公开(公告)号：KR1020140139431A

公开(公告)日：2014-12-05

申请号：KR1020140063161

申请日：2014-05-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기쿠치히토시 ,  고바야시다케시 ,  요시다미츠히로 ,  하가유타 ,  다카바타케유지 ,  이토나오히데 ,  스가와라가츠아키 ,  지바마사아키 ,  사토히로유키

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/66 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  G06T7/00

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/45551 ,  H01L21/67259 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/30148 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/681 ,  H01L21/683 ,  H01L22/10 ,  H01L22/30

Abstract: 챔버 내에 구비된 회전 테이블의 표면에 형성된 기판 적재용의 오목부에 기판(W)이 적재되었을 때에, 상기 회전 테이블을 회전시켜도 상기 기판이 상기 오목부로부터 튀어나오지 않는 상태가 된 것을 검출하는 회전 가능 상태 검출 장치이다. 상기 회전 상태 가능 검출 장치는, 상기 기판이 상기 오목부 상에 적재되었을 때에, 상기 기판 단부의 표면 높이가, 상기 회전 테이블을 회전 개시 가능한 소정값 이하가 된 것을 검출하는 회전 가능 상태 검출 수단을 갖는다.

Abstract translation: 公开了一种用于检测准备旋转状态的装置，其检测当形成在室中的转盘的表面上的凹部上的基板W从凹部移出时不会从凹部移出的状态 转盘旋转。 用于检测准备旋转状态的装置包括准备旋转状态检测单元，用于在接收到基板时检测基板的端部的表面的高度是否等于或低于指示转台的预定值 在凹部上。

公开(公告)号：KR1020140139429A

公开(公告)日：2014-12-05

申请号：KR1020140062941

申请日：2014-05-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카하시기이치 ,  고바야시다케시 ,  다카바타케유지 ,  이토나오히데 ,  스가와라가츠아키

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/66 ,  G06T7/00

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G06T2207/30148 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/681 ,  H01L21/683 ,  H01L22/00 ,  H01L22/30

Abstract: 본 발명은 챔버 내에 구비된 회전 테이블의 표면에 형성된 기판 적재용 오목부 상에 기판 W가 적재되어, 상기 회전 테이블을 회전시켜도 상기 기판이 상기 오목부로부터 튀어나오지 않는 상태로 된 것을 검출하는 회전 가능 상태 검출 장치이다. 상기 회전 상태 가능 검출 장치는 상기 기판이 상기 오목부 상에 적재되었을 때에, 상기 기판의 단부의 표면의 높이가, 상기 회전 테이블을 회전 개시 가능한 소정값 이하로 된 것을 검출하는 회전 가능 상태 검출 수단을 갖는다.

Abstract translation: 用于检测准备旋转状态的装置检测当转盘旋转时，放置在形成在室中的转台的表面上的凹部上的基板W不会从凹部移出的状态。 用于检测准备旋转状态的装置包括准备旋转状态检测单元，用于在接收到基板时检测基板的端部的表面的高度是否等于或低于指示转台的预定值 在凹部上。

公开(公告)号：KR101734617B1

公开(公告)日：2017-05-11

申请号：KR1020140063161

申请日：2014-05-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기쿠치히토시 ,  고바야시다케시 ,  요시다미츠히로 ,  하가유타 ,  다카바타케유지 ,  이토나오히데 ,  스가와라가츠아키 ,  지바마사아키 ,  사토히로유키

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/66 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  G06T7/00

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/45551

Abstract: 챔버내에구비된회전테이블의표면에형성된기판적재용의오목부에기판(W)이적재되었을때에, 상기회전테이블을회전시켜도상기기판이상기오목부로부터튀어나오지않는상태가된 것을검출하는회전가능상태검출장치이다. 상기회전상태가능검출장치는, 상기기판이상기오목부상에적재되었을때에, 상기기판단부의표면높이가, 상기회전테이블을회전개시가능한소정값이하가된 것을검출하는회전가능상태검출수단을갖는다.

Abstract translation: 当将基板W安装在用于安装形成在设置在腔室中的旋转台的表面上的基板的凹部上时，旋转台的旋转被检测， 状态检测装置。 旋转状态使能检测装置具有可旋转状态检测装置，用于检测上部设备判定部分的表面的高度变得小于或等于当装置安装在基板的凹部上时旋转台能够开始旋转的预定值。

公开(公告)号：KR101736538B1

公开(公告)日：2017-05-16

申请号：KR1020140062941

申请日：2014-05-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카하시기이치 ,  고바야시다케시 ,  다카바타케유지 ,  이토나오히데 ,  스가와라가츠아키

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/66 ,  G06T7/00

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G06T2207/30148

Abstract: 본발명은챔버내에구비된회전테이블의표면에형성된기판적재용오목부상에기판 W가적재되어, 상기회전테이블을회전시켜도상기기판이상기오목부로부터튀어나오지않는상태로된 것을검출하는회전가능상태검출장치이다. 상기회전상태가능검출장치는상기기판이상기오목부상에적재되었을때에, 상기기판의단부의표면의높이가, 상기회전테이블을회전개시가능한소정값이하로된 것을검출하는회전가능상태검출수단을갖는다.

Abstract translation: 基板安装形成于旋转台的表面上的凹部上的基板W gajeok材料的发明中，旋转状态检测检测到该旋转旋转台即使当状态不从在所述室中提供的衬底移相器凹部伸出 该设备。 旋转状态检测装置具有旋转状态检测装置，用于检测基板端部表面的高度是否小于或等于当基板装载到基板上时旋转台能够开始旋转的预定值， 。