公开(公告)号：KR100296827B1

公开(公告)日：2001-10-25

申请号：KR1019980007398

申请日：1998-03-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사다테쯔야 ,  우치히라노리오 ,  사카이미쯔히로 ,  야마쿠치키요미쯔

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 처리장치에 관한 것으로서, 특히 기판에 발생되는 대전량을 제어하여 대전으로 인한 정전기 장해 및 반송수단과의 사이에서 발생되는 방전노이즈 장해를 방지함으로써, LCD기판의 현상장치, 레지스트 도포장치, 상기 LCD기판이외의 반도체 웨이퍼 및 CD 등의 처리장치에도 응용할 수 있는 처리장리에 관한 것이다. 본 발명은 반송수단에 의해 반송되는 기판을 진공흡착에 의해 밀착지지하는 보지수단을 구성하는 재치부의 재질을 합성수지재 부재로 하고, 상기의 기판과 보지수단에 전하제거용 유체로써 이온화한 기체, 순수, 또는 이소프로필알코올 등의 휘발성유체를 공급하여 상기 기판의 대전을 제어함으로써 , 상기의 기판이 대전되어 그 표면에 형성되는 디바이스가 정전파괴되는 등의 정전기 방해를 방지할 수 있는 효과가 있다. 또한, 상기의 기판과 반송수단사이에서 발생되는 방전현상에 의한 노이즈가 반송수단의 제어계에 끼치는 장해를 방지할 수 있으며, 상기 보지수단에 대전한 전하를 제거할 수 있기 때문에, 연속사용시에도 상기와 같은 동일한 효과를 얻을 수 있는 처리장치를 제시하고 있다.

公开(公告)号：KR1019980079954A

公开(公告)日：1998-11-25

申请号：KR1019980007398

申请日：1998-03-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사다테쯔야 ,  우치히라노리오 ,  사카이미쯔히로 ,  야마쿠치키요미쯔

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 처리장치에 관한 것으로서, 특히 기판에 발생되는 대전량을 제어하여 대전으로 인한 정전기 장해 및 반송수단과의 사이에서 발생되는 방전노이즈 장해를 방지함으로써, LCD기판의 현상장치, 레지스트 도포장치, 상기 LCD기판이외의 반도체 웨이퍼 및 CD 등의 처리장치에도 응용할 수 있는 처리장치에 관한 것이다. 본 발명은 반송수단에 의해 반송되는 기판을 진공흡착에 의해 밀착지지하는 보지수단을 구성하는 재치부의 재질을 합성수지재 부재로 하고, 상기의 기판과 보지수단에 전하제거용 유체로써 이온화한 기체, 순수, 또는 이소프로필알코올 등의 휘발성유체를 공급하여 상기 기판의 대전을 제어함으로써, 상기의 기판이 대전되어 그 표면에 형성되는 디바이스가 정전파괴되는 등의 정전기 방해를 방지할 수 있는 효과가 있다. 또한, 상기의 기판과 반송수단사이에서 발생되는 방전현상에 의한 노이즈가 반송수단의 제어계에 끼치는 장해를 방지할 수 있으며, 상기 보지수단에 대전한 전하를 제거할 수 있기 때문에, 연속사용시에도 상기와 같은 동일한 효과를 얻을 수 있는 처리장치를 제시하고 있다.