公开(公告)号：KR101760975B1

公开(公告)日：2017-07-24

申请号：KR1020130129192

申请日：2013-10-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마모토고지 ,  히로세히로시

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/60

Abstract: 주로 APC 밸브에의해서처리용기내의압력조절을행하는진공장치에서, 급격한압력변동을억제한다. 스텝 S1~스텝 S5까지의순서에따라, 처리용기(1) 내의압력변동을억제할수 있다. 스텝 S1에서는, EC(81)가 APC 밸브(55)의개방도를취득하고, 스텝 S2에서는, EC(81)의개방도판정부(123)에의해서, 스텝 S1에서취득된 APC 밸브(55)의개방도가제 1 임계값을넘었는지여부를판단한다. 스텝 S2에서, 개방도가제 1 임계값을넘었다고(예) 판정된경우는, 스텝 S3에서초과카운터(124)가초과카운트값을 1 카운트적산한다. 다음으로, 스텝 S4에서는, 초과카운터(124)에서카운트된초과카운트값의적산값이제 2 임계값을넘었는지여부의판정을행하고, 초과카운트값이제 2 임계값을넘었다고(예) 판정된경우에는, 유량제어부(121a)는, MC(83)를거쳐서매스플로우콘트롤러(MFC)(43)에대해, 처리가스의유량을소정량줄이도록제어신호를송출한다.

Abstract translation: 在主要通过APC阀调节处理容器内的压力的真空装置中，抑制了突然的压力波动。 处理容器1内的压力变动可以按照从步骤S1到步骤S5的过程来抑制。 在步骤S1中，EC 81获得APC阀55的开度。在步骤S2中，在步骤S1中获取的APC阀55的开度 确定开度是否超过第一阈值。 如果在步骤S2中，开度被确定大于第一阈值以上，和（e），累积计数器超过124 gachogwa计数在步骤S3 1计数值。 接着，如果在步骤S4中，在过量的计数器124的计数的过量计数值的累计值现在执行的是否判定或超过第二阈值，大于该计数值现在比所述第二阈值，并且（e）确定多个 还有，流量控制部（121A）可以是通过MC（83），用于质量流量控制器（MFC）（43），以减少工艺气体量的小流量发出控制信号。

公开(公告)号：KR1020140059128A

公开(公告)日：2014-05-15

申请号：KR1020130129192

申请日：2013-10-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마모토고지 ,  히로세히로시

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/60

CPC classification number: H01L21/3065 ,  H01J37/321 ,  H01L21/02 ,  H01L21/02315 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 ,  H01L21/30621 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/32136 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/76825 ,  H01L21/76826 ,  H01L2021/60187 ,  H05H1/46

Abstract: A vacuum device which controls pressure within a processing container through an APC valve suppresses a rapid pressure change. According to priority of step S1~S5, a pressure change within a processing container (1) can be suppressed. In a step S1, an EC (81) obtains an opening ratio of an APC valve (55). In a step S2, it is determined that the opening ratio of the APC valve (55) obtained in the step S1 exceeds a first threshold value by determining the opening ratio of the EC (81). If the opening ratio exceeds the first threshold value in the step S2, an exceeding counter (124) integrates an exceeding count value in a step S3. In a step S4, it is determined that an integration value of the exceeding count value counted in the exceeding counter (124) exceeds a second threshold value. If the exceeding count value exceeds the second threshold value, a flow control unit (121a) transmits a control signal to reduce a flux of processing gas as a predetermined amount regarding a mass flow controller (MFC) (43) by passing an MC (83).

Abstract translation: 通过APC阀控制处理容器内的压力的真空装置抑制了快速的压力变化。 根据步骤S1〜S5的优先级，可以抑制处理容器（1）内的压力变化。 在步骤S1中，EC（81）获得APC阀（55）的开度。 在步骤S2中，通过确定EC（81）的开度比，确定在步骤S1中获得的APC阀（55）的开启率超过第一阈值。 如果在步骤S2中打开比率超过第一阈值，则在步骤S3中超过计数器（124）对超过计数值进行积分。 在步骤S4中，确定超过计数器（124）中计数的超过计数值的积分值超过第二阈值。 如果超过计数值超过第二阈值，则流量控制单元（121a）通过使MC（83）通过MC（83）来发送控制信号，以减少与质量流量控制器（MFC）（43）相关的预定量的处理气体的通量 ）。