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公开(公告)号:KR102260238B1
公开(公告)日:2021-06-02
申请号:KR1020190065203
申请日:2019-06-03
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
公开(公告)号:KR102260238B1
公开(公告)日:2021-06-02
申请号:KR1020190065203
申请日:2019-06-03
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/683 , H01L21/67