Abstract:
피처리 기판으로의 영향을 저감시키면서 양호한 세정, 건조 처리를 실행 가능한 기판 처리 장치 등을 제공한다. 기판 처리 장치(2)에 설치된 세정조(221)에서는 세정액 공급부로부터 세정액을 공급하면서 당해 세정액에 피처리 기판(W)을 세로 방향 상태로 침지시켜 세정이 행해지고, 이 세정조(221)의 상방 영역과 연통되는 건조실(21)에서는 세정조(221)에서 끌어올려진 피처리 기판(W)의 건조가 행해진다. 그리고, 제 1 건조 가스 공급부 및 제 2 건조 가스 공급부로부터는, 세정 후의 피처리 기판(W)의 상단이 세정액의 액면으로부터 상방으로 끌어올려진 후, 적어도 피처리 기판이 노출되는 영역에, 상기 세정조의 상방 영역에서부터 건조실 내에 이르기까지의 분위기에 액체 제거용의 용제 증기를 포함하는 제 1 건조 가스와 상기 용제 증기를 포함하지 않는 제 2 건조 가스가 교호로 공급된다.
Abstract:
A liquid processing apparatus, a liquid processing method, and a storage medium having a liquid processing program stored are provided to reduce the time required for raising specific resistance of rinsing liquid up to a predetermined level by reducing a distance between a surface of the rinsing liquid and an upper side of an object to be processed. A liquid processing apparatus comprises a processing tank(49), a support(36), a chemical liquid supply unit, a rinsing liquid supply unit, a lifting mechanism, and a control unit. The support is installed within the processing tank to be lifted or lowered, to support an object to be processed(2). The chemical liquid supply part supplies chemical liquid into the processing tank. The rinsing liquid supply part supplies rinsing liquid into the processing tank. The lifting mechanism lifts and lowers the support. The control unit controls the lifting mechanism such that the control unit moves or holds the support after chemical liquid process is done by using the chemical liquid, and performs a rinsing process at a position where the object to be processed is lifted with respect to a liquid surface that the level set for the chemical liquid process.
Abstract:
There is provided a substrate processing method including cleaning a substrate by immersing the substrate in a cleaning solution in a longitudinal direction while the cleaning solution is supplied to a cleaning tank; transferring the substrate picked up from the cleaning tank to a drying chamber while holding the substrate in a longitudinal direction; and drying the substrate in the drying chamber communicating with an upper area of the cleaning tank by alternately supplying a first drying gas containing vapor of a solvent for removing a liquid and a second drying gas without containing the vapor of the solvent for removing the liquid to an area where the substrate is exposed between the upper area of the cleaning tank and the drying chamber after an upper end of the cleaned substrate is picked up from a liquid surface of the cleaning solution.
Abstract:
PURPOSE: A substrate processing apparatus, a method for reproducing a filtering material, and a storing media are provided to improve the rate of operations by omitting a filtering material replacing operation. CONSTITUTION: A dry gas generating unit(23) heats fluid to obtain a gas for a dry operation. The dry gas generating unit includes a temperature control function. A filtering material(222) eliminates particles in the gas for the dry operation. A filtering material heating unit(234) heats the filtering material. A processing unit implements the dry operation using the gas for the dry operation. A controlling unit controls the temperature for heating the filtering material heating unit.
Abstract:
본 발명은 피처리체를 수용하는 피처리체 수용영역 및 휘발성의 처리액을 수용하는 처리액 수용영역을 가지며, 처리액을 기화시키기 위한 가열 수단을 구비한 처리조와, 피처리체 본체 수용영역의 아래쪽에 설치되고, 기화된 상기 처리액을 사용하여 상기 피처리체로부터 제거된 수분을 받은 용기와, 용기에 부착되고, 상기 용기로부터의 수분을 처리조의 외부에 배출하는 액 배출관과, 처리조의 피처리체 수용 영역의 위쪽에 설치되고, 기화된 처리액을 응축시키는 냉각 수단을 구비하고, 액 배출관은 개폐밸브를 가지고 있고, 또 상기 개폐밸브보다도 용기에 접근하는 위치에 상기 배기관으로부터 분지된 관을 가지는 기판 건조 장치를 제공한다.