-
公开(公告)号：KR102225474B1
公开(公告)日：2021-03-08
申请号：KR1020140136659
申请日：2014-10-10
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/78
Abstract: [과제] 피처리기판과지지기판의박리처리를효율적으로행한다. [해결수단] 박리장치는, 중첩기판중 지지기판을유지하는제1 유지부와, 중첩기판중 피처리기판을유지하는제2 유지부와, 제1 유지부의외주부의일부를제2 유지부로부터분리하는방향으로이동시키는이동부를갖는다. 제1 유지부는, 이동부에접속되는판형의탄성부재와, 탄성부재에설치되고, 지지기판을흡착하는복수의흡착부를갖는다. 복수의흡착부중, 박리의기점이되는지지기판(S)의외주부를흡착하는외주흡착부(53)는, 지지기판(S)의흡착면(521a)이개구되어중공부(521b)가형성된패드부재(521)와, 패드부재(521)의중공부(521b)에감입하여설치되고, 패드부재(521)보다높은경도를갖는서포트부재(522)를갖는다.
-
公开(公告)号：KR1020150042734A
公开(公告)日：2015-04-21
申请号：KR1020140136659
申请日：2014-10-10
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/78
CPC classification number: B32B38/18 , B32B38/10 , B32B38/1858 , B32B43/006 , B32B2309/105 , B32B2457/14 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , Y10T156/1132 , Y10T156/1168 , Y10T156/1944 , Y10T156/1967 , Y10T156/1994 , H01L21/67712
Abstract: [과제] 피처리기판과지지기판의박리처리를효율적으로행한다. [해결수단] 박리장치는, 중첩기판중 지지기판을유지하는제1 유지부와, 중첩기판중 피처리기판을유지하는제2 유지부와, 제1 유지부의외주부의일부를제2 유지부로부터분리하는방향으로이동시키는이동부를갖는다. 제1 유지부는, 이동부에접속되는판형의탄성부재와, 탄성부재에설치되고, 지지기판을흡착하는복수의흡착부를갖는다. 복수의흡착부중, 박리의기점이되는지지기판(S)의외주부를흡착하는외주흡착부(53)는, 지지기판(S)의흡착면(521a)이개구되어중공부(521b)가형성된패드부재(521)와, 패드부재(521)의중공부(521b)에감입하여설치되고, 패드부재(521)보다높은경도를갖는서포트부재(522)를갖는다.
Abstract translation: [主题]对被处理基板和支撑基板进行有效的剥离处理。 [解决方案]剥离装置包括：第一维护部件，用于将支撑基板保持在叠置的基板之间; 第二维护部件，用于将处理过的基板保持在叠加的基板之间; 以及移动部件，用于使第一维护部件的外周的一部分沿与第二维修部分分离的方向移动。 第一维护部件包括：连接到移动部件的平面弹性部件; 以及多个吸附部，安装在弹性部件上以吸附支撑基板。 在多个吸附部之间吸附作为剥离开始点的支承基板（S）的圆周部的圆周吸附部（53）通过嵌入形成中空部（521b）的垫部（521a）而被安装 ），其中所述支撑基板（S）的吸附表面（521a）打开并且在衬垫构件（521）的中空部分（521b）中，并且具有硬度高于所述衬垫构件的支撑构件（522） 521）。
-
公开(公告)号：KR1020170088764A
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：KR1020170009877
申请日：2017-01-20
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/683 , H01L21/02 , H01L21/677 , H01L21/66 , H01L21/67 , H01L33/00
Abstract: 접착테이프또는접착제를개재하여피처리기판과지지기판을접합한후, 접합된중합기판에대해행하는자외선처리를효율적으로행한다. 자외선처리장치(42)는, 중합기판(T) 중피처리기판을보유지지하는기판보유지지부와, 자외선을조사하는복수의 LED를구비한자외선조사부(150)와, 자외선조사부(150)의하방에설치되고, 당해자외선조사부(150)를촬상하여복수의 LED의점등을검사하는점등검사부(160)와, 자외선조사부(150)의하방과, 당해자외선조사부(150)의외측사이에서, 기판보유지지부를이동시키는제1 구동부(130) 및제1 아암(131)을갖는다. 자외선조사부(150)는기판보유지지부에보유지지된중합기판(T)에대해, 지지기판측으로부터접착테이프또는접착제를향해자외선을조사한다.
Abstract translation: 经由粘合带或粘合到衬底和支撑衬底之后执行通过聚合有效地进行键合衬底上的UV处理的。 UV处理装置42，聚合物基材（T）和用于保持所述间皮基板，具有多个LED照射的紫外线照射部150的紫外线的基片保持部上，UV照射150乌伊哈岛室 被提供，本领域技术用UV光检测单元160，用于通过成像的照射部150中，UV照射150乌伊哈岛室，在本领域紫外线照射单元150向意想不到侧之间，基片保持部中检查等多个LED uijeom的 以及用于移动第一驱动单元130和第一驱动单元130的第一臂131。 紫外线照射单元150将紫外线朝向粘合带或粘合剂从支撑衬底侧照射到由衬底保持单元保持的聚合衬底T.
-
公开(公告)号：KR1020160096021A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：KR1020160011199
申请日：2016-01-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L21/78 , B32B38/10 , B32B43/006 , H01L21/67092 , H01L21/67253 , H01L22/12 , Y10T156/1179 , Y10T156/1184 , Y10T156/1961 , Y10T156/1967
Abstract: 박리기점의형성에의한기판의파손을억제한, 박리장치의제공. 제1 기판과제2 기판이접합된중합기판을상기제1 기판과상기제2 기판으로박리하는박리장치로서, 상기제1 기판과상기제2 기판사이에박리기점으로서의절입을형성하는날부와, 상기날부의날끝의상태를검사하는검사부를구비하고, 상기검사부는, 상기날부의날끝을촬상하는촬상부와, 상기촬상부의화상을화상처리하는화상처리부를갖는, 박리장치.
Abstract translation: 提供一种剥离装置，其通过形成剥离开始点来抑制对基板的损伤。 剥离装置将通过将第一基板和第二基板接合而形成的叠置基板分离成第一基板和第二基板，并且包括被配置为形成作为第一基板和第二基板之间的剥离起点的切口的刀片部，以及配置 以检查刀片部分的切削刃的状态。 检查单元包括：成像单元，被配置为对刀片部分的切割刃进行成像; 以及图像处理单元，被配置为处理所述成像单元的图像。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.017 seconds)
