公开(公告)号：KR1020060046489A

公开(公告)日：2006-05-17

申请号：KR1020050053361

申请日：2005-06-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스즈끼게이스께 ,  아오끼기미야 ,  우메자와고오따 ,  마테스토마스빌헬름 ,  벨하우젠우베 ,  더로프노르베르트

IPC: H01L21/76 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02238 ,  H01L21/0223 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/31662 ,  H01L21/76235

Abstract: 진공화 가능하게 이루어진 처리 용기(22) 내에, 표면에 홈부(4)가 형성된 피처리체(W)를 수용하고, 상기 처리 용기 내에 산화성 가스와 환원성 가스를 공급하여 상기 양 가스를 반응시킴으로써 발생한 산소 활성종과 수산기 활성종을 갖는 분위기 중에서 상기 피처리체의 표면을 산화하도록 한 피처리체의 산화 방법에 있어서, 상기 산화시의 처리 용기 내의 온도를 900 ℃ 이하가 되도록 설정한다. 이에 의해, 트렌치(홈부)의 견부의 코너부뿐만 아니라 바닥부의 코너부도 함께 둥글게 곡면 형상으로 하여 파셋의 발생을 방지한다.
처리 용기, 홈부, 진공 펌프, 견부, 코너부