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公开(公告)号：KR101108856B1
公开(公告)日：2012-02-09
申请号：KR1020077020516
申请日：2005-12-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G05B19/4184 , G05B2219/31356 , G05B2219/32179 , G05B2219/45031 , Y02P80/40 , Y02P90/14 , Y02P90/20 , Y02P90/22 , Y02P90/86
Abstract: 본 발명은 APC 시스템에서 FDC를 구현하는 방법에 있어서, 메모리로부터 FDC 모델을 수신하는 단계와; FDC 모델을 프로세스 모델 계산 엔진에 제공하는 단계와; 프로세스 모델 계산 엔진을 이용하여 예측 의존 프로세스 매개변수의 벡터를 연산하는 단계와; 레시피 매개변수를 포함하는 프로세스 레시피를 수신하고 프로세스 레시피를 프로세스 모듈에 제공하는 단계와; 프로세스 레시피를 실행하여 측정 의존 프로세스 매개변수의 벡터를 생성하는 단계와; 예측 의존 프로세스 매개변수의 벡터와 측정 의존 프로세스 매개변수의 벡터 간의 차이를 계산하는 단계와; 상기 차이를 임계값과 비교하는 단계와; 상기 차이가 임계값보다 더 클 때 결함 상태를 선언하는 단계를 포함하는 FDC 구현 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020070117579A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：KR1020077020516
申请日：2005-12-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G05B19/4184 , G05B2219/31356 , G05B2219/32179 , G05B2219/45031 , Y02P80/40 , Y02P90/14 , Y02P90/20 , Y02P90/22 , Y02P90/86
Abstract: A method for implementing FDC in an APC system including receiving an FDC model from memory; providing the FDC model to a process model calculation engine; computing a vector of predicted dependent process parameters using the process model calculation engine; receiving a process recipe comprising a set of recipe parameters, providing the process recipe to a process module; executing the process recipe to produce a vector of measured dependent process parameters; calculating a difference between the vector of predicted dependent process parameters and the vector of measured dependent process parameters; comparing the difference to a threshold value; and declaring a fault condition when the difference is greater than the threshold value.
Abstract translation: 一种用于在APC系统中实现FDC的方法，包括从存储器接收FDC模型; 将FDC模型提供给过程模型计算引擎; 使用过程模型计算引擎计算预测的依赖过程参数的向量; 接收包括一组配方参数的处理配方，向处理模块提供处理配方; 执行过程配方以产生测量的依赖过程参数的向量; 计算预测的依赖过程参数的向量与测量的依赖过程参数的向量之间的差; 将差值与阈值进行比较; 并且当差值大于阈值时声明故障状况。
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