公开(公告)号：KR1020100092881A

公开(公告)日：2010-08-23

申请号：KR1020100009009

申请日：2010-02-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 타키구치야스시 ,  요시무라코키 ,  미야타유이치로 ,  야마모토유스케

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/3021 ,  G03F7/3057 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70933 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715

Abstract: 횡방향으로일렬로배치된기판보지부를구비한복수의액 처리부와, 이들액 처리부에대하여공용화된처리액노즐을구비한액 처리장치에서, 상기처리액노즐로부터기판으로처리액이낙하되는것을억제하여수율의저하를방지하는것이다. 횡방향으로일렬로배열된복수의컵체의개구부간에서처리액노즐의이동로의하방측에, 이동수단에의해이동하는처리액노즐로부터매달려있는상기처리액의액적에접촉하여이 액적을처리액노즐로부터제거하기위한액 제거부가설치되어있다. 따라서, 처리액노즐이기판에처리를행하기위하여대기부와각 액처리부를이동함에있어서처리액노즐로부터기판상으로상기액적이낙하되는것을방지할수 있다. 그결과로서수율의저하를억제할수 있다.

Abstract translation: 目的：提供一种用于处理液体的装置和方法以及存储介质，以通过防止来自处理液喷嘴的基板上的液滴来抑制产量的劣化。 构成：显影处理单元（21a-21c）排列成一列，并包括通过吸收水平地保持基板的后中心的旋转卡盘（22a）。 旋转卡盘通过插入旋转轴线（23a）与旋转驱动单元（24a）接触。 工艺液喷嘴（4a-4c）被供给到基板，并且包括用于向下排放处理液的出口。 处理液喷嘴被接收在备用单元中。

公开(公告)号：KR101530959B1

公开(公告)日：2015-06-23

申请号：KR1020100009009

申请日：2010-02-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 타키구치야스시 ,  요시무라코키 ,  미야타유이치로 ,  야마모토유스케

IPC: H01L21/027

Abstract: 횡방향으로일렬로배치된기판보지부를구비한복수의액 처리부와, 이들액 처리부에대하여공용화된처리액노즐을구비한액 처리장치에서, 상기처리액노즐로부터기판으로처리액이낙하되는것을억제하여수율의저하를방지하는것이다. 횡방향으로일렬로배열된복수의컵체의개구부간에서처리액노즐의이동로의하방측에, 이동수단에의해이동하는처리액노즐로부터매달려있는상기처리액의액적에접촉하여이 액적을처리액노즐로부터제거하기위한액 제거부가설치되어있다. 따라서, 처리액노즐이기판에처리를행하기위하여대기부와각 액처리부를이동함에있어서처리액노즐로부터기판상으로상기액적이낙하되는것을방지할수 있다. 그결과로서수율의저하를억제할수 있다.

公开(公告)号：KR1020120004921A

公开(公告)日：2012-01-13

申请号：KR1020110050778

申请日：2011-05-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미야타유이치로 ,  오카다소이치로 ,  이나다히로이치 ,  기시타나오후미

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0274 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/70341

Abstract: PURPOSE: Liquid treatment equipment is provided to prevent the generation of an air current which promotes processing liquid mist to be reattached to a substrate by guiding or rectifying the flow of outer air which is generated in the rear side of a substrate according to rotation of the substrate. CONSTITUTION: An internal cup member(40) comprises the external inclined surface(41) of a cyclic type and external vertical surface(42) of the cyclic type. The upper side of an intermediate cup member(50) is located between the internal cup member and an external cup member(60). A liquid receiver(51) of the cyclic type is formed in the bottom side of the intermediate cup member. A waste liquid pathway(52) is connected to the bottom wall of the liquid receiver. A ringed space(78) locates between the internal cup member and the external cup member. A vertical wall(100) of the cyclic type is projected from a incline surface(61) toward the lower side.

Abstract translation: 目的：提供液体处理设备，以防止产生气流，从而通过引导或整流在基板的后侧产生的外部空气的流动，从而促进将液体雾重新附着到基板上， 基质。 构成：内杯构件（40）包括循环型的外倾斜面（41）和环状型的外垂直面（42）。 中间杯构件（50）的上侧位于内杯构件和外杯构件（60）之间。 在中间杯构件的底侧形成有循环型液体接收器（51）。 废液通道（52）连接到液体接收器的底壁。 环形空间（78）位于内杯构件和外杯构件之间。 循环型的垂直壁（100）从斜面（61）向下侧突出。