公开(公告)号：KR1020170046641A

公开(公告)日：2017-05-02

申请号：KR1020177001597

申请日：2015-08-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사와치아츠시 ,  사사키노리카즈 ,  야마시마쥰 ,  사토요시야스 ,  노가미켄이치

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  C23C16/455 ,  C23C16/509

CPC classification number: C23C16/45561 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/509 ,  H01J37/3244 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67017

Abstract: 일실시형태의가스공급계는제 1 ~ 제 3 기구를구비한다. 제 1 기구의복수의통합부는하나이상의가스소스로부터의가스를선택하고, 선택한가스를출력하도록구성되어있다. 제 2 기구는복수의통합부로부터의복수의가스를분배하고, 분배된가스의유량을조정하여출력하도록구성되어있다. 제 3 기구는가스공급계내의가스를배기장치로배기하도록구성되어있다.

Abstract translation: 一个实施例的气体供应系统包括第一至第三机构。 第一机构的多个积分器被配置为从一个或多个气体源中选择气体并输出所选择的气体。 第二机构被配置为分配来自多个集成部件的多种气体，并且调节和输出分配气体的流量。 第三机构构造成将气体供应系统中的气体排出到排气装置。