公开(公告)号：KR1020060088839A

公开(公告)日：2006-08-07

申请号：KR1020060009696

申请日：2006-02-01

Applicant: 히라따기꼬오 가부시키가이샤 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 카와구치요시히로 ,  이모토나오키 ,  츠키타히로시 ,  타카모토토쿠오

IPC: G02F1/13

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05C5/0254 ,  B05C11/10 ,  H01L21/67253

Abstract: 본 발명은 도포액 공급장치 및 도포처리장치에 관한 것으로서 도포액 공급 장치의 한 형태인 레지스트 공급 장치(11)는 레지스트액이 충전되는 가요성의 튜브(33)의 바깥주위에 작동유(25)를 충전하기 위한 작동유 충전 스페이스(34)가 형성되는 튜브프램(31)과 작동유 충전 스페이스(34)에 작동유(25)를 송액함으로써 튜브(33)를 수축시켜 그 내부에 충전된 레지스트액을 밀어내기 위한 펌프(32)를 구비한다. 펌프(32)를 그 상면이 개구하도록 그 긴 방향을 대략 수직으로 하여 배치시키고 그 내부에 작동유가 충전되는 실린더(36)와 실린더(36)에 끼워지는 피스톤(37)과 피스톤(37)을 그 길이 방향으로 왕복 운동시키는 피스톤 구동 기구(38)로 구성한 도포액의 토출 압력의 리니얼리티가 충분하여 멘터넌스가 용이한 도포액 공급 장치를 제공하는 기술을 제공한다.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种应用液体供应装置，其中施加液体的排出压力的线性足够并且维护容易。 解决方案：一种形式的施加液体供应装置的抗蚀剂供应装置11设置有管31，其中形成有液压流体填充空间34，用于在柔性管33的外周填充液压流体25， 液体充满; 以及泵32，其通过将液压流体25传递到液压流体填充空间34而收缩管33，并推出填充有内部部件的抗蚀剂液体。 泵32设置有气缸36，其通过使纵向方向垂直地布置成使得上表面打开并且内部部分填充有液压流体而布置; 插入到气缸36中的活塞37; 以及活塞驱动机构38，其沿长度方向往复运动。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：KR101172547B1

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：KR1020060009696

申请日：2006-02-01

Applicant: 히라따기꼬오 가부시키가이샤 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 카와구치요시히로 ,  이모토나오키 ,  츠키타히로시 ,  타카모토토쿠오

IPC: G02F1/13

Abstract: 본 발명은 도포액 공급장치 및 도포처리장치에 관한 것으로서 도포액 공급 장치의 한 형태인 레지스트 공급 장치(11)는 레지스트액이 충전되는 가요성의 튜브(33)의 바깥주위에 작동유(25)를 충전하기 위한 작동유 충전 스페이스(34)가 형성되는 튜브프램(31)과 작동유 충전 스페이스(34)에 작동유(25)를 송액함으로써 튜브(33)를 수축시켜 그 내부에 충전된 레지스트액을 밀어내기 위한 펌프(32)를 구비한다. 펌프(32)를 그 상면이 개구하도록 그 긴 방향을 대략 수직으로 하여 배치시키고 그 내부에 작동유가 충전되는 실린더(36)와 실린더(36)에 끼워지는 피스톤(37)과 피스톤(37)을 그 길이 방향으로 왕복 운동시키는 피스톤 구동 기구(38)로 구성한 도포액의 토출 압력의 직선성이 충분하여 교환이 용이한 도포액 공급 장치를 제공하는 기술을 제공한다.

公开(公告)号：KR1020150114415A

公开(公告)日：2015-10-12

申请号：KR1020150043378

申请日：2015-03-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나스도시후미 ,  이모토나오키 ,  다마에마사유키

IPC: H01L51/56 ,  H01L21/027 ,  H01L21/677

Abstract: 본발명은유기발광다이오드의유기층을기판상에효율적으로형성하는것을목적으로한다. 소성장치(132), 온도조절장치(134) 및기판반송장치(122)는, 각각, 내부의분위기가, 대기보다낮은미리정해진산소농도, 또한대기보다낮은미리정해진이슬점온도의분위기로유지되는처리용기(200, 300, 400)와, 처리용기(200, 300, 400) 내에불활성가스를공급하는가스공급부(240, 320, 420)와, 처리용기(200, 300, 400) 내를배기하는배기부(250, 330, 430)와, 처리용기(200, 300, 400) 내의분위기중의산소와수분을제거하는정제기(263, 341, 441)를구비하고, 상기정제기(263, 341, 441)로정제된분위기를처리용기(200, 300, 400) 내로되돌리는가스순환시스템(260, 340, 440)을갖는다.

Abstract translation: 本发明的目的是在衬底上有效地形成有机LED的有机层。 本发明包括：固化装置（132），温度调节装置（34）和分别具有保持气氛的处理容器（200,300,400）的基板转移装置，其中保持内部气氛以具有预定的 比空气低的氧浓度和低于空气的预定露点温度; 向处理容器（200,300,400）供应惰性气体的气体供应单元（240,320,420）; 排出处理容器（200,300,400）内的空气的排气单元（250,330,430）; 消除处理容器（200,300,400）中的气氛的氧气和湿气的精炼机（263,341,441）; 气体循环系统（260,340,440）将由精炼机（263,341,441）精炼的气氛返回到处理容器（200,300,400）。

公开(公告)号：KR1020150088754A

公开(公告)日：2015-08-03

申请号：KR1020150011186

申请日：2015-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시무라사토시 ,  이모토나오키

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/6708 ,  G03F7/16 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/02307

Abstract: [과제] 처리액중의이물질을제거하여처리액노즐이막히는것을억제하고, 처리액노즐로부터기판에처리액을적절하게공급한다. [해결수단] 처리액노즐(132)은, 상부블록(200)과, 하부블록(201)과, 상부블록(200)과하부블록(201)의내부에형성된용제의유통공간(202)과, 용제의토출구(244)와유통공간(202)을접속하는용제의유통로(245)와, 유통로(245)의상부에설치되고, 용제중의이물질을포집하여제거하는필터(260)와, 필터(260)를수직방향으로고정하는고정부재(261)를갖는다. 고정부재(261)는, 필터(260)를하면에서고정하는본체부(262)와, 본체부(262)의상면으로부터돌기하여, 유통공간(202)의천장면(211)에접촉하는돌기부(264)를갖는다.

Abstract translation: 本发明的目的是通过除去处理液中的异物来抑制处理液喷嘴的堵塞，并从处理液喷嘴向处理液充分供给处理液。 处理液喷嘴（132）包括：上块（200）; 下部块（201）; 形成在上部块（200）和下部块（201）内的溶剂的分配空间（202）; 与溶剂的排出孔（244）连接的溶剂的分配通路（245）和分配空间（202）; 安装在分配通道（245）的上部的过滤器（260），用于收集和除去溶剂中的异物; 以及用于将过滤器（260）沿垂直方向固定的固定构件（261）。 固定构件（261）包括：主体单元（262），用于将过滤器（260）固定在其下表面上; 以及从主体单元（262）的上表面突出以与分配空间（202）的顶面接触的突出单元（264）。

公开(公告)号：KR1020120026457A

公开(公告)日：2012-03-19

申请号：KR1020110091125

申请日：2011-09-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 소마야스타카 ,  이모토나오키

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13

CPC classification number: H01L21/67706 ,  B65G49/061 ,  B65G49/067 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67715

Abstract: PURPOSE: A substrate transfer apparatus and a substrate transfer method are provided to transfer a substrate in stable by supporting a substrate by a drive roller row and a free roller row in transferring the substrate. CONSTITUTION: The drive shaft(55) revolves with the drive of the drive motor(51) at the sending direction of substrate. A drive shaft(55) rotates a substrate in transferring direction of a substrate by the drive motor. A rotation shaft is connected to the drive motor in parallel with the transfer direction of the substrate. A gear comprised of a bevel gear is mounted in the rotation shaft. A gear(54) consisting of the bevel gear is installed in one end of the drive shaft. A free roller shaft(57) is connected to a cylinder for driving the free roller.

Abstract translation: 目的：提供基板转印装置和基板转印方法，以通过驱动辊排和自由辊排支撑基板来稳定地转印基板，从而转印基板。 构成：驱动轴（55）随着驱动电动机（51）的驱动沿基板的发送方向旋转。 驱动轴（55）通过驱动马达在基板的传送方向上旋转基板。 旋转轴与基板的传送方向平行地连接到驱动马达。 由伞齿轮构成的齿轮安装在旋转轴中。 由伞齿轮构成的齿轮（54）安装在驱动轴的一端。 自由辊轴（57）连接到用于驱动自由辊的气缸。