公开(公告)号：KR102206500B1

公开(公告)日：2021-01-21

申请号：KR1020140111396

申请日：2014-08-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리야마시게루 ,  오노우에고우타로 ,  고토히데아키 ,  후지와라마사키

IPC: G01N21/956 ,  G06T7/00 ,  G01B11/24

Abstract: 본발명은경량화를도모할수 있고, 저렴한측정장치, 기판처리시스템및 측정방법을제공하는것을목적으로한다. 실시형태의일 형태에따른측정장치는, 반송부와, 촬상부와, 측정부를구비한다. 반송부는패턴이형성된기판을반송한다. 촬상부는반송부의상방에배치되며, 반송부에배치된기판의패턴을촬상한다. 또한, 측정부는촬상부에의해촬상된패턴의화상정보에기초하여패턴의형상을측정한다.

公开(公告)号：KR1020150029545A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：KR1020140111396

申请日：2014-08-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리야마시게루 ,  오노우에고우타로 ,  고토히데아키 ,  후지와라마사키

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/24 ,  G06T7/60

Abstract: The present invention relates to a measuring apparatus, a substrate processing system, and a measuring method which promotes light weight and is not expensive. The measuring apparatus according to an embodiment includes a transfer unit, an imaging unit, and a measuring unit. The transfer unit transfers a substrate formed with a pattern, the imaging unit is positioned above the transfer unit, and takes an image of the pattern on the substrate. The measuring unit measures the shape of the pattern on the basis of the image information of the pattern taken by the imaging unit.

Abstract translation: 本发明涉及促进重量轻并且不昂贵的测量装置，基板处理系统和测量方法。 根据实施例的测量装置包括传送单元，成像单元和测量单元。 转印单元传送形成有图案的基板，成像单元位于转印单元上方，并将图案的图像作为基板。 测量单元基于由成像单元拍摄的图案的图像信息来测量图案的形状。