公开(公告)号：KR1020110101045A

公开(公告)日：2011-09-15

申请号：KR1020110006364

申请日：2011-01-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도시마다카유키 ,  이와시타미츠아키 ,  미츠오카가즈유키 ,  오카모토슈이치 ,  나마츠히데오

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/302

CPC classification number: B08B5/00 ,  B08B13/00 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/302

Abstract: 패턴 붕괴의 발생이나, 처리용 액체를 구성하는 물질의 기판 내로의 주입을 억제한 초임계 처리 장치 및 초임계 처리 방법을 제공한다.
처리 용기는 초임계 유체에 의해 처리가 행해지는 기판을 수용하고, 액체 공급부는 처리 용기 내에 불소 화합물을 포함하는 처리용 액체를 공급한다. 유체 배출부는 처리 용기로부터 초임계 유체를 배출하고, 열분해 성분 배제부는 상기 처리 용기 내 또는 상기 액체 공급부로부터 공급되는 액체 내에서, 상기 액체의 열분해를 촉진하는 성분을 배제하는 한편, 가열부는, 하이드로플루오로에테르 또는 하이드로플루오로카본인 불소 화합물을 포함하는 상기 처리용 액체를 가열한다.