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1.发明公开기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 그 기판 처리 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 有权基板处理装置，基板处理方法以及具有用于执行记录的基板处理方法的程序的计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR1020120114146A
公开(公告)日：2012-10-16
申请号：KR1020120001901
申请日：2012-01-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G06T7/0004 , G01N21/9501 , G06T2207/30148 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus, a substrate processing method, and recording medium are provided to prevent substrate processing to be stopped when an error is generated and to reduce an installation area. CONSTITUTION: A rotation driving unit(34) rotates the center of a substrate holding unit. A transfer unit comprises a moving drive unit which horizontally transfers the substrate holding unit. A radiation unit radiates light to a peripheral exposure unit. The peripheral exposure unit performs a peripheral exposure process. A substrate inspection unit(70) performs a substrate inspection process based on an image which is recorded. A controller(80) controls the peripheral exposure unit and the substrate inspection unit.
Abstract translation: 目的：提供基板处理装置，基板处理方法和记录介质，以防止在产生错误时停止基板处理并且减小安装面积。 构成：旋转驱动单元（34）使基板保持单元的中心旋转。 传送单元包括水平地传送基板保持单元的移动驱动单元。 辐射单元将光辐射到外围曝光单元。 外围曝光单元进行周边曝光处理。 基板检查单元（70）基于记录的图像进行基板检查处理。 控制器（80）控制外围曝光单元和基板检查单元。
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2.发明公开기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 그 기판 처리 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 无效一种基板处理装置，基板处理方法以及存储用于执行基板处理方法的程序的计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR1020170031122A
公开(公告)日：2017-03-20
申请号：KR1020170029938
申请日：2017-03-09
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027 , G06T7/00 , G01N21/95
CPC classification number: G06T7/0004 , G01N21/9501 , G06T2207/30148
Abstract: 본발명은주변노광과기판검사중 어느한쪽의처리에이용되는부분에이상이발생했을때에, 기판처리가정지하는것을방지할수 있는기판처리장치를제공하는것을목적으로한다. 기판유지부(33)에유지된기판을회전구동부(34)에의해회전시키면서, 기판의주변부에광을조사하여주변노광처리를수행하는주변노광부(50)와, 기판을이동구동부(35)에의해이동시키면서, 기판을촬상한화상에기초하여기판검사처리를수행하는기판검사부(70)와, 제어부(80)를갖는다. 제어부(80)는정해진기판처리에주변노광처리가포함되어있으면, 정해진기판처리를정지시키고, 기판검사부(70)에이상이발생했을때, 주변노광부(50) 및반송부(32) 모두에이상이발생하지않았고, 정해진기판처리에기판검사처리가포함되어있으면, 기판검사처리를스킵하도록제어한다.
Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种能够防止发生时，在任一边缘暴露于基板检查侧的处理中使用的基板处理异常停止部的基板处理装置。 而由基板保持部旋转通过33驱动部34保持的基板，和对周围通过照亮基板的周边，移动基片驱动器35执行边缘曝光处理的暴露部分（50）被旋转 而由移动，并用于通过在衬底成像获得的图像的基础上执行所述基板检查处理的基板检查单元70和具有控制单元80。 或多个在两个控制单元80，如果它包含在一个固定的基板处理边缘曝光处理，并停止在预定的衬底处理，产生异常基板检查部70，曝光部50周围和进位部32时 如果衬底检查过程被包括在预定的衬底过程中，则控制单元20跳过衬底检查过程。
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公开(公告)号：KR101719383B1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：KR1020120001901
申请日：2012-01-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G06T7/0004 , G01N21/9501 , G06T2207/30148
Abstract: 본발명은주변노광과기판검사중 어느한쪽의처리에이용되는부분에이상이발생했을때에, 기판처리가정지하는것을방지할수 있는기판처리장치를제공하는것을목적으로한다. 기판유지부(33)에유지된기판을회전구동부(34)에의해회전시키면서, 기판의주변부에광을조사하여주변노광처리를수행하는주변노광부(50)와, 기판을이동구동부(35)에의해이동시키면서, 기판을촬상한화상에기초하여기판검사처리를수행하는기판검사부(70)와, 제어부(80)를갖는다. 제어부(80)는정해진기판처리에주변노광처리가포함되어있으면, 정해진기판처리를정지시키고, 기판검사부(70)에이상이발생했을때, 주변노광부(50) 및반송부(32) 모두에이상이발생하지않았고, 정해진기판처리에기판검사처리가포함되어있으면, 기판검사처리를스킵하도록제어한다.
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