公开(公告)号：KR1020170140779A

公开(公告)日：2017-12-21

申请号：KR1020170073092

申请日：2017-06-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아베마사히로 ,  이나다히로이치 ,  아즈마토루 ,  나카시마즈네나가 ,  기시타나오후미 ,  가지와라히데키

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/6715 ,  G03F7/162

Abstract: 본발명은노즐배치영역과, 복수의기판배치영역상의각각의처리위치사이에서노즐의반송이행해지는액 처리장치에대해서, 노즐에접속되는배관에의손상을억제하며, 스루풋의저하를억제하는것을과제로한다. 기판배치영역의열의후방에마련되고, 노즐(41)이배치되는노즐배치영역과, 아암(54)을선회축의둘레로수평방향으로선회시키며, 또한상기선회축을좌우방향으로이동시키기위한구동부를구비하도록장치를구성한다. 그리고, 노즐배치영역으로부터, 각각의처리위치에대응하여설정된대기위치(20A, 20B) 중, 반송처의처리위치에대응하는대기위치로, 그후방으로부터상기노즐을반송하고, 이어서상기대기위치에서상기노즐을대기시키며, 그러한후, 상기처리위치로상기노즐을반송한다. 상기대기위치는, 기판배치영역의외측이며, 전후방향에서보아처리위치와노즐배치영역사이에위치하고있다.

Abstract translation: 本发明，与相对于传送进入液体处理装置变为在每个喷嘴上配置区域的处理位置中，多个电路板放置区的，并连接到喷嘴的管子降低了损害之间的喷嘴，抑制吞吐量的降低 我们会这样做。 被提供到列底板放置区域的背面侧，喷嘴41 sikimyeo和喷嘴布置区域yibaechi，转动臂54被转动在水平方向到外围轴，从而还具有用于在左，右方向移动的枢转轴线的驱动器 配置设备。 然后，从喷嘴配置区域，在空气位置（20A，20B）被设置在对应于各处理位置，对应于传输cheoui处理位置，并从它的后部传送所喷嘴，然后将在待机位置的待机位置 然后，喷嘴返回到加工位置。 待机位置，基板配置区域的外侧，位于在前后方向上的处理位置和喷嘴配置区域之间的孔。

公开(公告)号：KR101690223B1

公开(公告)日：2017-01-09

申请号：KR1020120025434

申请日：2012-03-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시신이치 ,  에노키다수구루 ,  이이다나루아키 ,  가지와라히데키

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J15/06

CPC classification number: H01L21/6838

Abstract: 부품점수가적고간소한구조임에도불구하고, 기판에휨 또는뒤틀림이있어도안정적으로진공흡착하여보지(保持)할수 있는기판보지장치를제공하는것이다. 흡인통로(31)를가지는반송암 본체(30)와, 기판을진공흡착하여보지하는흡착면(41)과흡인구(42)를가지는흡착부(44)와, 흡인구와연통하는흡인홀(45)이형성되는원통형상의장착부(43)를구비하는패드본체(40)와, 패드본체의장착부가이동가능하게삽입가능한삽입홀(51)과, 흡인홀과흡인통로에연통하는연통로(54)가형성되고, 반송암 본체(30)에대하여고정되는패드보지부재(50)와, 패드본체의장착부에형성되는원호형상의외주홈(46)과패드보지부재의삽입홀에형성되는원호형상의내주홈(55)의사이에개재되고, 탄성변형가능한원형단면의 O링(60)을구비한다.

Abstract translation: 一种基板保持装置，包括：具有吸入路径的传送臂主体; 包括具有吸入面的吸引部和通过真空吸附保持基板的吸入口的垫体，以及形成有与吸入口连通的吸入孔的圆筒状的安装部， 衬垫保持构件，其具有插入孔，所述垫体的安装部可松动地插入该插入孔中;以及连通路，其与所述吸入孔和所述吸入路连通，并固定到所述传送臂体; 以及形成在所述垫主体的安装部分中的弧形外周槽和形成在所述垫的插入孔中的弧形的内周槽之间的具有圆形横截面的可弹性变形的环形气密保持构件 控股成员

公开(公告)号：KR101695197B1

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：KR1020110105075

申请日：2011-10-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가지와라히데키 ,  마키준노스케 ,  에노키다수구루

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67265 ,  H01L21/67742

Abstract: 보지부재의형상에이상이있는지의여부를확실하고용이하게검출하는것이다. 보지부재인포크(3A)를전진시켰을때에상기포크(3A)가그 앞을통과하도록, 포크(3A)의진행방향에대하여측방에라인센서(4)를설치한다. 그리고, 포크(3A)를라인센서(4)에대하여진퇴시켰을때, 상기포크(3A)의상하방향의위치와포크(3A)의진퇴방향의위치를대응시킨데이터를취득한다. 이취득된데이터에기초하여, 상기진퇴방향의위치에대하여상하방향의위치를 2 차미분한값을연산하고, 이값에기초하여보지부재의형상의이상의유무를판정한다.

Abstract translation: 公开了一种用于检查基板输送装置的基板保持部件的变形的检查装置。 基板保持构件相对于输送基座在前后方向上移动，以穿过由光学检测单元形成的检测光的光路。 基于光检测单元的检测信号来检测基板保持部件的相对于前后方向的方向的位置。 基于表示表示基板保持部件的位置相对于前后方向的变化的第一参数与表示基板保持部件的位置的变化的第二参数之间的关系的相关数据 相对于横向于前后方向的方向，判断基板保持部件是否发生变形。

公开(公告)号：KR101862122B1

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：KR1020130014434

申请日：2013-02-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 에노키다수구루 ,  시마즈토시오 ,  가지와라히데키

IPC: H01L21/02

Abstract: 메인터넌스의작업효율의향상및 2 차재해의방지를도모할수 있도록한 기판처리장치를제공하는것이다. 처리블록(S3)은액처리모듈(21), 열처리모듈(40), 처리선반유닛(U8)과, 반송영역(R) 내에설치되고, 상기모듈과처리선반유닛에대하여웨이퍼(W)를전달하는반송암(A1)과, 처리선반유닛과액처리모듈로웨이퍼를전달하는처리용전달암(31)을구비한다. 인터페이스블록(S4)은, 인터페이스암(33)과인터페이스암의이동기구(35)를구비한다. 상기암, 반송암 및인터페이스암의이동기구를제어하는제어컴퓨터(90)에의해, 반송암의장치외부에노정되는점검·교환위치또는대기위치로의이동을행하고, 처리블록의반송영역내로의작업자의진입을가능하게하기위하여, 인터페이스암, 처리선반유닛의이동및 처리용전달암의상승을행한다.

公开(公告)号：KR1020170113179A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：KR1020170036038

申请日：2017-03-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카모토나오토 ,  마키준노스케 ,  가지와라히데키 ,  모리히로토시 ,  이시마루가즈토시 ,  오가타마사히코

IPC: H01L21/67 ,  B65G49/07 ,  H01L21/683

Abstract: 기판을흡인하여반송하는기판반송장치에있어서, 기판의반송의이상의검출을정밀도높게행하는것이다. 기판을흡인하여보유지지하기위한흡인구멍을구비하는기판보유지지부와, 상기기판보유지지부를이동시키는이동기구와, 상기흡인구멍에연통하는흡인로의압력을검출하는압력검출부와, 상기압력검출부의압력검출값의미분값에기초하여반송의이상을검출하는제어부를구비하도록기판반송장치를구성한다. 이와같이미분값을취득함으로써, 흡인로의압력의변화를정밀도높게파악할수 있기때문에, 기판의반송의이상을정밀도높게검출할수 있다.

Abstract translation: 在用于吸附和传送基板的基板传送设备中，检测基板的异常传送是高度准确的。 基板保持部，其具有用于吸引保持基板的吸入孔;移动机构，其用于移动基板保持部;压力检测部，其用于检测与吸入孔连通的吸入通路的压力; 以及控制部分，用于基于压力检测值的微分值来检测运输中的异常。 通过这样取得微分值，能够高精度地把握吸引路径上的压力变化，能够高精度地检测基板的输送异常。

公开(公告)号：KR1020130096182A

公开(公告)日：2013-08-29

申请号：KR1020130014434

申请日：2013-02-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 에노키다수구루 ,  시마즈토시오 ,  가지와라히데키

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67098 ,  H01L21/027 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67742

Abstract: PURPOSE: A substrate processing device is provided to prevent secondary disasters by securing an entry space for an operator into a processing block. CONSTITUTION: A processing block (S3) includes a liquid processing module, a heat treatment module, a processing rack unit, a transfer arm (A1), and a delivery arm (31) for processing. The transfer arm transfers a wafer (W) with regard to the module and the processing rack unit. An interface block (S4) includes an interface arm (33) and a moving device of the interface arm. A control computer (90) performs the movement to an inspection and exchange position or a waiting position exposed to the outside of the transfer arm. The control computer moves the interface arm and the processing rack unit and lifts the delivery arm for processing to allow an operator to enter a transfer region of the processing block. [Reference numerals] (21) Liquid processing module; (40) Heat treatment module; (90a) Control unit; (90b) Control program storage unit; (90c) Reading unit; (90d) Display unit; (90e) Input unit; (S1) Carrier block; (S2) Multi-purpose block; (S3) Processing block; (S4) Interface block; (S5) Light exposure device

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置，用于通过将操作者的进入空间固定到处理块中来防止二次灾害。 构成：处理块（S3）包括液体处理模块，热处理模块，处理架单元，传送臂（A1）和用于处理的传送臂（31）。 传送臂相对于模块和处理架单元传送晶片（W）。 接口块（S4）包括接口臂（33）和接口臂的移动装置。 控制计算机（90）执行向暴露于传送臂外部的检查和更换位置或等待位置的移动。 控制计算机移动接口臂和处理架单元并提升传送臂进行处理，以允许操作者进入处理块的传送区域。 （附图标记）（21）液体处理模块; （40）热处理模块; （90a）控制单元; （90b）控制程序存储单元; （90c）阅读单位; （90d）显示单元; （90e）输入单元; （S1）载波块; （S2）多功能块; （S3）处理块; （S4）接口块; （S5）曝光装置

公开(公告)号：KR1020130008449A

公开(公告)日：2013-01-22

申请号：KR1020120029259

申请日：2012-03-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 에노키다수구루 ,  나카하라다마사히로 ,  가지와라히데키

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J15/00

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J11/0095 ,  B25J19/0075 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/141

Abstract: PURPOSE: A substrate transfer device is provided to prevent particles from flying when a holding member is broken. CONSTITUTION: A substrate holding member comprises a plate and a flying preventing unit. A metal line(5) is installed in a plate. A guide member(31) is fixed at the end part of the right and the left fork(21,22). The guide member guides the peripheral part of the wafer. A groove portion is formed in the substrate holding member.

Abstract translation: 目的：提供一种基板传送装置，以防止在保持构件断裂时颗粒飞散。 构成：基板保持构件包括板和防飞行单元。 金属线（5）安装在板中。 引导构件（31）固定在右叉和左叉（21,22）的端部处。 引导构件引导晶片的周边部分。 在基板保持部件上形成有槽部。

公开(公告)号：KR1020120106586A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：KR1020120025434

申请日：2012-03-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시신이치 ,  에노키다수구루 ,  이이다나루아키 ,  가지와라히데키

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J15/06

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B25J15/0616 ,  B25J15/0683

Abstract: PURPOSE: A substrate holding device is provided to stably hold a substrate by elastically deforming an O ring interposed between an outer groove formed in a pad body and an inner groove formed in a pad holding member. CONSTITUTION: A transfer arm body(30) has a suction path. A pad body(40) includes an absorbing unit with an absorbing surface and a suction hole, and a cylindrical mounting unit. A pad holding member includes an insertion hole and a connection path and is fixed to the transfer arm body. An O ring is elastically deformed and is interposed between an arced outer groove(46) formed in the mounting unit and an arced inner groove(55) formed in the insertion hole of the pad holding member.

Abstract translation: 目的：提供一种基板保持装置，通过弹性变形形成在垫体的外槽之间的O形环和形成在垫保持构件中的内槽的弹性变形来稳定地保持基板。 构成：传送臂体（30）具有吸引路径。 垫体（40）包括具有吸收表面和吸入孔的吸收单元和圆柱形安装单元。 垫保持构件包括插入孔和连接路径，并且固定到传送臂主体。 O形环弹性变形，并且插入在形成在安装单元中的弧形外槽（46）和形成在垫保持构件的插入孔中的弧形内槽（55）之间。

公开(公告)号：KR1020120042658A

公开(公告)日：2012-05-03

申请号：KR1020110105075

申请日：2011-10-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가지와라히데키 ,  마키준노스케 ,  에노키다수구루

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67265 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/141

Abstract: PURPOSE: A shape determination apparatus of a retention member, a method thereof, a substrate process apparatus, and a storage medium are provided to install a line sensor on a carrier base, thereby easily performing a fork shape examination process without transferring the carrier base to an examination position. CONSTITUTION: A optical detection part detects deformation of forks(3A,3B). A line sensor(4) is installed on a carrier base(31). The line sensor is comprised of a light emission part(41), and a light receiving part(42). A motor(M) of a driving device is connected to an encoder(E). A pulse value of the encoder is outputted to a controller(5). The controller comprises a data process part which is comprised of a CPU(Central Processing Unit), a memory, and a program.

Abstract translation: 目的：提供一种保持构件的形状确定装置，其方法，基板处理装置和存储介质，以将线传感器安装在载体基座上，从而容易地执行叉形检查过程而不将载体基底转移到 考试职位。 构成：光学检测部检测叉（3A，3B）的变形。 线传感器（4）安装在载体基座（31）上。 线传感器由发光部（41）和受光部（42）构成。 驱动装置的马达（M）连接到编码器（E）。 编码器的脉冲值被输出到控制器（5）。 控制器包括由CPU（中央处理单元），存储器和程序组成的数据处理部分。