公开(公告)号：KR1020070016190A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：KR1020070007834

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  Y10S414/14

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR1020050016446A

公开(公告)日：2005-02-21

申请号：KR1020047019152

申请日：2003-05-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  니찌아스 카부시키카이샤

Inventor： 모토노히로시 ,  다나하시다카시 ,  구로사와마사지 ,  야마시타가쓰히로

IPC: B01D53/26 ,  B01D53/06 ,  B01D53/28

CPC classification number: F24F3/1423 ,  B01D53/06 ,  B01D53/261 ,  B01D2253/108 ,  B01D2253/25 ,  B01D2253/3425 ,  B01D2256/12 ,  B01D2257/70 ,  B01D2257/80 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4009 ,  F24F2203/1032 ,  F24F2203/1056 ,  F24F2203/1072 ,  F24F2203/108 ,  F24F2203/1084 ,  F24F2203/1088

Abstract: 유기물을 제거한 기체를 공급하기 위한 감습시스템이 제공된다. 이 감습시스템은, 유지케이스와, 유지케이스에 회전가능하게 지지되어, 흡착제를 담지하는 로터를 가지고 있다. 로터는 유지케이스에 부착된 구분판에 의해, 흡착 존과 재생 존으로 구획형성되어 있다. 피처리기체는 흡착 존에 공급되고, 흡착 존에서 처리된 피처리기체는 목적공간에 공급된다. 재생 존에 재생용기체가 공급되어, 흡착 존의 흡착제에 흡착된 수분 및 유기물이 재생 존에서 이탈된다.

公开(公告)号：KR100825134B1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：KR1020070007834

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/677

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR100745867B1

公开(公告)日：2007-08-02

申请号：KR1020010050801

申请日：2001-08-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67373 ,  F27B5/04 ,  F27B17/0025 ,  F27D3/0084 ,  F27D5/0037 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/68707 ,  Y10S269/903 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR100912739B1

公开(公告)日：2009-08-18

申请号：KR1020047019152

申请日：2003-05-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  니찌아스 카부시키카이샤

Inventor： 모토노히로시 ,  다나하시다카시 ,  구로사와마사지 ,  야마시타가쓰히로

IPC: B01D53/26 ,  B01D53/06 ,  B01D53/28

CPC classification number: F24F3/1423 ,  B01D53/06 ,  B01D53/261 ,  B01D2253/108 ,  B01D2253/25 ,  B01D2253/3425 ,  B01D2256/12 ,  B01D2257/70 ,  B01D2257/80 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4009 ,  F24F2203/1032 ,  F24F2203/1056 ,  F24F2203/1072 ,  F24F2203/108 ,  F24F2203/1084 ,  F24F2203/1088

Abstract: 유기물을 제거한 기체를 공급하기 위한 감습시스템이 제공된다. 이 감습시스템은, 유지케이스와, 유지케이스에 회전가능하게 지지되어, 흡착제를 담지하는 로터를 가지고 있다. 로터는 유지케이스에 부착된 구분판에 의해, 흡착 존과 재생 존으로 구획형성되어 있다. 피처리기체는 흡착 존에 공급되고, 흡착 존에서 처리된 피처리기체는 목적공간에 공급된다. 재생 존에 재생용기체가 공급되어, 흡착 존의 흡착제에 흡착된 수분 및 유기물이 재생 존에서 이탈된다.

公开(公告)号：KR1020070016191A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：KR1020070007836

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109 ,  F27B17/0025 ,  F27D5/0037 ,  H01L21/67739

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR100733169B1

公开(公告)日：2007-06-28

申请号：KR1020070007838

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

Abstract translation: 当要处理的对象在垂直热处理系统中进行，通过该开口以进行预定的处理，各种机制在开口中的结构外周形成在所述分隔壁，用于从处理对象转印区域分离的存储箱传送区域（晶片转移区域） 可以提供可以简化并有助于节省空间的立式热处理设备。

公开(公告)号：KR100733168B1

公开(公告)日：2007-06-28

申请号：KR1020070007836

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

Abstract translation: 当要处理的对象在垂直热处理系统中进行，通过该开口以进行预定的处理，各种机制在开口中的结构外周形成在所述分隔壁，用于从处理对象转印区域分离的存储箱传送区域（晶片转移区域） 可以提供可以简化并有助于节省空间的立式热处理设备。

公开(公告)号：KR1020070019779A

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：KR1020070007838

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109 ,  F27B17/0025 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67017

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR1020020015966A

公开(公告)日：2002-03-02

申请号：KR1020010050801

申请日：2001-08-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67373 ,  F27B5/04 ,  F27B17/0025 ,  F27D3/0084 ,  F27D5/0037 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/68707 ,  Y10S269/903 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137

Abstract: PURPOSE: A vertical heat treatment system is provided to be capable of simplifying the structure of various mechanisms in the vicinity of an opening which is formed in a partition wall separating a housing-box transfer area from a treating-object transfer area, and of contributing to space saving, when an object to be treated is carried in the vertical heat treatment system through the opening to carry out a predetermined treatment. CONSTITUTION: In a vertical heat treatment system for carrying an object(W) to be treated, which is housed in a treating-object housing box(2) closed by an opening/closing lid(10), in a treating-object transfer area(46) via an opening(28), which is formed in a partition wall(26) separating a housing-box transfer area(44) for transferring the treating-object housing box from the treating-object transfer area(46) in an atmosphere of an inert gas, to carry out a predetermined treatment, a standby box transfer unit(60) is provided in the housing-box transfer area for holding a treating-object housing box, which houses therein the next object to be carried in the treating-object transfer area, in the vicinity of the opening to cause the treating-object housing box to stand by.

Abstract translation: 目的：提供一种立式热处理系统，能够简化形成在将箱体转移区域从处理对象转移区域分隔开的分隔壁上的开口附近的各种机构的结构， 为了节省空间，当通过开口在垂直热处理系统中承载待处理物体时，进行预定处理。 构成：在用于承载待处理物体（W）的立式热处理系统中，所述物体（W）被容纳在由打开/关闭盖（10）封闭的处理对象收纳箱（2）中的处理对象传送区域 （46），其形成在分隔用于将处理对象收容箱从处理对象转移区域（46）传送的容纳箱传送区域（44）的分隔壁（26）中， 惰性气体的气氛中进行预定的处理，备箱传送单元（60）设置在容纳箱传送区域中，用于保持处理对象收纳盒，其中容纳有待携带的下一个物体 处理对象转移区域，在开口附近使处理对象收纳箱待机。