公开(公告)号：KR1020070016191A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：KR1020070007836

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109 ,  F27B17/0025 ,  F27D5/0037 ,  H01L21/67739

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR100825134B1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：KR1020070007834

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/677

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR1020070017284A

公开(公告)日：2007-02-09

申请号：KR1020060131729

申请日：2006-12-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  다케우치야스시

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  Y10S414/14

Abstract: 본 발명의 피처리체의 처리시스템은 외부에 대하여 구획된 케이스체를 구비한다. 케이스체에는 피처리체를 밀폐상태로 수용함과 동시에 개폐가능한 덮개를 갖는 수용용기가 개체내부에 반입 내놓은 것을 허용하는 수용용기반입출구가 설치되어 있다. 수용용기반입출구의 근방에는, 수용용기의 덮개를 개폐하는 덮개개폐기구가 설치되어 있다. 적어도 수용용기의 덮개의 개방시에, 수용용기의 덮개의 주위를 덮음과 동시에, 내부에 청정도가 높은 청정기체가 흐르는 덮개개폐용 덕트부재가 설치되어 있다.
처리시스템, 반도체웨이퍼, 수용박스, 수용용기, 반송

Abstract translation: 本发明的待处理物体的处理系统具有从外部分隔开的箱体。 壳体设置有用于在关闭状态下容纳待处理物体的容纳容器装载/卸载出口，并且允许具有可打开和关闭的盖子的容纳容器进入物体。 在接收容器的接收口附近设置有用于打开和关闭容器盖的盖开闭机构。 在容器的盖的开口，至少所述容器的盖的外周，并在同一时间覆盖，盖打开和关闭导管装置，用于提供流过的高清洁器内体的清洁度。

公开(公告)号：KR1020070016190A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：KR1020070007834

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  Y10S414/14

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR100456711B1

公开(公告)日：2005-01-15

申请号：KR1019980705029

申请日：1997-10-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  다니후지다모츠 ,  츠카다아키히코

IPC: H01L21/22

CPC classification number: H01L21/67757 ,  C23C16/54 ,  C30B25/08 ,  C30B31/10 ,  C30B31/12 ,  C30B35/005 ,  H01L21/67109 ,  Y10S414/138 ,  Y10S414/139 ,  Y10S414/14

Abstract: A vertical heat treatment apparatus for semiconductor wafers (W) includes a heat treating furnace (19) which is heated to 600 DEG C or higher. In the heat treating furnace (19), the wafers (W) are subjected to batch treatment while they are placed on a boat (16). To the lower side of the heat treating furnace (19), a preparatory vacuum chamber (102) is airtightly connected. Disposed in the preparatory vacuum chamber (102) are a horizontally transfer mechanism (201) and a vertical transfer mechanism (202) for transferring the boat (16). The two transfer mechanisms (201 and 202) are supported by support members (29a and 33a) mounted on a mechanical base (28). The preparatory vacuum chamber (102) and the support members (29a and 33a) are airtightly connected to each other by means of bellows.

Abstract translation: 用于半导体晶片（W）的立式热处理装置包括加热到600℃或更高温度的热处理炉（19）。 在热处理炉（19）中，晶片（W）在放置在舟皿（16）上时经受批量处理。 在热处理炉（19）的下侧将预备真空室（102）气密地连接。 在预备真空室（102）中设置有用于传送船（16）的水平传送机构（201）和垂直传送机构（202）。 两个传送机构（201和202）由安装在机械基座（28）上的支撑构件（29a和33a）支撑。 预备真空室（102）和支撑件（29a和33a）通过波纹管彼此气密连接。 ＆lt;图像＆GT;

公开(公告)号：KR1019990076901A

公开(公告)日：1999-10-25

申请号：KR1019980705029

申请日：1997-10-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  다니후지다모츠 ,  츠카다아키히코

IPC: H01L21/22

Abstract: 반도체 웨이퍼(W)를 위한 수직형 열처리 장치는, 내부 분위기가 600℃ 이상으로 가열되는 열처리로(19)를 갖는다. 열처리로(19)내에서 웨이퍼(W)는 보트(16)에 탑재된 상태에서 일괄식으로 처리된다. 열처리로(19)의 하측에는 진공 예비실(102)이 기밀하게 접속된다. 진공 예비실(102)내에는 보트(16)를 반송하기 위한 수평 반송 기구(201) 및 수직 반송 기구(202)가 배치된다. 양 반송 기구(201, 202)는 진공 예비실(102)의 열 변형으로부터 독립되도록, 기계적 베이스(28)에 장착된 지지 부재(29a, 33a)에 지지된다. 진공 예비실(102)과 지지 부재(29a, 33a)는 벨로우즈(31b, 40b)에 의해 기밀하게 접속된다.

公开(公告)号：KR102163605B1

公开(公告)日：2020-10-07

申请号：KR1020180035196

申请日：2018-03-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리

IPC: H01L21/677

公开(公告)号：KR100745867B1

公开(公告)日：2007-08-02

申请号：KR1020010050801

申请日：2001-08-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67373 ,  F27B5/04 ,  F27B17/0025 ,  F27D3/0084 ,  F27D5/0037 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/68707 ,  Y10S269/903 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR1020020015957A

公开(公告)日：2002-03-02

申请号：KR1020010050546

申请日：2001-08-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  다케우치야스시

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67757 ,  H01L21/67772

Abstract: PURPOSE: A system for processing an object to be processed is provided to surely prevents particles from sticking to the periphery of an accommodating box for the object to be processed from entering into the box when an opening and closing lid removed. CONSTITUTION: The system for processing the object to be processed comprises a stocker(42) for temporarily storing the accommodating box(2) for the object to be processed accommodating the processed object(W) in a sealed state, a processing unit(48) for implementing a predetermined process for the object, and a housing for accommodating at least the stocker and providing an opening(54) through which the box(2) carried in and out between the external. The processing system also provides a mechanism(50) for opening and closing a lid(10) of the box(2) provided adjacent to the opening(54) and a duct(52) for opening and closing the lid(10) which is pulled in and out when the lid is opened and closed, covers the lid and in which a cleaning gas with high cleaning performance flows. When the lid removed, the system prevents the particles sticking to the periphery of the box(10) from entering into the box.

Abstract translation: 目的：提供一种用于处理待处理物体的系统，以确保当打开和关闭盖被移除时，颗粒粘附到待处理物体的容纳箱的周边进入箱体。 构成：处理对象物的系统包括：储存器（42），用于临时存储处理物体（W）处于密封状态的待处理物体的收纳箱（2），处理单元（48） 用于实现对象的预定处理，以及用于容纳至少储存器的壳体，并提供一个开口（54），箱体（2）通过该开口在外部之间进出。 处理系统还提供一种用于打开和关闭与开口（54）相邻设置的盒子（2）的盖子（10）的机构（50）和用于打开和关闭盖子（10）的导管（52） 当盖子打开和关闭时被拉入和拉出，盖住盖子，其中具有高清洁性能的清洁气体流动。 当盖子移开时，系统防止粘附在盒子（10）周边的颗粒进入盒子内。

公开(公告)号：KR100788068B1

公开(公告)日：2007-12-21

申请号：KR1020060131729

申请日：2006-12-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  다케우치야스시

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/677

Abstract: 본 발명의 피처리체의 처리시스템은 외부에 대하여 구획된 케이스체를 구비한다. 케이스체에는 피처리체를 밀폐상태로 수용함과 동시에 개폐가능한 덮개를 갖는 수용용기가 개체내부에 반입 내놓은 것을 허용하는 수용용기반입출구가 설치되어 있다. 수용용기반입출구의 근방에는, 수용용기의 덮개를 개폐하는 덮개개폐기구가 설치되어 있다. 적어도 수용용기의 덮개의 개방시에, 수용용기의 덮개의 주위를 덮음과 동시에, 내부에 청정도가 높은 청정기체가 흐르는 덮개개폐용 덕트부재가 설치되어 있다.
처리시스템, 반도체웨이퍼, 수용박스, 수용용기, 반송