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公开(公告)号：KR1020100016329A
公开(公告)日：2010-02-12
申请号：KR1020097023297
申请日：2008-05-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L21/681 , H01L21/67748
Abstract: A CCD detector (30) captures an image of the circular arc shape of the outer periphery of a semiconductor wafer (W) that is on standby at a standby position (W1) near the inlet of a processing unit (1). A calculation section (40) detects, from the captured image of the circular arc shape, positional data on multiple positions of the shape, obtains an imaginary circle of the semiconductor wafer (W), calculates the center coordinates of the imaginary circle, and calculates "information on positional displacement" of the semiconductor wafer (W) at the standby position (W1). A controller (50) controls a conveyance device (12) based on the ''information on displacement'' to correct the position of the semiconductor wafer (W) on the processing unit (1).
Abstract translation: CCD检测器（30）捕获在处理单元（1）的入口附近的待机位置（W1）待机的半导体晶片（W）的外周的圆弧形状的图像。 计算部（40）根据圆弧形状的拍摄图像检测形状的多个位置的位置数据，得到半导体晶片（W）的假想圆，计算虚拟圆的中心坐标，并计算 在待机位置（W1）处的半导体晶片（W）的位置偏移信息。 控制器（50）基于“位移信息”来控制输送装置（12），以校正处理单元（1）上的半导体晶片（W）的位置。
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公开(公告)号：KR1020130009700A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：KR1020120076764
申请日：2012-07-13
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/68 , B65G49/07 , G06F19/00
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J9/043 , B25J9/106 , B25J9/1633 , B25J15/009 , H01L21/68707
Abstract: PURPOSE: A substrate transfer device, a substrate processing system, a substrate transfer method, and a storage medium are provided to suppress misalignment of a substrate by controlling a driving unit to transfer the substrate to a vacuum processing unit by correcting the misalignment of the substrate. CONSTITUTION: A rotating stand(40) is rotatably installed on a bottom plate(5a) of a transfer chamber. A first multi-joint arm device(41) and a second multi-joint arm device(42) include picks(41c,42c) which maintain a wafer. A driving link device(43) selectively bends one of the first multi-joint arm device and the second multi-joint arm device. A driving unit(44) includes a driving device to rotate the rotating stand and a driving device to move the driving link device. A transfer control unit(45) controls the transfer operation of the substrate by the pick. [Reference numerals] (30) Whole control unit; (45) Transfer control unit
Abstract translation: 目的：提供基板转印装置，基板处理系统，基板转印方法和存储介质，以通过控制驱动单元来抑制基板的未对准，以通过校正基板的未对准来将基板转印到真空处理单元 。 构成：旋转支架（40）可旋转地安装在传送室的底板（5a）上。 第一多关节臂装置（41）和第二多关节臂装置（42）包括保持晶片的拾取件（41c，42c）。 驱动连杆装置（43）选择性地弯曲第一多关节臂装置和第二多关节臂装置中的一个。 驱动单元（44）包括用于使旋转支架旋转的驱动装置和用于移动驱动连杆装置的驱动装置。 转移控制单元（45）通过拾取器控制衬底的转移操作。 （附图标记）（30）整体控制单元; （45）转移控制单元
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101443488B1
公开(公告)日：2014-09-22
申请号：KR1020130005083
申请日：2013-01-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205 , H01L21/66
CPC classification number: C23C16/4551 , C23C16/45544 , C23C16/45561 , C23C16/52 , F16K37/00 , F16K37/0041 , G01M13/00 , H03K21/00 , H03K21/023
Abstract: 본 발명은 처리 용기 내에 가스를 공급하는 가스 공급 시스템에 있어서의 밸브의 동작 상태를 파악하고, 밸브의 이상을 실시간으로 검출, 혹은 미연에 회피할 수 있는 처리 장치 및 밸브 동작 확인 방법을 제공한다. DO 개폐 카운터(421) 및 DI 개폐 카운터(423)를 MC(401)보다 하위의 제어 유닛인 I/O 보드(415)에 마련하고, 챔버 밸브(37, 47, 57, 67)의 개폐 횟수를 카운트한다. DO 개폐 카운터(421) 및 DI 개폐 카운터(423)에 의거하는 챔버 밸브(37)의 동작 상태는 DO 개폐 카운터(421)의 카운트값 A, DI 개폐 카운터(423)의 카운트값 B가, A=B면 정상, A≠B면 이상 있음으로 판정된다.
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公开(公告)号：KR1020130084266A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：KR1020130005083
申请日：2013-01-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205 , H01L21/66
CPC classification number: C23C16/4551 , C23C16/45544 , C23C16/45561 , C23C16/52 , F16K37/00 , F16K37/0041 , G01M13/00 , H03K21/00 , H03K21/023
Abstract: PURPOSE: A processing device and a valve operation checking method are provided to rapidly detect an abnormality in a valve by checking the operation of the valve on the basis of a valve opening and closing detection signal. CONSTITUTION: A sensor unit independently monitors opening and closing operations of multiple valves. A control unit (300) determines an operation state of the valve based on multiple valve opening and closing driving signals transmitted to a valve driving unit and/or multiple valve opening and closing detection signals transmitted from the sensor unit. A DO opening and closing counter (421) and a DI opening and closing counter (423) are formed on an I/O board (415) and count the number of opening and closing multiple chamber valves. A is a count value of the DO opening and closing counter, and B is a count value of the DI opening and closing counter. If A=B, the operation state of the chamber valve is normal. If A≠B, the operation state of the chamber valve is abnormal. [Reference numerals] (37a,47a) Solenoid; (39,49) CV sensor; (413) I/O module; (415,416) I/O board; (421) DO opening and closing counter; (423) DI opening and closing counter; (501) User interface; (507) Storage medium; (603) Host computer
Abstract translation: 目的：提供一种处理装置和阀门操作检查方法，以通过基于阀门打开和关闭检测信号检查阀的操作来快速检测阀中的异常。 构成：传感器单元独立监控多个阀门的打开和关闭操作。 控制单元（300）基于传递到阀驱动单元的多个阀打开和关闭驱动信号和/或从传感器单元传送的多个阀打开和关闭检测信号来确定阀的操作状态。 在I / O板（415）上形成DO开闭计数器（421）和DI开闭计数器（423），并计数多个开闭阀的数量。 A是DO打开和关闭计数器的计数值，B是DI开关计数器的计数值。 如果A = B，则室阀的运行状态正常。 如果A≠B，则室阀的操作状态异常。 （参考数字）（37a，47a）电磁阀; （39,49）CV传感器; （413）I / O模块; （415,416）I / O板; （421）DO开关柜台; （423）DI开关柜; （501）用户界面; （507）存储介质; （603）主机
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公开(公告)号：KR102220434B1
公开(公告)日：2021-02-24
申请号：KR1020187028162
申请日：2017-03-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: C23C16/52 , C23C16/455 , G05B23/02 , G05B19/048
Abstract: 기판처리장치를제어하는제1 컨트롤러와, 상기제1 컨트롤러의지시에따라, 상기기판처리장치에설치된기기를제어하는제2 컨트롤러를갖고, 상기기기의이상을검지하는이상검지시스템으로서, 상기제2 컨트롤러는, 상기기기의상태신호를, 미리정해진주기에있어서의미리정해진시간, 미리정해진샘플링간격으로수집하고, 수집한상기기기의상태신호를축적하는기억부를가지며, 상기제1 컨트롤러는, 축적한상기기기의상태신호를, 상기미리정해진시간이상의시간간격으로상기제2 컨트롤러로부터취득하고, 취득한상기기기의상태신호에기초하여, 상기기기의이상의유무를판정하는이상판정부를갖는이상검지시스템이제공된다.
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公开(公告)号：KR101443493B1
公开(公告)日：2014-09-22
申请号：KR1020130008331
申请日：2013-01-25
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205 , H01L21/66
CPC classification number: C23C16/52 , C23C16/45544 , C23C16/45561
Abstract: 본 발명은 처리 장치에 있어서의 프로세스의 상태를 파악하고, 프로세스의 이상을 신속하게 검출, 또는 미연에 회피하는 처리 장치 및 프로세스 상태의 확인 방법을 제공한다. Module controller(MC)보다 하위의 제어 유닛인 I/O 보드에 최대값 레지스터 및 최소값 레지스터를 마련하고, 압력계에서 계측되는 버퍼 탱크에서의 압력에 관한 압력 AI 신호로부터, 압력 변동의 최대값과 최소값을 보존한다. 프로세스의 상태의 판정은 실제 동작시에 관측된 버퍼 탱크 내의 압력 변동의 최대값 및/또는 최소값을, 미리 측정된 정상 동작시의 버퍼 탱크 내의 압력 변동의 최대값 및/또는 최소값의 데이터와 비교하는 것에 의해 실행한다.
Abstract translation: 处理装置包括处理室，与供给到处理室的处理气体的种类相对应地设置的气体供给路径，以及分别设置在气体供给路径中的阀。 该装置还包括测量单元，用于测量与通过气体供应路径的每个处理气体相关联的物理参数，存储物理参数的寄存器单元，以及配置为基于物理参数确定处理状态的控制单元 存储在寄存器单元中。 寄存器单元设置在连接到较高层次的控制单元的下层控制设备中以向控制单元发送信号和从控制单元接收信号。 下位控制装置被配置为在控制单元的控制下控制控制单元和终端装置之间的输入和输出信号。
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公开(公告)号：KR1020130086569A
公开(公告)日：2013-08-02
申请号：KR1020130008331
申请日：2013-01-25
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205 , H01L21/66
CPC classification number: C23C16/52 , C23C16/45544 , C23C16/45561
Abstract: PURPOSE: A processing apparatus and a method for checking a processing state are provided to quickly detect an abnormality by checking the processing state based on physical parameter information on a register part. CONSTITUTION: A plurality of valves are arranged on a plurality of gas supply paths. The valves open or close the gas supply paths. A measuring unit measures a physical parameter of a processing gas. A register part preserves the physical parameter measured by the measuring unit. A control unit (300) determines a processing state based on physical parameter information. [Reference numerals] (413) I/O module; (415) I/O board; (441) Maximum register; (443) Minimum register; (48A,58A) Pressure gauge; (501) User interface; (507) Memory medium; (603) Host computer
Abstract translation: 目的：提供一种用于检查处理状态的处理装置和方法，用于通过基于寄存器部分上的物理参数信息检查处理状态来快速检测异常。 构成：在多个气体供给路径上配置有多个阀。 阀打开或关闭供气路径。 测量单元测量处理气体的物理参数。 寄存器部分保存由测量单元测量的物理参数。 控制单元（300）基于物理参数信息确定处理状态。 （413）I / O模块; （415）I / O板; （441）最大寄存器; （443）最低登记册; （48A，58A）压力表; （501）用户界面; （507）存储介质; （603）主机
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