公开(公告)号：KR101737124B1

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：KR1020110003747

申请日：2011-01-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오가사와라유끼오 ,  미야자끼후미히로 ,  모또다기미오

IPC: B05C11/10 ,  B05C21/00 ,  B05B1/04 ,  B08B3/04

Abstract: 본발명의과제는슬릿노즐의토출구주변부를단시간에효율적으로세정하는것이다. 이슬릿노즐세정부(52)는슬릿노즐(32)의토출구주변부를따라서슬릿노즐의길이방향과평행하게수평한세정주사방향(Y방향)에서이동하는캐리지(64)를갖고있다. 슬릿노즐세정부(52)는이 캐리지(64)에, 세정주사방향에있어서제1 세정유닛(70)을선두로, 이하제1 와이퍼유닛(72), 제2 세정유닛(74), 제2 와이퍼유닛(76) 및건조유닛(78)을이 순서로일렬로배열하여탑재하고있다.

Abstract translation: 本发明的一个目的是在短时间内有效地清洁狭缝喷嘴的排出口的周边部分。 三个露滴喷嘴单元52具有滑架64，其从狭缝喷嘴移动到排出口32。因此的周围，平行于狭缝喷嘴hansejeong水平扫描方向（Y方向）的长度方向上。 由于狭缝喷嘴清洗部52是滑架64，该第一清洗部70的清洗扫描方向上的头，比所述第一擦拭器单元72，第二清洁单元74，第二 擦拭单元76和干燥单元78按此顺序排列并安装。

公开(公告)号：KR1020110095133A

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：KR1020110003747

申请日：2011-01-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오가사와라유끼오 ,  미야자끼후미히로 ,  모또다기미오

IPC: B05C11/10 ,  B05C21/00 ,  B05B1/04 ,  B08B3/04

CPC classification number: B05C11/10 ,  B05B1/044 ,  B05C21/00 ,  B08B3/04

Abstract: PURPOSE: A slit nozzle cleaning apparatus and a coating device using thereof are provided to improve the cleaning efficiency for removing the cleaning tact time and reducing the washing solution consumption. CONSTITUTION: A slit nozzle cleaning apparatus comprises the following: a carriage(64) moving on the horizontal cleaning-scanning direction around an outlet of a slit nozzle(32); a first cleaning unit(70) spraying cleaning fluid around the outlet of the slit nozzle by being mounted on the carriage; and a first wafer unit(72) for wiping the fluid from the outlet of the slit nozzle, located on the rear side of the cleaning unit and mounted on the carriage.

Abstract translation: 目的：提供一种狭缝喷嘴清洁装置及其使用的涂布装置，以提高清洁效率，从而消除清洗时间并降低洗涤液消耗。 构成：狭缝喷嘴清洁装置包括：沿水平扫描扫描方向围绕狭缝喷嘴（32）的出口移动的滑架（64）; 第一清洁单元（70），其通过安装在所述滑架上而将所述狭缝喷嘴的出口周围的清洁流体喷射; 以及第一晶片单元（72），用于从位于清洁单元的后侧的狭缝喷嘴的出口擦拭流体并安装在滑架上。