公开(公告)号：KR100780133B1

公开(公告)日：2007-11-27

申请号：KR1020010041509

申请日：2001-07-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토노리카쯔 ,  오가타구니에 ,  기무라요시오 ,  도미타히로시 ,  나카시마세이지 ,  가미야히데히코

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67161 ,  G01N21/9501 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67781 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/141

Abstract: 카세트 스테이션, 도포 유닛과 현상 유닛을 구비하는 처리 스테이션, 막두께 검사장치와 결함 검사장치를 구비하는 검사 스테이션(S2)을 카세트 스테이션의 카세트의 배열방향과 거의 직교하는 방향으로 배치하고, 검사 스테이션이 카세트 스테이션과 처리 스테이션과의 사이에 설치되도록 배치한다. 이러한 구성에서는, 검사 스테이션을 처리 스테이션에 접속하고, 이들 스테이션 사이에서 웨이퍼의 반송은 자동으로 이루어지고 있기 때문에 기판의 처리에서부터 검사에 걸친 작업의 간편화와 시간의 단축을 도모할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020020006469A

公开(公告)日：2002-01-19

申请号：KR1020010041509

申请日：2001-07-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토노리카쯔 ,  오가타구니에 ,  기무라요시오 ,  도미타히로시 ,  나카시마세이지 ,  가미야히데히코

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67161 ,  G01N21/9501 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67781 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/141

Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus is provided to make simple and easy works from the substrate processing to the inspection and to shorten the time by connecting an inspecting station to a processing station. CONSTITUTION: A cassette station(S1), a process station(S3) having an applying station and a developing unit(41), and an inspecting station having a film thickness inspector(31A) and a defect inspector(32A) are arranged approximately right angles to a cassette(22) array in the cassette station(S1), with the inspecting station(S2) being disposed between the cassette and the process stations(S1,S3). In such a constitution the inspecting station is connected to the process station and wafers(W) are transferred automatically between these stations(S2,S3) and this enables facilitating simple and easy works from the substrate processing to the inspection and shorten the time.

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置，用于从基板处理到检查进行简单且容易的工作，并且通过将检查站连接到处理站来缩短时间。 构成：具有施加站和显影单元（41）的盒式站（S1），处理站（S3）以及具有膜厚度检查器（31A）和缺陷检查器（32A）的检查站大致正确地布置 与盒式车站（S1）中的盒（22）阵列的角度，检查站（S2）设置在盒和处理站（S1，S3）之间。 在这种结构中，检查站连接到处理站，晶片（W）在这些站之间自动转移（S2，S3），这使得能够简化和简单地从基板处理到检查的工作，缩短时间。