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公开(公告)号：KR1020120011011A
公开(公告)日：2012-02-06
申请号：KR1020117024305
申请日：2010-03-19
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01L19/0023 , G01F1/38 , G01F1/40
Abstract: 도관부 그 자체를 배제하여, 도관부가 존재하는 것에 기인하는 문제점을 발본적으로 해결한다. 배관 부재(1)의 중간부에 스로틀 기구(3)를 마련하고, 그 상류측 및 하류측에 설치한 압력 센서(2)에 의한 측정 압력에 기초하여 상기 유체의 유량을 측정하는 유량 측정 장치에 있어서, 상기 배관 부재(1)에서의 외벽(11)의 소요 지점에 외면측이 오목한 두께가 얇은 부분(11a)을 마련하고, 상기 유체의 압력 변동에 의한 상기 두께가 얇은 부분(11a)의 탄성 변형에 의해 돌출 함몰하는 돌출 함몰부(6)가, 상기 스로틀 기구(3)의 상류측 및 하류측에 형성되도록 하며, 상기 돌출 함몰부(6)의 외표면에 압력 센서(2)의 감압면을 접촉시키도록 하였다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101305775B1
公开(公告)日：2013-09-06
申请号：KR1020117024305
申请日：2010-03-19
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01L19/0023 , G01F1/38 , G01F1/40
Abstract: 도관부 그 자체를 배제하여, 도관부가 존재하는 것에 기인하는 문제점을 발본적으로 해결한다. 배관 부재(1)의 중간부에 스로틀 기구(3)를 마련하고, 그 상류측 및 하류측에 설치한 압력 센서(2)에 의한 측정 압력에 기초하여 상기 유체의 유량을 측정하는 유량 측정 장치에 있어서, 상기 배관 부재(1)에서의 외벽(11)의 소요 지점에 외면측이 오목한 두께가 얇은 부분(11a)을 마련하고, 상기 유체의 압력 변동에 의한 상기 두께가 얇은 부분(11a)의 탄성 변형에 의해 돌출 함몰하는 돌출 함몰부(6)가, 상기 스로틀 기구(3)의 상류측 및 하류측에 형성되도록 하며, 상기 돌출 함몰부(6)의 외표면에 압력 센서(2)의 감압면을 접촉시키도록 하였다.
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公开(公告)号：KR1020120022776A
公开(公告)日：2012-03-12
申请号：KR1020117024301
申请日：2010-03-19
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01L9/0001
Abstract: 측정 대상인 유체가 체류하지 않아, 컨태미네이션의 발생도 억제되고, 또한 그 내부를 측정 대상인 유체가 흐르는 관의 직경을 자유롭게 선택할 수 있는 유체 압력 센서를 제공한다. 내부를 유체가 유통할 수 있는 관과 판형의 압전 소자를 갖는 감압부를 구비하고, 상기 관의 내부를 흐르는 유체의 압력을 감지하는 압력 센서로서, 상기 관은, 탄성 변형 가능한 재료로 이루어지며, 그 외표면에 관 두께가 얇아지도록 형성된 오목부를 갖고 있고, 상기 감압부는, 상기 압전 소자가 그 선단의 측 둘레면으로부터 상기 유체의 압력을 받도록, 그 선단부가 상기 오목부의 근방에서 상기 관의 외표면과 접하도록 하였다.
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公开(公告)号：KR1020170098175A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：KR1020170020464
申请日：2017-02-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/67
Abstract: 부착성분을포함하는분위기가발생하는복수의기판처리부의분위기를공통의배기로를통하여배기함에있어서, 기판처리부마다의개별배기로의이상을확실히검출할수 있는기술을제공하는것이다. 웨이퍼(W)에레지스트도포를행하는복수의레지스트도포유닛(10A ~ 10D)을배기용력설비에의해배기되는공통배기로(60)를거쳐배기함에있어서, 레지스트도포유닛(10A ~ 10D)마다의개별배기관(50A ~ 50D)의배기압과공통배기로(60)의배기압을측정하고, 각측정치와대응하는허용압력범위를비교하고있다. 이때문에, 개별배기관(50A ~ 50D)에있어서의부착물의막힘등의이상을확실히검출할수 있다.
Abstract translation: 在所述多个基板处理单元的用于产生的气氛包括通过共同的排气的附接部件作为排气，以提供一种技术，能够可靠地检测排气的异常，以各基板的各个处理的气氛。 用于将抗蚀剂W涂敷在晶片W上的多个抗蚀剂涂敷单元10A〜10D通过由排气装置排出的共用排气路径60排出，在各抗蚀剂涂敷单元10A〜10D中， 测量排气管50A至50D的排气压力和公共排气通道60的排气压力，并比较测量值和相应的容许压力范围。 因此，能够可靠地检测各排气管50A〜50D中的附着物质的堵塞等异常。
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公开(公告)号：KR1020160150047A
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：KR1020160075721
申请日：2016-06-17
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 처리부로부터배출되는기체의유량을폭넓은범위에서정확하게측정하는것이가능한유량측정장치, 및이 유량측정장치를구비한처리장치를제공한다. 유량측정장치는, 피처리체에대한처리가행해지는처리부로부터배출되고배기로(30)를흐르는기체의유량을측정하고, 수풍부재(21)는배기로(30)를흐르는기체의흐름과교차하도록배치되는수풍면(210)을구비하고기체로부터받는힘에따라상태가변화한다. 센서부(24)는수풍부재(21)의상태의변화량을검출하여당해변화량에따른신호를출력하고, 유량산출부(8)는이 신호에기초하여배기로(30)를흐르는기체의유량을산출한다.
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公开(公告)号：KR1020140019792A
公开(公告)日：2014-02-17
申请号：KR1020137026299
申请日：2012-02-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 호리바 어드밴스트 테크노
IPC: G01F1/66 , G01N29/02 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은, 처리액용 유량계에 여러 가지의 기능을 갖게 하여 사용하기 쉽게 하는 것이다. 구체적으로 본 발명은, 공급배관(200)을 흐르는 처리액의 유속을 측정하는 것으로서, 상기 공급배관(200)이 흐르는 방향으로 일정거리 이간해서 배치된 한 쌍의 초음파 진동자(2,3)와, 한쪽의 초음파 진동자(2)로부터 발해진 초음파가 다른쪽의 초음파 진동자(3)에 도달하는 시간인 제 1 도달시간(T1) 및 상기 다른쪽의 초음파 진동자(3)으로부터 발해진 초음파가 상기 한쪽의 초음파 진동자(2)에 도달하는 시간인 제 2 도달시간(T2)에 기초하여, 상기 처리액의 유속을 산출하는 유속 산출부(4)와, 산출된 상기 처리액의 유속의 시간 변화량에 기초하여, 그 처리액에 기포가 혼입되어 있는지 아닌지를 판단하는 기포 혼입 판단부(5)를 구비한다.
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