-
1.发明授权건조 장치, 건조 방법, 기판 처리 장치, 기판 처리 방법,프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능한 기록 매체 有权一种干燥装置，干燥方法，基板处理装置，基板处理方法，记录程序的计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR101061926B1
公开(公告)日：2011-09-02
申请号：KR1020060111687
申请日：2006-11-13
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67028 , H01L21/67034 , Y10S118/90 , Y10S134/902
Abstract: 본 발명은 건조 증기를 이용하여 피처리체를 양호하게 건조시킬 수 있는 건조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의한 건조 장치는 피처리체를 수용하는 처리조와, 상기 처리조에 접속되고, 상기 처리조 안에 캐리어 가스 및 건조 증기를 공급하는 공급 기구와, 상기 공급 기구에 의한 캐리어 가스의 공급 및 건조 증기의 공급을 제어하는 제어 장치를 구비한다. 상기 처리조에 수용된 피처리체를 처리할 때, 캐리어 가스와 건조 증기를 포함하는 혼합 유체는 상기 처리조 안에 간헐적으로 공급되게 되어 있다.Abstract translation: 本发明的目的在于提供一种干燥装置，其能够使用干燥蒸汽良好地干燥被处理物。
-
2.发明公开건조 장치, 건조 방법, 기판 처리 장치, 기판 처리 방법,프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능한 기록 매체 有权干燥装置，干燥方法，基板处理装置，基板处理方法和具有程序的计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR1020070053112A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：KR1020060111687
申请日：2006-11-13
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67028 , H01L21/67034 , Y10S118/90 , Y10S134/902
Abstract: 본 발명은 건조 증기를 이용하여 피처리체를 양호하게 건조시킬 수 있는 건조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의한 건조 장치는 피처리체를 수용하는 처리조와, 상기 처리조에 접속되고, 상기 처리조 안에 캐리어 가스 및 건조 증기를 공급하는 공급 기구와, 상기 공급 기구에 의한 캐리어 가스의 공급 및 건조 증기의 공급을 제어하는 제어 장치를 구비한다. 상기 처리조에 수용된 피처리체를 처리할 때, 캐리어 가스와 건조 증기를 포함하는 혼합 유체는 상기 처리조 안에 간헐적으로 공급되게 되어 있다.
-
Search Results
2
records
(took 0.019 seconds)
