公开(公告)号：KR102220434B1

公开(公告)日：2021-02-24

申请号：KR1020187028162

申请日：2017-03-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히로세가츠히토 ,  하세가와도시오 ,  요시다쇼헤이 ,  시노하라다케시 ,  가와사키신지

IPC: C23C16/52 ,  C23C16/455 ,  G05B23/02 ,  G05B19/048

Abstract: 기판처리장치를제어하는제1 컨트롤러와, 상기제1 컨트롤러의지시에따라, 상기기판처리장치에설치된기기를제어하는제2 컨트롤러를갖고, 상기기기의이상을검지하는이상검지시스템으로서, 상기제2 컨트롤러는, 상기기기의상태신호를, 미리정해진주기에있어서의미리정해진시간, 미리정해진샘플링간격으로수집하고, 수집한상기기기의상태신호를축적하는기억부를가지며, 상기제1 컨트롤러는, 축적한상기기기의상태신호를, 상기미리정해진시간이상의시간간격으로상기제2 컨트롤러로부터취득하고, 취득한상기기기의상태신호에기초하여, 상기기기의이상의유무를판정하는이상판정부를갖는이상검지시스템이제공된다.