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公开(公告)号：KR1020080081360A
公开(公告)日：2008-09-09
申请号：KR1020087018780
申请日：2007-02-07
Applicant: 쿠어스택 가부시키가이샤 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: Provided is a planar heater having a substantially uniform heating temperature with a carbon wire heat generating body. The inner region and the outer region have different in-plane arrangement densities of carbon wire heat generating bodies (CW). A power supply terminal section having a connecting line for carrying electricity to a heat generating body (CW) is arranged at the center portion on the rear side of a silica glass board-like body. The connecting wire of the inner carbon wire heat generating body is connected at the center portion of the silica glass board-like body, the connecting lines (3a, 3b) of the outer carbon wire heat generating body are extended to the outer regions from the center portion of the silica glass board-like body, without crossing the inner carbon wire heat generating body (CW), and are connected with the outer carbon wire heat generating body (CW).
Abstract translation: 本发明提供一种具有与碳丝发热体基本均匀的加热温度的平面加热器。 内部区域和外部区域具有不同的碳线发热体的面内排列密度（CW）。 在石英玻璃板状体的后侧的中央部配置具有用于向发热体（CW）传送电力的连接线的电源端子部。 内碳丝发热体的连接线在石英玻璃板状体的中心部分连接，外部碳线发热体的连接线（3a，3b）从外部碳线发热体延伸到外部区域 石墨玻璃板状体的中心部分，不与内碳丝发热体（CW）交叉，并与外碳丝发热体（CW）连接。
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公开(公告)号：KR1020090127195A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：KR1020097024229
申请日：2007-02-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: Provided is a planar heater having a substantially uniform heating temperature with a carbon wire heat generating body. The inner region and the outer region have different in-plane arrangement densities of carbon wire heat generating bodies (CW). A power supply terminal section having a connecting line for carrying electricity to a heat generating body (CW) is arranged at the center portion on the rear side of a silica glass board-like body. The connecting wire of the inner carbon wire heat generating body is connected at the center portion of the silica glass board-like body, the connecting lines (3a, 3b) of the outer carbon wire heat generating body are extended to the outer regions from the center portion of the silica glass board-like body, without crossing the inner carbon wire heat generating body (CW), and are connected with the outer carbon wire heat generating body (CW).
Abstract translation: 本发明提供一种具有与碳丝发热体基本均匀的加热温度的平面加热器。 内部区域和外部区域具有不同的碳线发热体的面内排列密度（CW）。 在石英玻璃板状体的后侧的中央部配置具有用于向发热体（CW）传送电力的连接线的电源端子部。 内碳丝发热体的连接线在石英玻璃板状体的中心部分连接，外部碳线发热体的连接线（3a，3b）从外部碳线发热体延伸到外部区域 石墨玻璃板状体的中心部分，不与内碳丝发热体（CW）交叉，并与外碳丝发热体（CW）连接。
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公开(公告)号：KR101139612B1
公开(公告)日：2012-05-08
申请号：KR1020097024229
申请日：2007-02-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: 대략 균일한 가열 온도로 하는 것이 가능한 카본 와이어 발열체를 구비한 면형상 히터를 제공한다. 카본 와이어 발열체(CW)의 면내 배치 밀도가 내측 영역과 외측 영역에서 상이하다. 발열체(CW)에 통전하는 접속선을 갖는 전원 단자부가, 실리카 유리 판형상체의 이면측의 중앙부에 배치된다. 내측의 카본 와이어 발열체의 접속선은 실리카 유리 판형상체의 중앙부에서 접속되고, 외측의 카본 와이어 발열체의 접속선(3a, 3b)은 내측의 카본 와이어 발열체(CW)와 교차하지 않고 실리카 유리 판형상체의 중앙부로부터 외측 영역으로 연장되어 외측의 카본 와이어 발열체(CW)와 접속된다.
카본 와이어, 발열체, 히터-
公开(公告)号：KR100956834B1
公开(公告)日：2010-05-11
申请号：KR1020087018780
申请日：2007-02-07
Applicant: 쿠어스택 가부시키가이샤 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: 대략 균일한 가열 온도로 하는 것이 가능한 카본 와이어 발열체를 구비한 면형상 히터를 제공한다. 카본 와이어 발열체(CW)의 면내 배치 밀도가 내측 영역과 외측 영역에서 상이하다. 발열체(CW)에 통전하는 접속선을 갖는 전원 단자부가, 실리카 유리 판형상체의 이면측의 중앙부에 배치된다. 내측의 카본 와이어 발열체의 접속선은 실리카 유리 판형상체의 중앙부에서 접속되고, 외측의 카본 와이어 발열체의 접속선(3a, 3b)은 내측의 카본 와이어 발열체(CW)와 교차하지 않고 실리카 유리 판형상체의 중앙부로부터 외측 영역으로 연장되어 외측의 카본 와이어 발열체(CW)와 접속된다.
카본 와이어, 발열체, 히터
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