을통한약품에의한부식에의해기판을정상적으로지지할수 없게되는것을저지할수 있는기판지지장치를제공한다. 기판의이면을지지하는이면지지부를구비한지지부재와, 이지지부재에설치되고, 상기이면지지부에지지된기판의측면을둘러싸며, 기판의위치를규제하는위치규제부를포함하고, 상기이면지지부및 상기위치규제부중 하나이상은, 기재와, 이기재를피복하며, 그마모및 화학적침식중 하나이상을저지하기위한보호막을포함하는기판지시장치를구성한다. 이기판지지장치는, 예컨대상기지지부재를지지하는기체와, 상기기체에대하여지지부재를이동시키기위한구동기구를더 포함하고, 기판반송장치로서구성된다. 또한상기지지부재는, 예컨대기판을가열또는냉각하기위한온도조정판으로서구성된다.

公开(公告)号：KR1020150093670A

公开(公告)日：2015-08-18

申请号：KR1020157014122

申请日：2013-12-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리카와가츠히로 ,  스나카이쿠오

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: G01N21/88 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67326 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 반송 용기가 반입되는 로드 포트와, 로드 포트에 반입되어, 덮개가 제거된 반송 용기 내의 기판의 수납 상황을 검출하는 검출부와, 로드 포트에 반입된 반송 용기로부터 취출된 기판을 처리하기 위한 처리부와, 제어부를 구비한다. 제어부는, 로드 포트에 반입된 반송 용기로부터 기판이 처리부에 배출되기 전에 반송 용기 내의 기판의 수납 상황을 검출하는 제1 단계와, 처리부에서 처리된 기판이 원래의 반송 용기로 복귀된 후, 덮개가 폐쇄되기 전에 상기 반송 용기 내의 기판의 수납 상황을 검출하는 제2 단계와, 제1 단계와 제2 단계에 기초하여 반송 용기가 이상한지 아닌지를 판단하는 제3 단계를 실행한다.

Abstract translation: 一种基板处理装置，包括：承载运输容器的装载口; 检测单元，其检测已经被运送到所述装载端口中并且其盖被去除的运送容器中容纳的基板的储存状态; 一个处理单元，处理已经运送到装载口中的从运输容器移除的基板; 和控制单元。 控制单元执行第一步骤，在将基板从运送容器移走以被传送到处理单元之前，检测包含在已经运送到装载口中的运输容器中的基板的储存状态; 第二步骤，在关闭盖子之前检测已经在处理单元中处理并返回到原始运输容器的基板的储存状态; 以及第三步骤，基于第一和第二步骤的结果来判断运输集装箱是否具有异常。

公开(公告)号：KR1020100109439A

公开(公告)日：2010-10-08

申请号：KR1020100027568

申请日：2010-03-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카노세이지 ,  마츠시타미치아키 ,  이이다나루아키 ,  에노키다스구루 ,  모리카와가츠히로

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/68707 ,  B25J11/0095 ,  B25J19/0066 ,  H01L21/68757 ,  Y10S414/141

Abstract: PURPOSE: The substrate support device and method for supporting a substrate. The deterioration of the circuit layout part can be controlled. The deterioration of the circuit layout part by the processing liquid can be controlled. CONSTITUTION: The substrate support device(11) and method for supporting a substrate. The supporting member, position regulation part, and protective film is included. The supporting member has the rear side supporting part supporting the rear side of substrate. The position regulation part regulates the location of substrate.

Abstract translation: 目的：用于支撑基板的基板支撑装置和方法。 可以控制电路布局部分的劣化。 可以控制由处理液体导致的电路布局部分的劣化。 构成：衬底支撑装置（11）和支撑衬底的方法。 包括支撑构件，位置调节部分和保护膜。 支撑构件具有支撑基板的后侧的后侧支撑部。 位置调节部分调节衬底的位置。

公开(公告)号：KR101732290B1

公开(公告)日：2017-05-02

申请号：KR1020157015189

申请日：2013-12-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리카와가츠히로 ,  스나카이쿠오 ,  에노키다스구루

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67772 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778

Abstract: 기판처리장치는기판의반송용기가반입되는로드포트와, 상기로드포트에있어서의조작을제어하는장치컨트롤러를구비한다. 장치컨트롤러는반송용기의식별부호에기초하여외부로부터보내져온 파라미터값의추이데이터를기억하는기억부를구비하고있다. 파라미터값의추이데이터란, 상기반송용기의사용횟수와, 로드포트에상기반송용기를반입하여덮개를떼어내기위해서행한조작및 상기반송용기를로드포트로부터반출하기위해서행한조작중 적어도한쪽의조작의결과를수치화한파라미터값을대응시킨것이다. 장치컨트롤러는또한, 반송용기의반입및 반출중 적어도한쪽에따르는상기파라미터값과, 상기반송용기에관한상기파라미터값의과거의추이데이터에기초하여상기반송용기의이상의유무를판정하는판정부를구비한다.

Abstract translation: 并且该值装载端口导入所述基板的输送容器的基板处理，以及用于根据所述负载端口控制操作的控制器。 设备控制器，用于存储参数值的趋势数据设置有存储单元，从外部发送的运输容器的识别码的基础上。 参数值的趋势数据是，使用运输容器数的和进行装载端口为了取下盖板携带输送容器操作和顺序执行的操作中的至少一个的操作，以输送容器从装载端口导出 并且通过数字化结果获得的参数值被映射。 所述设备控制器还包括：根据携带和在参数的与所述运输容器的值进行运输容器和过去的趋势数据中的至少一个用于确定所述参数值的基础上，存在或不存在或多个运输容器的确定 。

公开(公告)号：KR101694646B1

公开(公告)日：2017-01-09

申请号：KR1020157014122

申请日：2013-12-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리카와가츠히로 ,  스나카이쿠오

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: G01N21/88 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67326 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본발명에따른기판처리장치는, 반송용기가반입되는로드포트와, 로드포트에반입되어, 덮개가제거된반송용기내의기판의수납상황을검출하는검출부와, 로드포트에반입된반송용기로부터취출된기판을처리하기위한처리부와, 제어부를구비한다. 제어부는, 로드포트에반입된반송용기로부터기판이처리부에배출되기전에반송용기내의기판의수납상황을검출하는제1 단계와, 처리부에서처리된기판이원래의반송용기로복귀된후, 덮개가폐쇄되기전에상기반송용기내의기판의수납상황을검출하는제2 단계와, 제1 단계와제2 단계에기초하여반송용기가이상한지아닌지를판단하는제3 단계를실행한다.

Abstract translation: 一种基板处理装置，包括：承载运输容器的装载口; 检测单元，其检测已经被运送到所述装载端口中并且其盖被去除的运送容器中容纳的基板的储存状态; 一个处理单元，处理已经运送到装载口中的从运输容器移除的基板; 和控制单元。 控制单元执行第一步骤，在将基板从运送容器移走以被传送到处理单元之前，检测包含在已经运送到装载口中的运输容器中的基板的储存状态; 第二步骤，在关闭盖子之前检测已经在处理单元中处理并返回到原始运输容器的基板的储存状态; 以及第三步骤，基于第一和第二步骤的结果来判断运输集装箱是否具有异常。

公开(公告)号：KR1020150093168A

公开(公告)日：2015-08-17

申请号：KR1020157015189

申请日：2013-12-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리카와가츠히로 ,  스나카이쿠오 ,  에노키다스구루

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67772 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778

Abstract: 기판 처리 장치는 기판의 반송 용기가 반입되는 로드 포트와, 상기 로드 포트에 있어서의 조작을 제어하는 장치 컨트롤러를 구비한다. 장치 컨트롤러는 반송 용기의 식별 부호에 기초하여 외부로부터 보내져 온 파라미터값의 추이 데이터를 기억하는 기억부를 구비하고 있다. 파라미터값의 추이 데이터란, 상기 반송 용기의 사용 횟수와, 로드 포트에 상기 반송 용기를 반입하여 덮개를 떼어내기 위해서 행한 조작 및 상기 반송 용기를 로드 포트로부터 반출하기 위해서 행한 조작 중 적어도 한쪽의 조작의 결과를 수치화한 파라미터값을 대응시킨 것이다. 장치 컨트롤러는 또한, 반송 용기의 반입 및 반출 중 적어도 한쪽에 따르는 상기 파라미터값과, 상기 반송 용기에 관한 상기 파라미터값의 과거의 추이 데이터에 기초하여 상기 반송 용기의 이상의 유무를 판정하는 판정부를 구비한다.