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公开(公告)号：KR1020120011854A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：KR1020117024929
申请日：2010-04-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/246
Abstract: 유동성을 높게 유지한 상태의 과립 형상의 유기 재료를 효율적으로 승화 / 용해시키는 것이 가능한 증착 처리 장치 및 증착 처리 방법을 제공한다. 증착에 의해 기판에 박막을 성막시키는 증착 처리 장치로서, 재료 가스를 공급하는 감압 가능한 재료 공급 장치와, 상기 기판에 박막을 성막하는 성막 장치를 구비하고, 상기 재료 공급 장치는, 재료를 정량하는 정량부와, 상기 정량부를 통과한 재료를 기화시키는 재료 가스 생성부를 가지는 증착 처리 장치가 제공된다.
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公开(公告)号：KR101283396B1
公开(公告)日：2013-07-08
申请号：KR1020117024929
申请日：2010-04-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/246
Abstract: 유동성을 높게 유지한 상태의 과립 형상의 유기 재료를 효율적으로 승화 / 용해시키는 것이 가능한 증착 처리 장치 및 증착 처리 방법을 제공한다. 증착에 의해 기판에 박막을 성막시키는 증착 처리 장치로서, 재료 가스를 공급하는 감압 가능한 재료 공급 장치와, 상기 기판에 박막을 성막하는 성막 장치를 구비하고, 상기 재료 공급 장치는, 재료를 정량하는 정량부와, 상기 정량부를 통과한 재료를 기화시키는 재료 가스 생성부를 가지는 증착 처리 장치가 제공된다.
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