公开(公告)号：KR1020010030282A

公开(公告)日：2001-04-16

申请号：KR1020000052718

申请日：2000-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고지마야스히코 ,  모리히로유키 ,  오노히로후미

IPC: H01L21/18

CPC classification number: F16K7/14 ,  C23C16/4481 ,  F16K31/06 ,  Y10T137/87571 ,  Y10T137/87676

Abstract: PURPOSE: A vaporizer and a semiconductor manufacturing system using the same are provided to vaporize liquid raw material efficiently. CONSTITUTION: In the vaporizer(26) vaporizing liquid raw material supplied under pressure in a reduce pressure atmosphere, a liquid storage chamber(82) temporarily storing the raw material(30) sent under pressure communicates with a pressure reduced atmospheric vaporizing chamber(64) through pores(66) to distribute the raw material to the vaporizing chamber. The liquid inlet of the storage chamber side of the pores(66) is opened or closed with a valve disc(70). The valve opening of the disc(70) is controlled by an actuator means(72).

Abstract translation: 目的：提供蒸发器和使用其的半导体制造系统以有效地蒸发液体原料。 构成：在减压气氛下在压力下供给的汽化液体原料的蒸发器（26）中，临时储存在压力下被送出的原料（30）的储液室（82）与减压大气蒸发室（64）连通， 通过孔（66）将原料分配到蒸发室。 孔（66）的储存室侧的液体入口用阀盘（70）打开或关闭。 盘（70）的阀开口由致动器装置（72）控制。

公开(公告)号：KR100649852B1

公开(公告)日：2006-11-24

申请号：KR1020000052718

申请日：2000-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고지마야스히코 ,  모리히로유키 ,  오노히로후미

IPC: H01L21/18

CPC classification number: F16K7/14 ,  C23C16/4481 ,  F16K31/06 ,  Y10T137/87571 ,  Y10T137/87676

Abstract: 본 발명은 감압분위기하에서 액체 원료를 효율적으로 기화시킬 수 있는 기화기를 제공한다. 액체 원료는 액체 저장실에 일시적으로 저장되고, 미세 구멍을 통해서 감압분위기로 설정된 기화실에 공급된다. 상기 액체 저장실의 유입구는 밸브 본체에 의해서 개폐되며, 이것은 밸브 본체의 밸브 개방도를 제어하는 액츄에이터에 의해서 작동된다.