公开(公告)号：KR101716817B1

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：KR1020120023307

申请日：2012-03-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도미타히로시 ,  히사노카즈야 ,  니시야마타다시

IPC: G01N21/88 ,  G01B11/30 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00

CPC classification number: G06T7/0008 ,  G06K9/4609 ,  G06T2207/30141

Abstract: 잘못검출되는의사결함의수를저감시킬수 있고, 또한결함의검출감도를떨어뜨리지않고, 본래검출되어야할 실제결함을검출할수 있는기판검사방법및 그기판검사용의필터화상의화상작성방법을제공한다. 기판의결함의유무를검사하기위하여, 의사결함을제거하기위한필터화상을작성하는화상작성방법에서, 등록된화상의중심위치를중심으로하는원의원주상에위치하는어느한 화소의화소치를원주상에위치하는화소로부터선택한복수의화소의화소치중 최대치로치환함으로써, 필터화상을작성하는필터화상작성공정(S14)을가진다.

Abstract translation: 一种创建用于去除伪缺陷以检查衬底上的缺陷的存在/不存在的滤波器图像的图像创建方法包括：滤波器图像创建步骤，通过替换位于上面的任何一个图像元素的像素值来创建滤波器图像 围绕登记图像的中心位置的圆周，其具有从位于圆周上的图像元素中选择的多个图像元素的像素值的最大值。

公开(公告)号：KR1020120106565A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：KR1020120023307

申请日：2012-03-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도미타히로시 ,  히사노카즈야 ,  니시야마타다시

IPC: G01N21/88 ,  G01B11/30 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00

CPC classification number: G06T7/0008 ,  G06K9/4609 ,  G06T2207/30141 ,  G01N21/88 ,  G01B11/30 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00

Abstract: PURPOSE: An image generating method, a substrate inspecting method, and a recording media and a substrate inspecting device for performing the image generating method and the substrate inspecting method are provided to reduce the number of intention failure wrongly detected and to detect actual failure. CONSTITUTION: An image generating method having a filter image generating process is as follows. A pixel value of a pixel positioned on the circumference of a circle having a central position of recorded images as a center is converted into a maximum value among the pixel values of a plurality of pixels selected from the pixels positioned on the circumference so that filter images are generated(S14). Position coordinates of the pixel of the recorded images are converted into polar coordinates so that converted images are generated. Maximum data indicating a relation of the maximum value among the pixel values and the diameter of the circle is generated based on the converted images. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) Decision process; (CC,DD) Decided that defects are existed on a substrate; (EE) Finish; (S11) Synthetic image process; (S12) Converted image process; (S13) Data process; (S14) Filter image process; (S15) Object image process; (S16) Elimination image process; (S17) Whether or not a pixel value of one pixel is larger than a criterion?

Abstract translation: 目的：提供图像生成方法，基板检查方法以及用于执行图像生成方法和基板检查方法的记录介质和基板检查装置，以减少错误检测到的意图故障的数量并检测实际故障。 构成：具有滤波图像生成处理的图像生成方法如下。 将位于具有记录图像的中心位置的圆的圆周上的像素的像素值转换为从位于圆周上的像素中选择的多个像素的像素值中的最大值，使得滤波图像 （S14）。 将记录图像的像素的位置坐标转换为极坐标，从而生成转换的图像。 基于转换的图像生成表示像素值中的最大值与圆的直径的关系的最大数据。 （附图标记）（AA）开始; （BB）决策过程; （CC，DD）决定在基板上存在缺陷; （EE）完成; （S11）合成图像处理; （S12）转换图像处理; （S13）数据处理; （S14）过滤图像处理; （S15）对象图像处理; （S16）消除图像处理; （S17）一个像素的像素值是否大于标准？