公开(公告)号：KR1020170140779A

公开(公告)日：2017-12-21

申请号：KR1020170073092

申请日：2017-06-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아베마사히로 ,  이나다히로이치 ,  아즈마토루 ,  나카시마즈네나가 ,  기시타나오후미 ,  가지와라히데키

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/6715 ,  G03F7/162

Abstract: 본발명은노즐배치영역과, 복수의기판배치영역상의각각의처리위치사이에서노즐의반송이행해지는액 처리장치에대해서, 노즐에접속되는배관에의손상을억제하며, 스루풋의저하를억제하는것을과제로한다. 기판배치영역의열의후방에마련되고, 노즐(41)이배치되는노즐배치영역과, 아암(54)을선회축의둘레로수평방향으로선회시키며, 또한상기선회축을좌우방향으로이동시키기위한구동부를구비하도록장치를구성한다. 그리고, 노즐배치영역으로부터, 각각의처리위치에대응하여설정된대기위치(20A, 20B) 중, 반송처의처리위치에대응하는대기위치로, 그후방으로부터상기노즐을반송하고, 이어서상기대기위치에서상기노즐을대기시키며, 그러한후, 상기처리위치로상기노즐을반송한다. 상기대기위치는, 기판배치영역의외측이며, 전후방향에서보아처리위치와노즐배치영역사이에위치하고있다.

Abstract translation: 本发明，与相对于传送进入液体处理装置变为在每个喷嘴上配置区域的处理位置中，多个电路板放置区的，并连接到喷嘴的管子降低了损害之间的喷嘴，抑制吞吐量的降低 我们会这样做。 被提供到列底板放置区域的背面侧，喷嘴41 sikimyeo和喷嘴布置区域yibaechi，转动臂54被转动在水平方向到外围轴，从而还具有用于在左，右方向移动的枢转轴线的驱动器 配置设备。 然后，从喷嘴配置区域，在空气位置（20A，20B）被设置在对应于各处理位置，对应于传输cheoui处理位置，并从它的后部传送所喷嘴，然后将在待机位置的待机位置 然后，喷嘴返回到加工位置。 待机位置，基板配置区域的外侧，位于在前后方向上的处理位置和喷嘴配置区域之间的孔。