公开(公告)号：KR1020100036996A

公开(公告)日：2010-04-08

申请号：KR1020090092381

申请日：2009-09-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아메미야히로시 ,  가타기리히로후미 ,  오츠카사토시 ,  후치가미신지

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2872 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2862 ,  G01R31/2874 ,  G01R31/2881

Abstract: PURPOSE: By compacting the circulator of the air and stabilizing the dew point within the prober chamber at the same time it highs the reliability, the inspection apparatus and inspecting method can practice the low temperature inspection. CONSTITUTION: A circulator(13) is arranged according to the rear side of the prober chamber(12). Circulator circulates the dry air within the prober chamber. A control device(14) controls the instrument including the main chuck within circulator and prober chamber. The vent unit circulates the dry air within the prober chamber. The filter unit eliminates the dust and dust from the dry air circulating through the vent unit.

Abstract translation: 目的：通过压缩空气循环器，同时稳定探针室内的露点，同时高可靠性，检测仪器和检查方法可以实施低温检测。 构成：循环器（13）根据探测室（12）的后侧布置。 循环器在干燥室内循环干燥空气。 控制装置（14）在循环器和探针室内控制包括主卡盘的仪器。 通风单元将干燥空气循环在探测室内。 过滤器单元消除了通过排气单元循环的干燥空气中的灰尘和灰尘。

公开(公告)号：KR101102718B1

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：KR1020090014396

申请日：2009-02-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다히로시 ,  가타기리히로후미 ,  와타나베데츠지 ,  가와지다케시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07364 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2891

Abstract: 본 발명의 침적 전사 부재(17)은 침적을 극히 단시간에 소거해서 스루풋을 높일 수 있고, 또한 고온 검사시에는 온도의 영향을 경감할 수 있는 프로브의 침적 전사 부재를 제공할 수 있다. 본 발명의 프로브의 침적 전사 부재(17)는 이동 가능한 웨이퍼 척(11)상의 웨이퍼 W와 복수의 프로브(12A)를 전기적으로 접촉시켜 실행되는 웨이퍼 W의 전기적 특성의 검사에 앞서 복수의 프로브(12A)의 얼라인먼트를 실행할 때에, 복수의 프로브(12A)의 얼라인먼트를 위해 복수의 프로브(12A)의 침적(17A)이 전사되는 웨이퍼 척(11)에 부설된 침적 전사 부재(17)로서, 유리 전이 온도 TG에 있어서 탄성율이 높은 유리 상태와 탄성율의 낮은 고무 상태의 사이에서 가역적이고 또한 급격하게 탄성율이 변화하는 형상 기억 폴리머를 갖는다.

公开(公告)号：KR101208800B1

公开(公告)日：2012-12-06

申请号：KR1020090092381

申请日：2009-09-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아메미야히로시 ,  가타기리히로후미 ,  오츠카사토시 ,  후치가미신지

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은공기의순환장치를콤팩트화하는동시에프로버실내의이슬점을안정화하여, 신뢰성이높은저온검사를실행할수 있는검사장치및 검사방법을제공한다. 본발명의검사장치(10)는프로버실(12)과, 프로버실(12)의배면을따라배치되는동시에프로버실(12) 내의건조공기를순환시키는순환장치(13)와, 순환장치(13) 및프로버실(12) 내의탑재대를포함하는기기를제어하는제어장치(14)를구비하고, 순환장치(13)는프로버실(12) 내의건조공기를순환시키는송풍유닛(131)과, 송풍유닛(131)을통해순환되는건조공기중으로부터티끌과먼지를제거하는필터유닛(132)을구비하고있다.

公开(公告)号：KR1020090091268A

公开(公告)日：2009-08-27

申请号：KR1020090014396

申请日：2009-02-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다히로시 ,  가타기리히로후미 ,  와타나베데츠지 ,  가와지다케시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07364 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2891

Abstract: An immersion transfer member and a probe apparatus are provided to enhance the throughput by eliminating the immersion in a short time. An inspection of electrical characteristic of the test material is performed by electrically contacting the test material on the mobile main chuck and a plurality of probes(12A). An immersion transfer member(17) which is attached on a main chuck is transferred for the alignment of a plurality of probes. The glass transition temperature is set up in the preset temperature of the main chuck as the near temperature. The immersion of plural probes is transferred to the immersion transfer member of the support stand(16) top in which the main chuck attaches. The main component of the shape memory polymer is the polyurethane resin.

Abstract translation: 提供浸没转移构件和探针装置以通过在短时间内消除浸没来提高生产率。 通过使移动主卡盘上的测试材料与多个探针（12A）电接触来进行测试材料的电特性的检查。 传送附着在主卡盘上的浸没转印部件（17），以便对准多个探针。 玻璃化转变温度设定在主夹具的预设温度为近温度。 将多个探针的浸渍转移到主卡盘附接的支撑架（16）顶部的浸没转移构件。 形状记忆聚合物的主要成分是聚氨酯树脂。