公开(公告)号：KR101795858B1

公开(公告)日：2017-11-08

申请号：KR1020150126977

申请日：2015-09-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지

IPC: H01L21/677

CPC classification number: B25J11/0095 ,  B25J9/107 ,  B25J15/0052 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/67781

Abstract: 본발명의과제는, 다단일괄반송이가능한기판반송장치에있어서, 기판배치부의휘어짐을억제하는것이다. 본발명에따르면, 복수의기판을일괄적으로반송하는기판반송장치로서, 높이방향으로간격을두고배치되고, 복수의기판을동시에배치할수 있는복수의기판배치부와, 복수의기판배치부를일체로유지하는기판배치부유지체와, 기판배치부유지체와연결되고, 복수의기판배치부를일체로이동시키는이동기구를구비하고, 이동기구는, 외부로부터지지되는제1 지지부를가지며, 기판배치부유지체의길이방향의일단과연결된제1 아암부와, 외부로부터지지되는제2 지지부를가지며, 기판배치부유지체의길이방향의타단과연결된제2 아암부와, 제1 아암부와제2 아암부를연결하는연결부를갖는기판반송장치가제공된다.

Abstract translation: 本发明的多步骤批量传输的一个目的是能够在基板搬送装置，抑制经纱排列单位基板。 根据本发明，在散装作为一个用于转印的基板传送装置的多个基板，和配置在高度方向的间隔，同时多个基板是多个设置基板部和基板的一体的多个地方设置的部分 被连接到基板设置浮动件与放置浮动构件，用于保持与一个移动机构，用于移动多个设置部一体的基板，和移动机构，其具有从外部支撑的第一支撑，所述浮动构件的电路板布局的基板 所述第一臂端的长度，并连接在一个方向，并且具有从外部支撑的第二支撑，和一个第二臂部分基板，具有连接在所述浮动构件长度端，另一方向的，第一臂和第二臂的连接部 提供具有连接部分的基板传送装置。

公开(公告)号：KR101744372B1

公开(公告)日：2017-06-07

申请号：KR1020137018956

申请日：2012-01-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지 ,  고바야시센쇼

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67703 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67742

Abstract: 본발명은복수의진공반송기구를갖는진공반송계의반송효율및 스루풋을향상시키는것을과제로한다. 이진공처리장치는, 2층으로된 진공반송실(10)의주위에 4개의프로세스모듈(PM, PM, PM, PM4) 및 4개의로드록모듈(LM, LM, LM, LM)을클러스터형으로배치하고있다. 여기서, 진공반송실(10)의 2층은전부제3 진공반송영역(TE)으로되어있으며, 개구부(13)를통해제3 진공반송영역(TE)이 2층에서 1층으로내려가제1 및제2 진공반송영역(TE, TE) 사이에있게된다. 제3 진공반송로봇(34)은제3 진공반송영역(TE)의 2층부분에서안길이방향(X 방향)으로직진이동가능한좌측및 우측의수평반송부(HR, HR)와, 제3 진공반송영역(TE)의개구부(13)에서수직방향(Z 방향)으로직진이동, 즉승강가능한좌측및 우측의수직반송부(VR, VR)를갖는다.

公开(公告)号：KR1020150040758A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：KR1020140133115

申请日：2014-10-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지

IPC: H01L21/677

CPC classification number: B25J11/0095 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

Abstract: 기판반송방법은별개로이동가능하고서로중첩하여배치된제 1 반송아암및 제 2 반송아암을포함하는반송기구에의해실행된다. 기판을반송하지않는제 1 반송아암및 제 2 반송아암각각의이동속도는기판을반송하는제 1 반송아암및 제 2 반송아암각각의이동속도보다높게설정되어있다.

Abstract translation: 基板转印方法由包括第一转印臂和第二转印臂的转印装置执行，该第一转印臂和第二转印臂可分开移动并通过叠加布置。 第一传送臂和不传送基板的第二传送臂的移动速度被设定为高于第一传送臂和第二传送臂传送基板的移动速度。

公开(公告)号：KR101019786B1

公开(公告)日：2011-03-04

申请号：KR1020080074733

申请日：2008-07-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  Y10S414/14

Abstract: 본 발명의 과제는 기판 처리 장치의 가동률의 저하를 방지하는 동시에, 반도체 디바이스의 생산량의 감소를 방지할 수 있는 용기 교환 시스템을 제공하는 것이다. 용기 교환 시스템(24)은 후프 탑재대(14)를 갖는 로더 모듈(15)의 상방에 배치되는 후프 반송 장치(19)를 구비하고, 후프 반송 장치(19)는 레일(13)을 따라 주행하는 주행체(20)와, 상기 주행체(20)의 하방에 마련되는 홀더(21)와, 홀더(21)를 주행체(20) 및 후프 탑재대(14) 사이에서 승강시키는 벨트(22)를 갖고, 홀더(21)가 유지하는 후프(11)의 승강 경로로 진출ㆍ퇴출 가능한 탑재판(27)과, 탑재판(27)의 상방에 배치되는 호이스트(26)를 구비하고, 호이스트(26)는 승강 경로로 진출ㆍ퇴출 가능한 아암(29)과, 상기 아암(29)의 하방에 마련되는 홀더(30)와, 홀더(30)를 아암(29) 및 후프 탑재대(14) 사이에서 승강시키는 벨트(31)를 갖는다.

公开(公告)号：KR1020140031949A

公开(公告)日：2014-03-13

申请号：KR1020137034014

申请日：2012-06-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지

IPC: H01L21/67 ,  G05B19/418

CPC classification number: G05B19/41865 ,  G05B2219/31429 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20 ,  H01L21/67276

Abstract: 더미 처리를 최대한 없앨 수 있는 기판 처리 시간 설정 방법을 제공한다. 다른 기판 처리 장치에 있어서의 플라즈마 처리의 종료 예상 시각에 근거하여, 다음 로트의 해당 기판 처리 장치에의 공급 예상 시각이 산출되고, 본 로트의 모든 웨이퍼의 플라즈마 처리의 종료 예상 시각이 산출되고, 다음 로트의 공급 예상 시각 및 본 로트의 플라즈마 처리의 종료 예상 시각에 근거하여, 본 로트의 모든 웨이퍼의 플라즈마 처리의 종료 후에 이어지는 예상 대기 시간이 산출되고, 예상 대기 시간이 더미 처리 필요 대기 시간 이상인 경우, 본 로트의 미처리의 각 웨이퍼의 플라즈마 처리의 사이에 보조 대기 시간이 추가되어서 설정된다.

公开(公告)号：KR1020090023089A

公开(公告)日：2009-03-04

申请号：KR1020080074733

申请日：2008-07-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  Y10S414/14

Abstract: A container exchange system and method are provided to exchange the container without returning the container and to prevent the degradation of the operation ratio of the substrate processing apparatus. The container change system(24) comprises the hoop transfer system(19) posted at the upward of the loader module(15). The hoop transfer system has the running body(20), and the holder(21) and the belt(22). The holder is ascended and descended by the belt between the running body and the hoop mounting chuck(14). The hoist(26) is arranged in the upward of the mounting board. The holder is prepared in the downward of arm. The holder is ascended and descended by the belt between the arm and the hoop mounting chuck.

Abstract translation: 提供容器更换系统和方法来更换容器而不返回容器并防止基板处理装置的操作比的劣化。 容器更换系统（24）包括在装载机模块（15）的上方张贴的箍传送系统（19）。 箍传送系统具有行进体（20），保持器（21）和带（22）。 保持架由行走体和环形安装卡盘（14）之间的皮带上升和下降。 起重机（26）布置在安装板的上方。 持有人准备在手臂下方。 支架通过手臂和环箍安装卡盘之间的皮带上升和下降。

公开(公告)号：KR1020060106679A

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：KR1020060024240

申请日：2006-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지

IPC: H01L21/02

Abstract: 반송부 내의 풍속 측정 작업을 반송 기구에 의해 기계적으로 신속 또한 정확하게 실행할 수 있도록 하여, 노동력의 경감 및 신뢰성 향상을 도모한다. 복수의 기판(w)을 수납한 운반 용기(2)를 탑재하는 탑재부(3)와, 상기 기판(w)에 소정의 처리를 실시하는 처리부(4A～4C)와, 상기 탑재부(3) 상의 운반 용기(2) 및 상기 처리부(4A～4C) 사이에서 기판(w)을 반송하는 반송 기구(5)를 가지는 반송부(6)와, 해당 반송부(6) 내에 청정 공기를 공급하는 청정 공기 공급부(7)를 구비한 처리 장치(1)에 있어서, 상기 반송 기구(5)에, 상기 반송부(6) 내에 있어서의 청정 공기의 풍속을 측정하는 풍속 측정 수단(19)을 마련한다.

公开(公告)号：KR1020060103852A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：KR1020060026756

申请日：2006-03-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  B65G49/06

Abstract: 본 발명은 처리가 끝난 웨이퍼를 일시 보관부의 기판 탑재부에 반송 탑재할 때에 발생하는 경우가 있는 기판의 치핑(chipping)을 용이하게 검출할 수 있으며, 다음 공정 이후의 기판의 파손을 방지하는 것을 목적으로 한다.
복수 개의 기판(w)을 수납하는 운반 용기(2)를 적재하는 적재대(3)와, 상기 기판(w)에 소정의 처리를 실시하는 처리실(7∼9)과, 처리가 끝난 복수 개의 기판(w)을 다단으로 탑재하는 기판 탑재부(23)를 갖는 일시 보관부(5)와, 상기 기판(w)을 상기 적재대(3) 상의 운반 용기(2), 처리실(7∼9) 및 일시 보관부(5) 사이에서 반송하는 반송 아암(20)을 갖는 반송부(6)와, 상기 기판 탑재부(23)의 진동을 검출하는 진동 센서(29)와, 이 진동 센서(29)에 의한 현재의 검출값과 미리 설정한 설정값을 비교하여 이상 진동인지의 여부를 판정하여 이상 진동으로 판정하였을 때에 상기 반송 아암(20)을 정지시키는 제어부(34)를 구비하고 있다.

公开(公告)号：KR101770485B1

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：KR1020157013402

申请日：2013-11-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67376 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67772

Abstract: 불활성가스나드라이가스의사용량을제어할수 있는동시에, 스루풋의저하를방지할수 있는기판처리장치를제공한다. 기판처리장치(10)는, 로더모듈(13)과, 본체(31), 개구부(33), 및커버(32)를갖는 FOUP(30)로부터커버(32)를벗겨서 FOUP(30)의내부를개구부(33)를거쳐서로더모듈(13)의내부와연통시키는오프너(42)와, 로더모듈(13)에장착된 FOUP(30)의내부에 N가스를공급하는 N가스공급유닛(47)과, 개구부(33)의개구면을따라서서로자유롭게이동하는 2개의판 형상의슬라이드커버(43, 44)를구비하고, 슬라이드커버(43, 44)는, 서로의간극이 1㎜내지 3㎜가될 때까지서로접근함으로써, 로더모듈(13)에장착된 FOUP(30)의개구부(33)를로더모듈(13)의내부로부터차폐한다.

Abstract translation: 同时，它可以控制所述惰性气体或干燥气体的量，并提供了能够防止吞吐量的降低的基板处理装置。 的基板处理装置10中，加载器模块13的内部，一个主体31，开口部33，和盖剥离从FOUP具有32 FOUP盖32（30）（30） 和开启器42通过开口33与装载模块13的内部连通，安装在所述装载模块上N 2气体供给部47用于供给N 2气体进入FOUP的内部（30）13和 沿着提供有一个滑动盖（43，44）的球形表面开口33个uigae的两个板状彼此自由移动，滑动盖（43，44），当彼此的间隙成为1㎜3㎜ 达对方，并屏蔽所述FOUP（30）的开口33安装从加载组件13的内部的加载组件13上。

公开(公告)号：KR101723264B1

公开(公告)日：2017-04-04

申请号：KR1020137034014

申请日：2012-06-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지

IPC: H01L21/67 ,  G05B19/418

CPC classification number: G05B19/41865 ,  G05B2219/31429 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20

Abstract: 더미처리를최대한없앨수 있는기판처리시간설정방법을제공한다. 다른기판처리장치에있어서의플라즈마처리의종료예상시각에근거하여, 다음로트의해당기판처리장치에의공급예상시각이산출되고, 본로트의모든웨이퍼의플라즈마처리의종료예상시각이산출되고, 다음로트의공급예상시각및 본로트의플라즈마처리의종료예상시각에근거하여, 본로트의모든웨이퍼의플라즈마처리의종료후에이어지는예상대기시간이산출되고, 예상대기시간이더미처리필요대기시간이상인경우, 본로트의미처리의각 웨이퍼의플라즈마처리의사이에보조대기시간이추가되어서설정된다.

Abstract translation: 本发明提供了一种能够尽可能地消除伪处理的基板处理时间设置方法。 基于其他基板处理装置中的等离子体处理的预计完成时间，计算到下一个基板处理装置的预期供应时间，计算该批次中的所有晶片的等离子体处理的预期完成时间， 根据该批次的预期供应时间和该批次的等离子体处理的预期完成时间来计算完成该批次中的所有晶片的等离子体处理之后的预期等待时间， 在批量显着性处理的每个晶片的等离子体处理之间设置额外的待机时间。