公开(公告)号：KR101061949B1

公开(公告)日：2011-09-05

申请号：KR1020070077698

申请日：2007-08-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다나카히로시 ,  히로시로고우키치 ,  후미히로가미무라

IPC: G03F7/34

CPC classification number: B01F3/088 ,  B01F3/0861 ,  B01F3/0865 ,  B01F5/10 ,  B01F15/00253 ,  B01F15/00331 ,  B01F15/00396 ,  B01F15/0243 ,  B01F15/0412 ,  B01F15/0437 ,  B01F15/06 ,  B01F2015/062 ,  B01F2215/0036 ,  B01J19/24 ,  B01J2219/00103 ,  B01J2219/24 ,  C01B15/08 ,  C11D3/3947 ,  C11D11/0047 ,  H01L21/67057

Abstract: 황산과 과산화수소수를 혼합시켰을 때에, 기판으로부터 레지스트의 박리 등에 유효한 카로산을 충분히 생성시킬 수 있는 약액 혼합 방법 및 약액 혼합 장치를 제공한다. 우선 내조(10)를 황산으로 가득 채우는 동시에 외조(12)에도 내조(10)로부터 넘친 황산이 유입되도록 한다. 다음에, 내조(10)에 과산화수소수를 공급하여 외조(12)에 과산화수소수를 유입시키고, 이 외조(12) 안에 과산화수소수 및 황산 2 종류의 액체를 저류시킨다. 과산화수소수를 유입시키는 동시에 복귀 펌프(16)를 작동시킨다.

Abstract translation: 当sikyeoteul混合硫酸和过氧化氢溶液，它提供了一种药液混合方法和能够充分生成卡罗酸或从衬底抗蚀等有效分离药液混合装置。 首先同时填充内槽10填充有硫酸，使得硫酸从内槽10个流入外槽12溢出。 接着，通过在外箱12供给的过氧化氢溶液到内槽10和流向过氧化氢溶液，从而存储的过氧化氢和硫酸中两种外槽12中的液体中。 引入过氧化氢溶液并操作回流泵16。

公开(公告)号：KR1020080012780A

公开(公告)日：2008-02-12

申请号：KR1020070077698

申请日：2007-08-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다나카히로시 ,  히로시로고우키치 ,  후미히로가미무라

IPC: G03F7/34

CPC classification number: B01F3/088 ,  B01F3/0861 ,  B01F3/0865 ,  B01F5/10 ,  B01F15/00253 ,  B01F15/00331 ,  B01F15/00396 ,  B01F15/0243 ,  B01F15/0412 ,  B01F15/0437 ,  B01F15/06 ,  B01F2015/062 ,  B01F2215/0036 ,  B01J19/24 ,  B01J2219/00103 ,  B01J2219/24 ,  C01B15/08 ,  C11D3/3947 ,  C11D11/0047 ,  H01L21/67057

Abstract: A method for mixing a chemical liquid, and an apparatus for mixing a chemical liquid are provided to allow the Caro's acid effective for the stripping of resist from a substrate to be generated when sulfuric acid and oxygenated water (hydrogen peroxide) are mixed. A method for mixing a chemical liquid comprises the steps of preparing an inner bath(10), an outer bath(12), a return pipe(14), and a return pump(16); filling the inner bath with sulfuric acid fully and allowing the sulfuric acid overflown from the inner bath to flow into the outer bath; flowing oxygenated water to the outer bath; and operating the return pump when the oxygenated water is supplied and flowing the oxygenated water and sulfuric acid of the outer bath into the inner bath simultaneously, thereby mixing oxygenated water and sulfuric acid.

Abstract translation: 提供了混合化学液体的方法和用于混合化学液体的装置，以允许当硫酸和氧化水（过氧化氢）混合时，Caro的酸有效地从基底剥离抗蚀剂。 一种混合化学液体的方法包括制备内浴（10），外浴（12），回流管（14）和回流泵（16）的步骤。 用硫酸充分填充内浴，并允许内浴溢出的硫酸流入外槽; 将含氧水流入外浴; 并且在供给氧合水并使外部浴的含氧水和硫酸同时流入内部浴池的同时操作回流泵，从而混合氧化水和硫酸。