公开(公告)号：KR1019980024359A

公开(公告)日：1998-07-06

申请号：KR1019970045908

申请日：1997-09-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이마이마사유키 ,  가네코노리히토 ,  아메미야마사아키 ,  하세베가즈히데

IPC: H01L21/66

Abstract: 피검사체를 도입하는 도입스테이지에 피검사체가 재치된다. 이 피검사체는 검사대상에 이재되고, 피검사체에 측정광을 조사해서 피검사체의 표면에 형성되어 있는 박막의 두께가 측정된다. 피검사체의 도입스테이지와 상기 검사대의 사이에 덮개부재가 설치되고, 이 덮개부재에 의해 피검사체(W)의 반송공간과 검사대를 내장한 측정공간이 형성된다. 덮개부재에 의해 애워싼 반송공간과 측정공간에 불순물이 극히 적은 순수가스가 순수가스도입부로부터 도입된다.

公开(公告)号：KR100479986B1

公开(公告)日：2005-07-28

申请号：KR1019970045908

申请日：1997-09-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이마이마사유키 ,  가네코노리히토 ,  아메미야마사아키 ,  하세베가즈히데

IPC: H01L21/66

Abstract: 피검사체를 도입하는 도입스테이지에 피검사체가 올려놓아진다. 이 피검사체는 검사대 위에 반송되고, 피검사체에 측정광을 조사해서 피검사체의 표면에 형성되어 있는 박막의 두께가 측정된다. 피검사체의 도입스테이지와 상기 검사대의 사이에 덮개부재가 설치되고, 이 덮개부재에 의해 피검사체(W)의 반송공간과 검사대를 내장한 측정공간이 형성된다. 덮개부재에 의해 에워싸인 반송공간과 측정공간에 불순물이 극히 적은 순수가스가 순수가스 도입부로부터 도입된다.