公开(公告)号：KR1020160146576A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：KR1020160072584

申请日：2016-06-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타킵뻬이 ,  미나미토모히데

IPC: H01J37/32 ,  G01R27/26 ,  G01D5/241

CPC classification number: G01N27/24 ,  G01R27/2605 ,  G01R31/265 ,  G01R31/2831 ,  G01R31/318511 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32211 ,  H01J37/32642 ,  G01D5/2417

Abstract: 포커스링을검사하기위한시스템을제공한다. 일실시형태의시스템은측정기, 반송장치및 연산장치를구비한다. 측정기는베이스기판, 센서칩 및회로기판을가지고있다. 센서칩은센서전극을가지고, 베이스기판의엣지를따라마련되어있다. 회로기판은, 센서전극에고주파신호를부여하고, 센서전극에서의전압진폭으로부터정전용량을나타내는디지털값을취득한다. 반송장치는측정기를주사한다. 연산장치는, 포커스링의내연에교차하는방향을따른복수의위치에서측정기에의해취득된복수의디지털값에대한차분연산에의해복수의차분값을구한다.

Abstract translation: 提供了一种检查对焦环的系统。 该系统包括测量装置，传送装置和操作单元。 测量装置包括基底，传感器芯片和电路板。 传感器芯片具有传感器电极并且沿着基底基板的边缘设置。 电路板被配置为向传感器电极输出高频信号，并且基于传感器电极中的电压振幅获取表示静电电容的数字值。 传送装置被配置为扫描测量装置。 操作单元被配置为通过对与测量装置在与聚焦环的内周相交的方向的多个位置处获取的数字值执行差分运算来获得差值。

公开(公告)号：KR1020160146574A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：KR1020160072572

申请日：2016-06-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타킵뻬이 ,  미나미토모히데

IPC: G01R27/26 ,  G01R31/26 ,  H01L21/68

CPC classification number: G01D5/2417 ,  G01D5/24 ,  G01R27/2605 ,  G06F3/044 ,  G06K9/0002 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2607 ,  G08C17/02 ,  H01L21/68

Abstract: 특정방향에높은지향성을가지고정전용량의측정을행하는것을가능하게한다. 일실시형태의정전용량측정용의센서칩은제 1 전극, 제 2 전극및 제 3 전극을가지고있다. 제 1 전극은제 1 부분을가지고있다. 제 2 전극은제 1 전극의제 1 부분상에서연장되는제 2 부분을가지고, 센서칩 내에서제 1 전극으로부터절연되어있다. 제 3 전극은제 1 전극의제 1 부분및 제 2 전극의제 2 부분에교차하는방향으로연장되는전면을가지고, 제 1 부분상, 또한제 2 부분상에마련되어있고, 상기센서칩 내에서제 1 전극및 제 2 전극으로부터절연되어있다.

Abstract translation: 可以在特定方向上以高方向性测量静电电容。 测量静电电容的传感器芯片包括第一电极，第二电极和第三电极。 第一电极具有第一部分。 第二电极具有在第一电极的第一部分上延伸的第二部分，并且与传感器芯片内的第一电极绝缘。 第三电极具有在与第一电极的第一部分和第二电极的第二部分相交的方向上延伸的前表面，并且设置在第一部分和第二部分上。 第三电极与传感器芯片内的第一电极和第二电极绝缘。