公开(公告)号：KR1020170038678A

公开(公告)日：2017-04-07

申请号：KR1020160122214

申请日：2016-09-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다나카고지 ,  시오카와도시유키 ,  마스토미히로유키 ,  사토다카미 ,  다나카히로시 ,  이나다다카오 ,  히로야마즈카사

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 본발명은기판을처리액으로균일하게처리할수 있는기판액 처리장치를제공한다. 본발명에서는, 복수의기판(8)을배열시킨상태로처리액에침지하여처리하는처리조(34)와, 상기처리조(34)의내부에서상기기판(8)의하방에배치되어, 상기기판(8)의배열방향을따라연장시킨관체(74)에상기처리액을토출하기위한토출구(76)를형성한처리액공급노즐(49)을갖는기판액 처리장치(1)에있어서, 상기토출구(76)는, 상기기판(8)의배열방향과직교하는수평방향으로간격을두고제1 측면(78) 및제2 측면(79)을형성하며, 상기제1 측면(78) 또는/및상기제2 측면(79)의외측단가장자리가, 내측단가장자리를상기관체(74)의중심으로부터반경방향으로연장한위치(B1, D1)보다수평방향을향하여외측으로개방한위치(A1, C1)에마련되어있다.

Abstract translation: 本发明提供能够用处理液均匀地处理基板的基板液处理装置。 本发明的特征在于包括：处理槽34，用于将处理液浸渍在配置有多个基板8的状态下并对处理槽34进行处理; 一种具有处理液供给喷嘴（49）的基板液处理装置（1），在沿着基板（8）的排列方向延伸的管体（74）内形成有用于排出处理液的排出口（76） 排出口76在与基板8的排列方向垂直的水平方向上隔开间隔地形成第一侧面78和第二侧面79，第一侧面78和/ 第二侧面79的外缘位于从管主体74的中心向半径方向延伸的位置B1，D1的位置朝向水平方向外侧开口的位置A1，C1 它提供。