公开(公告)号：KR100825134B1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：KR1020070007834

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/677

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR100745867B1

公开(公告)日：2007-08-02

申请号：KR1020010050801

申请日：2001-08-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67373 ,  F27B5/04 ,  F27B17/0025 ,  F27D3/0084 ,  F27D5/0037 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/68707 ,  Y10S269/903 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR102205383B1

公开(公告)日：2021-01-19

申请号：KR1020170176017

申请日：2017-12-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아베도모아키 ,  하세가와고유 ,  가도베마사토

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: [과제] 본발명은, 냉각가스를분사하지않고웨이퍼의냉각시간을짧게할 수있는기판처리장치및 기판의냉각방법을제공한다. [해결수단] 처리용기와, 복수의기판을보유지지하고, 상기처리용기에로드및 언로드되는기판보유지지구와, 상기처리용기로부터언로드된언로드위치에있어서의상기기판보유지지구의주위에대향하여배치되고, 흡기구를구비하는흡기덕트를갖고, 상기흡기덕트는, 상기흡기덕트의본체를구성하는고정덕트부와, 상기고정덕트부에수용되어, 상기흡기구를구성하는가동덕트부를갖는다.

公开(公告)号：KR1020070016190A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：KR1020070007834

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  Y10S414/14

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR102205384B1

公开(公告)日：2021-01-19

申请号：KR1020180005984

申请日：2018-01-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하세가와고유 ,  아베도모아키

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 기판보유지지구에적재된기판을효율적으로냉각할수 있는기판처리장치및 기판의냉각방법을제공한다. 저면이개구된처리용기와, 복수매의기판을수평으로보유지지하고, 소정간격을갖고연직방향으로적재가능한기판보유지지구와, 해당기판보유지지구를승강시켜, 상기개구로부터상기기판보유지지구를상기처리용기로부터언로드가능한승강기구와, 언로드된상태에있어서의상기기판보유지지구의주위에대향배치되어, 상기기판보유지지구의높이의범위를소정의복수의높이영역에서분할한복수의흡기덕트와, 상기복수의덕트중, 적어도 2개와공통되어연통하는적어도하나의배기수단과, 해당배기수단과상기복수의흡기덕트의연통을개별적으로개폐가능한복수의밸브와, 상기기판보유지지구를하강시켜상기처리용기로부터언로드할때, 상기복수의흡기덕트에대응하는상기복수의밸브를, 상기기판보유지지구의하강으로연동시켜위에서아래의순서대로, 폐쇄에서개방으로순차변화시켜가는제어수단을갖는다.

公开(公告)号：KR102171647B1

公开(公告)日：2020-10-29

申请号：KR1020170096746

申请日：2017-07-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아베다카히로 ,  하세가와고유 ,  아베도시히로

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

公开(公告)号：KR1020070016191A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：KR1020070007836

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109 ,  F27B17/0025 ,  F27D5/0037 ,  H01L21/67739

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

公开(公告)号：KR100733169B1

公开(公告)日：2007-06-28

申请号：KR1020070007838

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

Abstract translation: 当要处理的对象在垂直热处理系统中进行，通过该开口以进行预定的处理，各种机制在开口中的结构外周形成在所述分隔壁，用于从处理对象转印区域分离的存储箱传送区域（晶片转移区域） 可以提供可以简化并有助于节省空间的立式热处理设备。

公开(公告)号：KR100733168B1

公开(公告)日：2007-06-28

申请号：KR1020070007836

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.

Abstract translation: 当要处理的对象在垂直热处理系统中进行，通过该开口以进行预定的处理，各种机制在开口中的结构外周形成在所述分隔壁，用于从处理对象转印区域分离的存储箱传送区域（晶片转移区域） 可以提供可以简化并有助于节省空间的立式热处理设备。

公开(公告)号：KR1020070019779A

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：KR1020070007838

申请日：2007-01-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카타가즈나리 ,  하세가와고유 ,  가타부치게이이치 ,  와타나베신고 ,  모치즈키신야 ,  아키모토모토키 ,  모토노히로시

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109 ,  F27B17/0025 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67017

Abstract: 피처리체가 소정의 처리를 수행하기 위해 개구부를 통하여 수직열처리장치에 반입될 때, 수납박스 운송영역을 피처리체 운송영역(웨이퍼운송영역)으로부터 분리하는 분리벽에 형성된 개구부 주변의 다양한 기구의 구조를 단순화할 수 있고, 공간의 절약에 기여할 수 있는 수직열처리장치를 제공한다.
소정의 열처리를 수행하기 위해 불활성가스의 분위기에서 피처리체 운송영역 (46)으로부터 피처리체 수납박스를 운송하기 위한 수납박스운송영역(44)을 분리하기 위한 분리벽(26) 안에 형성되어 있는, 개/폐뚜껑(10)에 의해 닫혀진 피처리체 수납박스(2) 안에 적재된 피처리체를 개구부(28)를 통하여 피처리체 운송영역(46)으로 운반하기 위한 수직열처리장치에서, 대기용 박스운송수단(60)이 피처리체 수납박스를 대기하도록 하는 개구부 주변의, 피처리체 운송영역에 운송된 다음 피처리체를 그 안에 수납하는, 피처리체 운송박스를 지지하기 위한 수납박스운송영역 안에 설치되어있다. 그리하여, 피처리체가, 소정의 처리를 수행하기 위하여 피처리체 운송영역(웨이퍼 운송영역)으로부터 수납박스 운송영역을 분리하는 분리벽의 개구부를 통하여 반입될 때, 개구부 주변의 다양한 기구들의 구조가 단순화되고, 공간이 절약된다.