公开(公告)号：KR101658272B1

公开(公告)日：2016-09-20

申请号：KR1020137017155

申请日：2011-12-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이시이가즈나리 ,  와타나베데츠지 ,  고이즈미신야 ,  마츠자키고이치

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R1/07342 ,  G01R31/2863 ,  G01R31/2891

Abstract: 프로브카드에열원을직접접촉시켜단시간에프로브카드를소정의온도로조정하는동시에, 열적으로안정되었는지를정확하게판단할수 있는프로브카드의열적안정화방법을제공한다. 탑재대(121)에열전달용기판 S를탑재하고, 탑재대(121)를거쳐서열전달용기판 S의온도를조정하고, 탑재대(121)를상승시켜열전달용기판 S와복수의프로브(122A)를소정의목표하중으로접촉시키고, 열전달용기판 S와의사이에열을수수하는프로브카드(122)의열적변화에의거해서변화하는열전달용기판 S와복수의프로브(122A)의접촉하중을검출하고, 프로브카드(122)가열적으로안정될때까지접촉하중이소정의목표하중이되도록승강구동기구(126)를거쳐서탑재대(121)를승강제어한다.

公开(公告)号：KR101053014B1

公开(公告)日：2011-07-29

申请号：KR1020090028177

申请日：2009-04-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다히로시 ,  스즈키마사루 ,  와타나베데츠지 ,  가와지다케시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2891

Abstract: 복수의 프로브의 높이를 검출하는 공정을 간소화해서 단시간에 또한 고정밀도로 검출할 수 있는 동시에, 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 얼라인먼트 방법을 제공한다. 본 발명의 얼라인먼트 방법은 반도체 웨이퍼(W)와 복수의 프로브(12A)를 얼라인먼트할 때에, 침끝위치 검출 장치(16)를 이용하여 복수의 프로브(12A)의 침끝위치를 검출하는 공정과, 하부 CCD 카메라(13B)를 이용해서 침끝위치 검출 장치(16)에서 검출된 복수의 프로브(12A)의 침끝위치를 검출하는 공정과, 침끝위치 검출 장치(16)에 장착된 연질부재(162D)에 복수의 프로브(12A)의 침적을 전사하는 공정과, 상부 CCD 카메라(13A)를 이용하여 연질부재(162D)의 복수의 프로브의 침적(162F)을 검출하는 공정과, 상부 CCD 카메라(13A)를 이용해서 반도체 웨이퍼(W)의 전극 패드를 검출하는 공정을 구비하고 있다.

Abstract translation: 本发明提供一种能够以简单的方式检测多个探针的高度并以高精度在短时间内检测它们并同时提高检查的可靠性的对准方法。 本发明的对准方法包括以下步骤：当将半导体晶片W和多个探针12A对齐时，通过使用针尖位置检测装置16来检测多个探针12A的针尖的位置， 一个（162D）的多个柔性元件的安装在chimkkeut位置检测装置16，步骤，chimkkeut位置，用于检测所述探针的位置chimkkeut检测装置16被检测到（图12A）从使用相机（13B） 传送探针12A的沉积的步骤，通过使用上部CCD照相机13A检测软质构件162D的多个探针的沉积162F的步骤， 以及检测半导体晶片（W）的电极焊盘的步骤。

公开(公告)号：KR1020130141631A

公开(公告)日：2013-12-26

申请号：KR1020137017155

申请日：2011-12-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이시이가즈나리 ,  와타나베데츠지 ,  고이즈미신야 ,  마츠자키고이치

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R1/07342 ,  G01R31/2863 ,  G01R31/2891 ,  H01L22/12

Abstract: 프로브 카드에 열원을 직접 접촉시켜 단시간에 프로브 카드를 소정의 온도로 조정하는 동시에, 열적으로 안정되었는지를 정확하게 판단할 수 있는 프로브 카드의 열적 안정화 방법을 제공한다. 탑재대(121)에 열전달용 기판 S를 탑재하고, 탑재대(121)를 거쳐서 열전달용 기판 S의 온도를 조정하고, 탑재대(121)를 상승시켜 열전달용 기판 S와 복수의 프로브(122A)를 소정의 목표 하중으로 접촉시키고, 열전달용 기판 S와의 사이에 열을 수수하는 프로브 카드(122)의 열적 변화에 의거해서 변화하는 열전달용 기판 S와 복수의 프로브(122A)의 접촉 하중을 검출하고, 프로브 카드(122)가 열적으로 안정될 때까지 접촉 하중이 소정의 목표 하중이 되도록 승강 구동 기구(126)를 거쳐서 탑재대(121)를 승강 제어한다.

公开(公告)号：KR101102718B1

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：KR1020090014396

申请日：2009-02-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다히로시 ,  가타기리히로후미 ,  와타나베데츠지 ,  가와지다케시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07364 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2891

Abstract: 본 발명의 침적 전사 부재(17)은 침적을 극히 단시간에 소거해서 스루풋을 높일 수 있고, 또한 고온 검사시에는 온도의 영향을 경감할 수 있는 프로브의 침적 전사 부재를 제공할 수 있다. 본 발명의 프로브의 침적 전사 부재(17)는 이동 가능한 웨이퍼 척(11)상의 웨이퍼 W와 복수의 프로브(12A)를 전기적으로 접촉시켜 실행되는 웨이퍼 W의 전기적 특성의 검사에 앞서 복수의 프로브(12A)의 얼라인먼트를 실행할 때에, 복수의 프로브(12A)의 얼라인먼트를 위해 복수의 프로브(12A)의 침적(17A)이 전사되는 웨이퍼 척(11)에 부설된 침적 전사 부재(17)로서, 유리 전이 온도 TG에 있어서 탄성율이 높은 유리 상태와 탄성율의 낮은 고무 상태의 사이에서 가역적이고 또한 급격하게 탄성율이 변화하는 형상 기억 폴리머를 갖는다.

公开(公告)号：KR101078995B1

公开(公告)日：2011-11-01

申请号：KR1020090016483

申请日：2009-02-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다히로시 ,  와타나베데츠지 ,  가와지다케시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2891

Abstract: 본발명의프로브카드의기울기조정방법은프로브장치(10)에프로브카드(12)를장착한후, 이동가능한웨이퍼척(11)의탑재면과프로브카드(12)를평행하게하기위해, 프로브카드(12)의기울기를조정할때에, 침끝위치검출장치(16)를이용해서프로브카드(12)의복수개소에서복수의프로브(12A)의평균침끝높이를검출하는제 1 공정과, 복수개소각각의복수의프로브(12A)의평균침끝높이의고저차에의거하여웨이퍼척(11)에대한프로브카드(12)의기울기를구하는제 2 공정과, 프로브카드(12)의기울기를조정하는제 3 공정을구비하고있다.

公开(公告)号：KR1020090105854A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：KR1020090028177

申请日：2009-04-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다히로시 ,  스즈키마사루 ,  와타나베데츠지 ,  가와지다케시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2891

Abstract: PURPOSE: An alignment method, a tip position detecting device, and a probe apparatus are provided to alignment an electrode of a target and a plurality of probes by making a process of detecting the height of the plural probes simple. CONSTITUTION: An alignment method is comprised of the steps: detecting a tip position of a plurality of probe(12A) by using a position detecting unit; detecting the detected tip position of plural probes by using a second pick up unit(13B); Transferring deposition of the plural probe to a soft member by contacting the soft member and the plural probes; and detecting the deposition of the plural probes formed on the soft member by using a first pick up unit.

Abstract translation: 目的：提供一种对准方法，尖端位置检测装置和探针装置，通过进行检测多个探针的高度的处理简单化来对准靶和多个探针的电极。 构成：对准方法包括以下步骤：通过使用位置检测单元来检测多个探针（12A）的尖端位置; 通过使用第二拾取单元（13B）来检测检测到的多个探针的尖端位置; 通过使软构件和多个探针接触来将多个探针的沉积物传递到软构件; 以及通过使用第一拾取单元检测形成在所述软构件上的所述多个探针的沉积。

公开(公告)号：KR1020090093853A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：KR1020090016483

申请日：2009-02-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다히로시 ,  와타나베데츠지 ,  가와지다케시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2891

Abstract: A probe card inclination adjusting method, inclination detecting method and storage medium storing a program for performing the inclination detecting method are provided to adjust the slope of the probe card by reducing the influence of the deviation of the pin end height of probe. In order to exact, is adjusted it is provided. The average pin end height of a plurality of probes(12A) is detected in the probe card(12) by using the pin end device for position detection. The inclination of the probe card to the loading table is obtained based on the difference of altitude of the average needle end height of the probe. The inclination of the probe card is adjusted by the obtained inclination. The pin end device for position detection comprises the sensor unit(162) detecting the average pin end height and the movable contactor(162C). The contactor is contacted to the pin end of a plurality of probes.

Abstract translation: 提供探针卡倾斜调节方法，倾斜检测方法和存储用于执行倾斜检测方法的程序的存储介质，以通过减小探针的针端高度的偏差的影响来调节探针卡的斜率。 为了确切，被调整提供。 通过使用针端装置进行位置检测，在探针卡（12）中检测多个探针（12A）的平均针端高度。 基于探针的平均针头高度的高度差，获得探针卡对装载台的倾斜度。 通过获得的倾斜度来调整探针卡的倾斜度。 用于位置检测的销端装置包括检测平均销端高度的传感器单元（162）和可动接触器（162C）。 接触器与多个探针的针端接触。

公开(公告)号：KR1020090091268A

公开(公告)日：2009-08-27

申请号：KR1020090014396

申请日：2009-02-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다히로시 ,  가타기리히로후미 ,  와타나베데츠지 ,  가와지다케시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07364 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2891

Abstract: An immersion transfer member and a probe apparatus are provided to enhance the throughput by eliminating the immersion in a short time. An inspection of electrical characteristic of the test material is performed by electrically contacting the test material on the mobile main chuck and a plurality of probes(12A). An immersion transfer member(17) which is attached on a main chuck is transferred for the alignment of a plurality of probes. The glass transition temperature is set up in the preset temperature of the main chuck as the near temperature. The immersion of plural probes is transferred to the immersion transfer member of the support stand(16) top in which the main chuck attaches. The main component of the shape memory polymer is the polyurethane resin.

Abstract translation: 提供浸没转移构件和探针装置以通过在短时间内消除浸没来提高生产率。 通过使移动主卡盘上的测试材料与多个探针（12A）电接触来进行测试材料的电特性的检查。 传送附着在主卡盘上的浸没转印部件（17），以便对准多个探针。 玻璃化转变温度设定在主夹具的预设温度为近温度。 将多个探针的浸渍转移到主卡盘附接的支撑架（16）顶部的浸没转移构件。 形状记忆聚合物的主要成分是聚氨酯树脂。