公开(公告)号：KR1020170071425A

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：KR1020160168403

申请日：2016-12-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 시게토미겐이치 ,  사이쿠사다케시 ,  세키모토에이이치 ,  후쿠도메다카유키 ,  요시하라고오스케 ,  에노키다스구루 ,  다케시타가즈히로 ,  우메키가즈토

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324 ,  H01L21/66 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40

CPC classification number: H01L21/67248 ,  H01L21/67103 ,  H05B1/0233 ,  H05B2203/037

Abstract: 기판의면내에있어서나기판사이에있어서나, 균일성이양호한가열처리를행할수 있는기술을제공하는것. 각각기판을적재대에적재하여가열하는복수의가열모듈을구비한기판처리장치에있어서, 상기적재대에복수설치되고, 서로독립해서발열량이제어되는히터와, 상기복수의히터각각에대응하는기판의피가열부위에대해, 미리결정된제1 시점으로부터제2 시점에이르기까지의사이의적산열량이 1대의적재대중에서균일하고, 또한복수의가열모듈의사이에서균일하도록제어신호를출력하는제어부를구비하도록장치를구성한다. 상기제1 시점은, 히터의발열량이안정되어있는상태에서적재대에기판이적재된후의기판의온도추이프로파일에있어서, 기판의프로세스온도를향하는승온도중의시점이고, 상기제2 시점은상기온도추이프로파일에있어서기판이처리온도에도달한후의시점이다.

Abstract translation: 本发明提供一种能够在基板的表面中的基板的表面中以良好的均匀性或均匀性进行热处理的技术。 具有多个加热模块的加热一种基板处理装置来加载抵靠衬底对应于加热器和安装到安装表上的多个所述基板的所述各装载，独立地热输出被控制到彼此，所述多个加热器中的 对于UIPI加热部分，所述kkajiui之间累积下降到从所述第一点的第二点的预定热量，甚至从一个负荷质量，以及用于输出控制信号是多个加热模块中均匀的控制单元 从而构成一个单元。 在第一时间，在在状态在载置台上的基板后的基板温度趋势轮廓，其中所述加热器稳定负载的热值，并且在朝向提高基板的处理温度的方式点，第二时间点是这样的温度 这是衬底在过渡曲线中达到处理温度之后的时间点。